گرينائيٽ تي ايئر بيئرنگ: اعليٰ درستگي واري لڪير واري مرحلن ۾ رگڙ کان سواءِ حرڪت جي فزڪس

مڪينيڪل انجنيئرنگ جي ٻولي ۾، "رڳڙهه کان سواءِ" هڪ نظرياتي مثالي آهي - ڪجهه اهڙو جيڪو درسي ڪتابن جي مسئلن جي بيانن ۾ ظاهر ٿئي ٿو پر جسماني دنيا ۾ ڪڏهن به مڪمل طور تي حاصل نه ٿيندو آهي. تڏهن به ليٿوگرافي مشينن، ڊائريڪٽ-رائيٽ ليزر سسٽم، تيز رفتار پي سي بي ڊرلنگ سامان، ۽ نانو ميٽر-اسڪيل انسپيڪشن پليٽ فارمن ۾ سلڪون ويفرز کي منتقل ڪرڻ واري درستگي پوزيشننگ مرحلن ۾، حرڪت جا عنصر هن مثالي جي قابل ذڪر ويجهو اچن ٿا. اهي ايئر بيئرنگ نالي هڪ ٽيڪنالاجي ذريعي ائين ڪندا آهن، ۽ اها سطح جنهن تي هوائي سواري جي اها پتلي فلم تقريبن هميشه درستگي گرينائيٽ هوندي آهي.

ايئر بيئرنگ ٽيڪنالاجي کي سمجهڻ - ان جي فزڪس، ان جي گهرجن، ۽ ان جي حدون - اهو سمجهڻ کان الڳ نه آهي ته گرينائيٽ ايئر بيئرنگ گائيڊ سطحن لاءِ پسند جو مواد ڇو آهي. ٻئي ٽيڪنالاجيون هم آهنگي آهن: ايئر بيئرنگ گرينائيٽ جي درست سطح جي خاصيتن جي استحصال کي فعال ڪن ٿا، ۽ گرينائيٽ ايئر بيئرنگ کي استحڪام ۽ پوزيشننگ جي درستگي حاصل ڪرڻ جي قابل بڻائي ٿو جيڪا انهن کي پهرين جڳهه تي استعمال ڪرڻ جي قابل بڻائي ٿي.

ايئر بيئرنگ آپريشن جي فزڪس

هڪ روايتي رولنگ-ايليمينٽ بيئرنگ - بال بيئرنگ يا رولر بيئرنگ - هرٽزيئن ڪانٽيڪٽ ذريعي حرڪت ڪندڙ لوڊ کي سپورٽ ڪري ٿو: بال يا رولر ريس ويز جي خلاف دٻايو، لوڊ هيٺ ٿورو خراب ٿي وڃن ٿا ۽ هڪ ننڍڙي پر غير صفر رابطي واري علائقي ذريعي قوت منتقل ڪن ٿا. هي رابطو رگڙ پيدا ڪري ٿو، لباس متعارف ڪرائي ٿو، ۽ هڪ ميڪيڪل رستو ٺاهي ٿو جنهن ذريعي وائبريشن کي بيئرنگ کان سپورٽ ٿيل ڍانچي ڏانهن منتقل ڪري سگهجي ٿو.

هڪ ايئر بيئرنگ هن مضبوط رابطي کي دٻاءُ واري گئس جي هڪ پتلي فلم سان تبديل ڪري ٿو - عام طور تي صاف، خشڪ دٻيل هوا، جيتوڻيڪ نائٽروجن انهن ايپليڪيشنن ۾ استعمال ڪيو ويندو آهي جتي هوا جي نمي جو مواد مسئلو هوندو آهي. حرڪت ڪندڙ عنصر ("سلائيڊر" يا "ڪيريج") کي گائيڊ مٿاڇري کان عام طور تي 5-15 مائڪرو ميٽر ويڪر جي فرق سان الڳ ڪيو ويندو آهي. دٻاءُ واري هوا کي سلائيڊر جي منهن ۾ ننڍڙن سوراخن يا سوراخ واري سطحن ذريعي فراهم ڪيو ويندو آهي، هن فرق ۾ وهندو آهي، ۽ پوءِ بيئرنگ علائقي جي ڪنارن تي نڪرندو آهي.

