سيمي ڪنڊڪٽر لٿوگرافي کان اي وي بيٽري انسپيڪشن تائين: پريسيشن ايئر بيئرنگ جو اهم ڪردار

الٽرا-پريزيئن موشن ڪنٽرول جي دنيا ۾، هڪ جزو اهڙو ڪم ڪري رهيو آهي جيڪو لڳ ڀڳ ناممڪن لڳي ٿو: هڪ پريزيئن اسٽيج جيڪو هوا جي فلم تي تري رهيو آهي صرف ڪجهه مائڪرون ٿلهي، بنيادي طور تي صفر رگڙ سان حرڪت ڪري رهيو آهي. هي سائنس فڪشن ناهي. اهو گرينائيٽ ايئر بيئرنگ آهي - ۽ اهو سيمي ڪنڊڪٽر لٿوگرافي، ويفر انسپيڪشن، اي وي بيٽري انسپيڪشن، ۽ عملي طور تي هر ٻئي ايپليڪيشن جي پويان فعال ٽيڪنالاجي آهي جنهن کي نانو ميٽر-سطح جي پوزيشن جي ضرورت آهي.

ايئر بيئرنگ ڇا آهي؟

هڪ ايئر بيئرنگ دٻاءُ واري هوا کي سوراخ ٿيل يا سوراخ ٿيل مٿاڇري ذريعي مجبور ڪندي ڪم ڪري ٿو، ٻن مٿاڇري جي وچ ۾ هوا جو هڪ پتلي، مسلسل کشن ٺاهي ٿو جيڪو ٻي صورت ۾ جسماني رابطي ۾ هوندو. لوڊ - هڪ اسٽيج، هڪ اسپنڊل، هڪ هلندڙ ٽيبل - لفظي طور تي هن ايئر فلم تي ترندو آهي، عام طور تي ڪٿي 5 ۽ 20 مائڪرون جي ٿلهي جي وچ ۾، ڊيزائن ۽ لوڊ گهرجن تي منحصر آهي.

ڇاڪاڻ ته حرڪت ڪندڙ ۽ بيٺل مٿاڇري جي وچ ۾ ڪو به جسماني رابطو ناهي، ڪو به ميڪيڪل رگڙ ناهي، ڪو به لٺ-سلپ رويو ناهي، ۽ بنيادي طور تي ڪو به لباس ناهي. هي هڪ کان بنيادي طور تي مختلف صورتحال آهي.روايتي مشيني بيئرنگ، جيڪو - ڀلي ڪيترو به سٺي مشين سان ٺهيل هجي - هميشه ڪجهه حد تائين رگڙ، خوردبيني سطح جي بي قاعدگي، ۽ ان جي آپريٽنگ زندگي دوران بتدريج لباس جو شڪار هوندو آهي.

ڇو گرينائيٽ ايئر بيئرنگ لاءِ واحد انتخاب آهي

ايئر بيرنگ نظرياتي طور تي مختلف فليٽ، سخت مواد تي ٺاهي سگھجن ٿا، پر گرينائيٽ اعليٰ درستگي واري ايپليڪيشنن ۾ اسٽيشنري بيئرنگ مٿاڇري لاءِ معياري پسند بڻجي چڪو آهي.

وقت سان گڏ فليٽنس استحڪام. ڇاڪاڻ ته گرينائيٽ ۾ مشين ٿيل ڌاتو جي مقابلي ۾ تمام گهٽ اندروني دٻاءُ هوندو آهي - ڌاتو ڪاسٽنگ ۽ مشيننگ جي عمل مان باقي دٻاءُ برقرار رکندو آهي، جيڪو مهينن يا سالن دوران بتدريج، ننڍڙن طول و عرض ۾ تبديلين جو سبب بڻجي سگهي ٿو - هڪ گرينائيٽ بيئرنگ مٿاڇري پنهنجي فليٽنس وضاحت کي ڌاتو جي برابر کان گهڻو وقت تائين برقرار رکڻ جو رجحان رکي ٿي. هڪ ايئر بيئرنگ لاءِ، جتي پوري ڪارڪردگي لفافي هڪ مستقل، ڪنٽرول ٿيل فرق کي برقرار رکڻ تي منحصر آهي، هي استحڪام اهم آهي.

