آپٽيڪل سسٽم ۾ درست شيشي جا جزا: ايپليڪيشنون ۽ پيداوار جا چئلينج

آپٽيڪل گلاس جديد فوٽونڪس جي ريڙهه جي هڏي آهي. ڪميونيڪيشن کان وٺي دفاع تائين، انهن حصن جون گهرجون تيزي سان سخت ٿينديون پيون وڃن.

هاءِ پاور ليزر سسٽم ۾، آپٽيڪل حصن کي تمام گهڻي توانائي جي کثافت کي برداشت ڪرڻ گهرجي. شيشي ۾ ڪا به خوردبيني خرابي يا نجاست ليزر جي ڪري نقصان پهچائي سگهي ٿي، جيڪا پوري سسٽم کي متاثر ڪري ٿي. هتي پيداوار جو ڌيان زير زمين نقصان کي ختم ڪرڻ ۽ بيم جي بگاڙ کي روڪڻ لاءِ اعليٰ هڪجهڙائي کي يقيني بڻائڻ تي آهي.

جيئن خلائي دوربين ۽ ريموٽ سينسنگ اوزار ايپرچر سائيز ۾ وڌندا آهن (هاڻي 4 ميٽر کان وڌيڪ)، هلڪو وزن ۽ مٿاڇري جي درستگي جي گهرج تيز ٿي ويندي آهي. خلا لاءِ آپٽيڪل حصن کي انتهائي حرارتي ماحول ۾ پنهنجي شڪل برقرار رکڻ گهرجي، جنهن لاءِ الٽرا لو حرارتي توسيع ڪوئفيشينٽس سان مواد جي ضرورت هوندي آهي.

سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري ۾، EUV لٿوگرافي سسٽم عڪاسي ڪندڙ آئينن تي ڀاڙين ٿا جن جي مٿاڇري جي خرابي 0.1 nm (RMS) کان گهٽ تائين ڪنٽرول ڪئي وئي آهي. ايٽمي سطح جي ٽڪرا به روشني کي پکيڙي سگهن ٿا ۽ چپ جي ريزوليوشن کي خراب ڪري سگهن ٿا. هي آپٽيڪل گلاس جي پيداوار جي چوٽي جي نمائندگي ڪري ٿو.

پيداوار جو چئلينج: دٻاءُ، همواري، ۽ همواري

1. اندروني دٻاءُ کي ڪنٽرول ڪرڻ

• چئلينج: سخت، ڀُريل شيشي جي مشيننگ اڪثر ڪري مائڪرو اسٽريس متعارف ڪرائيندي آهي.
• اسان جو طريقو: اسان جديد اينيلنگ عملن ۽ گهٽ نقصان واري ٺهڻ واري ٽيڪنڪ استعمال ڪندا آهيون. ٿڌي شرحن کي سختي سان ڪنٽرول ڪندي ۽ دٻاءُ گهٽائڻ واري مشيننگ حڪمت عملين کي استعمال ڪندي، اسان يقيني بڻايون ٿا ته شيشي جي اندروني جوڙجڪ غير جانبدار ۽ مستحڪم رهي.

2. الٽرا هاءِ فليٽنس حاصل ڪرڻ (گهٽ فريڪوئنسي جي درستگي)

• چئلينج: روايتي پيسڻ سان لهر پيدا ٿي سگهي ٿي يا غلطيون پيدا ٿي سگهن ٿيون جيڪي لهر جي درستگي کي گهٽائي ڇڏين ٿيون.
• اسان جو طريقو: اسان اعليٰ درستگي واري ڪمپيوٽر-ڪنٽرول ٿيل آپٽيڪل سرفيسنگ (CCOS) استعمال ڪندا آهيون. هي اسان کي گهٽ فريڪوئنسي غلطين (شڪل جي انحراف) کي درست ڪرڻ جي اجازت ڏئي ٿو ته جيئن چوٽي کان وادي (PV) قدر حاصل ڪري سگهجن جيڪي اڪثر 1 nm کان گهٽ هوندا آهن، انهي کي يقيني بڻائي ته آپٽيڪل رستو مڪمل طور تي ترتيب ڏنل رهي.

3. مٿاڇري جي سختي (تيز فريڪوئنسي همواري)

• چئلينج: پيسڻ سان بچيل "ڌُند" ۽ مائڪرو اسڪريچز کي هٽائڻ لاءِ مواد کي هٽائڻ کان مٿاڇري کي هموار ڪرڻ ۾ منتقلي جي ضرورت آهي.
• اسان جو طريقو: اسين جديد پالشنگ ٽيڪنالاجيون استعمال ڪندا آهيون، جنهن ۾ مقناطيسي طور تي مدد سان ختم ڪرڻ شامل آهي. هي ٽيڪنڪ پيچيده شڪلن (جهڙوڪ فريفارم لينس) جي بيچ پروسيسنگ جي اجازت ڏئي ٿي جڏهن ته نئين زير زمين نقصان کي متعارف ڪرائڻ کان سواءِ ذيلي نانو ميٽر مٿاڇري جي خرابي (Ra < 0.6 nm) حاصل ڪندي.

ZHHIMG: الٽرا پريسيشن ۾ توهان جو ساٿي

• پيچيده جاميٽري: فري فارم، اسفيرڪ، ۽ پلانر آپٽيڪل حصن جي مشيننگ.
• ميٽرولوجي ۽ انسپيڪشن: حقيقي وقت ۾ مٿاڇري جي معيار ۽ درستگي جي تصديق ڪرڻ لاءِ انٽرفيروميٽر ۽ پروفائيلوميٽر استعمال ڪرڻ.
• مواد جي مهارت: فيوز ٿيل سليڪا، ڪوارٽز، ۽ خاص آپٽيڪل شيشيز سان گہرا تجربو جيڪي اعليٰ ٽرانسميشن ۽ گهٽ توسيع لاءِ مشهور آهن.