خلا ۾ دٻاءُ جي ورڇ - سپلاءِ جي سوراخن جي ويجهو وڌيڪ، نڪرڻ جي ويجهو گهٽ - هڪ خالص کڻڻ واري قوت پيدا ڪري ٿي جيڪا گاڏي جي وزن (افقي ترتيبن ۾) يا لاڳو ٿيل لوڊ کي سهارو ڏئي ٿي. جيئن خلا گهٽجي ٿو (مثال طور، جيڪڏهن گاڏي لوڊ هيٺ ٿورو جهڪي ٿي)، وهڪري جي مزاحمت وڌي ٿي، دٻاءُ وڌي ٿو، ۽ بحالي واري قوت وڌي ٿي - هڪ خود-مستحڪم نظام ٺاهيندي. ان جي برعڪس، جيڪڏهن خلا وڌي ٿو، دٻاءُ گهٽجي ٿو ۽ بيئرنگ گهٽ سخت ٿي وڃي ٿو.

هن رابطي کان خالي لوڊ سپورٽ جو اهم نتيجو جامد ۽ سلائيڊنگ رگڙ جو تقريبن مڪمل خاتمو آهي. هڪ سٺي نموني سان ٺهيل ايئر بيئرنگ اسٽيج ۾ جامد رگڙ آهي جيڪو مؤثر طور تي ناقابل ماپ آهي - بنيادي طور تي اڪثر قوت جي ماپ سسٽم جي ريزوليوشن اندر صفر. هن ملڪيت کي "اسٽڪشن" جي غير موجودگي جي طور تي بيان ڪيو ويو آهي - اسٽڪ سلپ رجحان جتي جامد رگڙ (ڪائنيٽڪ رگڙ کان وڌيڪ) کي حرڪت شروع ڪرڻ لاءِ قابو ڪرڻ گهرجي، هڪ جھٽڪو پيدا ڪري ٿو جيڪو بعد ۾ پوزيشننگ کي خراب ڪري ٿو.

درست پوزيشننگ لاءِ اسٽيڪشن فري موشن ڇو اهم آهي

رولنگ عنصر بيئرنگ سان روايتي بال-اسڪرو يا ليڊ اسڪرو تي هلندڙ پوزيشننگ اسٽيج ۾، اسٽڪشن پوزيشننگ ريپيٽيبلٽي تي هڪ بنيادي حد آهي. جڏهن پوزيشن ڪنٽرول سسٽم هڪ ننڍڙي حرڪت جو حڪم ڏئي ٿو، ڊرائيو ميڪانيزم کي گاڏي جي هلڻ کان اڳ پهرين جامد رگڙ تي قابو پائڻ گهرجي. ان جو مطلب آهي ته ڪمانڊ پوزيشن ۽ اصل پوزيشن ننڍي قدم جي سائيز تي هڪجهڙا نه آهن - اسٽيج "اسٽڪ" ۽ پوءِ "سلپ"، سيٽل ٿيڻ کان اڳ ڪمانڊ پوزيشن کي اوور شوٽ ڪندي.

هي اثر قدم جي سائيز ۽ پوزيشننگ بينڊوڊٿ تي عملي طور تي گهٽ حد لاڳو ڪري ٿو. سروو سسٽم ۾، اسٽيڪشن حد سائيڪلنگ جو سبب بڻجندو آهي - هڪ حالت جتي پوزيشن ڪنٽرول لوپ ڪمانڊ پوزيشن جي چوڌاري مسلسل شڪار ڪندو آهي، هڪ مستحڪم قدر تي آباد ٿيڻ جي قابل ناهي ڇاڪاڻ ته ڪنهن به اصلاح جي حرڪت کي اسٽيڪشن تي قابو پائڻ جي ضرورت هوندي آهي، جيڪو پوءِ اسٽيج کي هدف کان اڳتي موڪليندو آهي.