حرارتي استحڪام. هوا جي بيرنگ جو فرق خوردبيني آهي - عام طور تي 5-20 مائڪرون. گائيڊ ريل جي حرارتي توسيع هن فرق کي تبديل ڪري ٿي، بيرنگ جي ڪارڪردگي کي تبديل ڪري ٿي ۽ پوزيشننگ غلطيون متعارف ڪرائي ٿي. گرينائيٽ جو CTE اسٽيل جي لڳ ڀڳ اڌ ۽ ايلومينيم جي هڪ ٽيون حصو آهي. اهو يقيني بڻائي ٿو ته نانوميٽر-سطح جي پوزيشننگ جي درستگي 24 ڪلاڪن جي آپريشن چڪر دوران صحيح رهي ٿي.

ڊيمپنگ ۽ وائبريشن آئسوليشن. گرينائيٽ ۾ اسٽيل کان 10 ڀيرا وڌيڪ قدرتي ڊيمپنگ جي صلاحيت آهي. جڏهن هوائي فلم جي ويسڪوس ڊيمپنگ سان گڏ ڪيو ويندو آهي، ته سسٽم هڪ "ڊبل ڊيمپنگ" اثر پيدا ڪري ٿو جيڪو فرش جي وائبريشن ۽ موٽر شور کان حساس پيل لوڊ کي الڳ ڪري ٿو. هي اليڪٽران بيم ڪالمن ۽ انٽرفيروميٽر جهڙن ايپليڪيشنن لاءِ اهم آهي، جتي وائبريشن تصوير جي ريزوليوشن کي خراب ڪري ٿي.

غير مقناطيسي، بجليءَ سان غير فعال. سيمي ڪنڊڪٽر ۽ اليڪٽرانڪس جي پيداوار واري ماحول ۾، حساس عملن جي ويجهو مقناطيسي شعبن ۽ بجليءَ جي چالکائي کان بچڻ اڪثر هڪ سخت ضرورت هوندي آهي. گرينائيٽ ڪنهن به اضافي علاج کان سواءِ هن کي پورو ڪري ٿو.

"ڊبل ڊمپنگ" اثر

هتي اهو آهي جيڪو گرينائيٽ-ايئر بيئرنگ ميلاپ کي منفرد طور تي اثرائتو بڻائي ٿو. گرينائيٽ پاڻ غير معمولي ڊمپنگ فراهم ڪري ٿو - ڪاسٽ آئرن جي مقابلي ۾ مشين جي چيٽر کي 10 ڀيرا گهٽائي ٿو. ايئر فلم اضافي ويسڪوس ڊمپنگ فراهم ڪري ٿي، اعلي فريڪوئنسي وائبريشن کي هموار ڪري ٿي. گڏجي، اهي ٺاهيندا آهن جنهن کي انجنيئر "ڊبل ڊمپنگ" اثر سڏين ٿا.

ان جو مطلب اهو آهي ته گرينائيٽ ايئر بيئرنگ اسٽيج صرف صحيح ناهي؛ اهو خاموش آهي. اسٽيج آساني سان هلندو آهي، بغير خوردبيني جھٽڪي جي جيڪو ميڪيڪل بيئرنگ کي پريشان ڪري ٿو. اهو جلدي آباد ٿئي ٿو، بغير گھنٽي جي جيڪو ماپ ۾ دير ڪري سگهي ٿو. ۽ اهو آپريشن جي سالن دوران پنهنجي درستگي کي برقرار رکي ٿو، بغير بتدريج لباس جي جيڪو ميڪيڪل بيئرنگ جي ڪارڪردگي کي خراب ڪري ٿو.

جتي گرينائيٽ ايئر بيئرنگ اصل ۾ استعمال ٿين ٿا

ايپليڪيشن لسٽ جديد پيداوار ۽ معائني جي اعليٰ ترين درستگي واري ڪنڊن جي دوري وانگر پڙهي ٿي:

سيمي ڪنڊڪٽر لٿوگرافي ۽ ويفر انسپيڪشن. ويفر ۾ خاصيتن کي صحيح طور تي ترتيب ڏيڻ لاءِ سب نانو ميٽر پوزيشننگ ريپيٽيبلٽي جي ضرورت آهي. گرينائيٽ ايئر بيئرنگ رگڙ کان سواءِ، غير رابطي واري حرڪت فراهم ڪن ٿا جيڪا ايندڙ نسل جي چپ جي پيداوار لاءِ گهربل درستگي کي فعال بڻائي ٿي.

ڪوآرڊينيٽ ماپڻ واريون مشينون (سي ايم ايم). درست گرينائيٽ گائيڊ ۽ ايئر بيئرنگ جو ميلاپ سي ايم ايم لاءِ سون جو معيار آهي، جتي اسٽيج وائبريشن ماپ جي ريزوليوشن کي خراب ڪري ٿي. ايئر بيئرنگ ۾ رگڙ ۽ اسٽڪ سلپ جي غير موجودگي نانوميٽر جي واڌ ۾ پوزيشننگ کي قابل بڻائي ٿي.

آپٽيڪل ۽ ليزر تي ٻڌل ماپ سسٽم. ڪو به ماپ سسٽم جيڪو انٽرفيروميٽري يا آپٽيڪل اميجنگ تي ڀاڙي ٿو ان کي حرڪت واري مرحلي جي ضرورت آهي جيڪا وائبريشن يا پوزيشننگ جي غلطي متعارف نه ڪرائي. گرينائيٽ ايئر بيئرنگ انهن گهربل ايپليڪيشنن لاءِ گهربل استحڪام فراهم ڪن ٿا.

اي وي بيٽري جو معائنو. جيئن اليڪٽرڪ گاڏين جي بيٽري جي پيداوار وڌي رهي آهي، تيز رفتار، اعليٰ درستگي واري معائني نظام جي گهرج ڊرامائي طور تي وڌي وئي آهي. گرينائيٽ ايئر بيئرنگ اسٽيج بيٽري سيل جي طول و عرض، اليڪٽرروڊ الائنمينٽ، ۽ ٻين نازڪ پيرا ميٽرز جي معائني لاءِ گهربل رفتار ۽ درستگي فراهم ڪن ٿا.

پي سي بي ڊرلنگ ۽ روٽنگ. تيز رفتار پي سي بي ڊرلنگ لاءِ تيز، صحيح پوزيشننگ جي ضرورت آهي گهٽ ۾ گهٽ سيٽلنگ وقت سان. ايئر بيئرنگ تيز-ٿرو پُٽ پيداوار لاءِ گهربل تيز قدم ۽ سيٽل حرڪت کي فعال ڪن ٿا.

ZHHIMG® کي ڇا الڳ ڪري ٿو

گرينائيٽ ايئر بيئرنگ جا سڀئي حصا هڪجهڙا نه ٺاهيا ويا آهن. گرينائيٽ جو معيار، ليپنگ جي درستگي، ۽ ڪاريگرن جي مهارت سڀ اهو طئي ڪن ٿا ته ڇا ايئر بيئرنگ وضاحتن مطابق ڪم ڪري ٿو.

ZHHIMG® تي، اسان جو ZHHIMG® ڪارو گرينائيٽ ≈3100 kg/m³ جي کثافت حاصل ڪري ٿو - اڪثر يورپي ۽ آمريڪي ڪارو گرينائيٽ کان وڌيڪ - اعليٰ استحڪام ۽ لباس مزاحمت کي يقيني بڻائي ٿو. اسان جا ماسٽر گرائنڊر، 30 سالن کان وڌيڪ هٿ سان لپنگ جي تجربي سان، ايئر بيئرنگ ايپليڪيشنن لاءِ گهربل نانو ميٽر-سطح جي فليٽنس حاصل ڪن ٿا. اسان جو 10,000-اسڪوائر-ميٽر مسلسل-درجه حرارت ورڪشاپ، 1000mm-ٿلهي الٽرا-هارڊ ڪنڪريٽ بنياد تي 2000mm-گہرے اينٽي-وائبريشن خندقن سان ٺهيل، هن درستگي جي اجزاء پيدا ڪرڻ لاءِ ضروري مستحڪم ماحول فراهم ڪري ٿو.

۽ معيار لاءِ اسان جي وابستگي - اسان جي معيار جي پاليسي ۾ خلاصو ڪيو ويو آهي، "صحت واري ڪاروبار تمام گهڻو مطالبو ڪندڙ نه ٿي سگهي" - يقيني بڻائي ٿو ته اسان جي سهولت مان نڪرندڙ هر گرينائيٽ ايئر بيئرنگ جزو سڀ کان وڌيڪ گهربل عالمي معيارن تي پورو لهي.

ڇا توهان ايندڙ نسل جي سيمي ڪنڊڪٽر لٿوگرافي سامان، هڪ اعليٰ درستگي وارو CMM، يا هڪ EV بيٽري انسپيڪشن سسٽم ٺاهي رهيا آهيو، درستگي واري گرينائيٽ ۽ ايئر بيئرنگ ٽيڪنالاجي جو ميلاپ نانو ميٽر-سطح جي حرڪت ڪنٽرول لاءِ بنياد فراهم ڪري ٿو. ۽ ZHHIMG® تي، اسان ڏهاڪن کان ان ميلاپ ۾ مهارت حاصل ڪري رهيا آهيون.