هوائي بيرنگ مڪمل طور تي ڇڪڻ کي ختم ڪن ٿا. گاڏي هڪ مسلسل هوائي فلم تي تري ٿي، ۽ حرڪت جي هدايت ۾ لاڳو ڪيل ڪا به من ماني ننڍڙي قوت هڪ متناسب حرڪت پيدا ڪري ٿي. ان جو مطلب آهي ته:

• نانو ميٽر-سطح جي پوزيشننگ مناسب ڊرائيو ميڪانيزم (لينئر موٽرز، پيزو اليڪٽرڪ ايڪٽيوٽر، يا وائيس ڪوئل ايڪٽيوٽر) استعمال ڪندي حاصل ڪري سگهجي ٿي بغير قدم جي سائيز تي گهٽ حد جي جيڪا اسٽيڪشن لاڳو ڪري ٿي.
• سيٽلنگ جو وقت ڊرامائي طور تي گهٽجي ويو آهي ڇاڪاڻ ته ڪنٽرول لوپ هر حرڪت تي اسٽيڪشن سان نه وڙهندو آهي.
• ورجائڻ جي صلاحيت بنيادي طور تي انڪوڊر ريزوليوشن ۽ حرارتي اثرات جي ڪري محدود آهي بجاءِ رگڙ جي متغير جي.

سيمي ڪنڊڪٽر فوٽو ليٿوگرافي لاءِ، جتي ويفر اسٽيج کي هر ڊائي پوزيشن تي قدم رکڻ گهرجي جنهن ۾ سب نانو ميٽر ريپيٽيبلٽي سوين قدم في سيڪنڊ جي ٿرو پُٽ تي آهي، اهي خاصيتون ضروري آهن. في الحال ڪابه ٻي بيئرنگ ٽيڪنالاجي گهربل پيماني تي مقابلي واري ڪارڪردگي فراهم نٿي ڪري.

گرينائيٽ گائيڊ مٿاڇري: ايئر بيئرنگ ڪارڪردگي کي فعال ڪرڻ

هڪ ايئر بيئرنگ صرف ان مٿاڇري جيترو سٺو آهي جنهن تي اهو سواري ڪري ٿو. 5-15 μm جو ايئر فلم گيپ گائيڊ مٿاڇري جي خرابي تي برداشت نه آهي - اهو ڪل آپريٽنگ ڪليئرنس آهي جنهن ۾ تبديلي جا سڀئي ذريعا شامل آهن. ايئر بيئرنگ جي صحيح ڪم ڪرڻ لاءِ گائيڊ مٿاڇري پاڻ کي هن گيپ کان وڌيڪ هموار ۽ چاپلوس هجڻ گهرجي.

مٿاڇري جي ختم ٿيڻ (کٺائي) جون گهرجون

گائيڊ جي مٿاڇري جي ڪڙڇائي هوا جي فرق جو هڪ ننڍڙو حصو هجڻ گهرجي. الفرهنمائي وارو مٿاڇرو0.4 μm جي Ra roughness (هڪ معقول طور تي سٺي مشين واري مٿاڇري) سان مقامي اوچائي ۾ تبديليون پيش ڪنديون جيڪي هوا جي فرق جي هڪ اهم حصي جي مقابلي ۾ هونديون، جنهن سان دٻاءُ ۾ تيز اتار چڙهاؤ پيدا ٿيندو جيڪو سڌو سنئون گاڏي تي پوزيشننگ شور ۾ ترجمو ڪندو.

ايئر بيئرنگ ايپليڪيشنن لاءِ پريسيشن گرينائيٽ گائيڊ مٿاڇريون 0.02–0.1 μm (20–100 nm) جي Ra قدرن تي ليپ ڪيون وينديون آهن - آئيني جي معيار جي ختم ٿيڻ سان مطابقت. گرينائيٽ تي انهن کھردري قدرن کي حاصل ڪرڻ لاءِ خاص ليپنگ ٽيڪنڪ، اعليٰ معيار جي رگڙ، ۽ ماهر آپريٽرن جي ضرورت آهي جيڪي مواد کي هٽائڻ جي ميڪانيڪس ۽ گرينائيٽ جي ڪرسٽل مائڪرو اسٽرڪچر جي رويي کي سمجهن ٿا.

گرينائيٽ جي سختي هتي سڌو سنئون لاڳاپيل آهي: هڪ سخت، گهاٽي پٿر (جهڙوڪ پريميئم ڪارو گرينائيٽ ≈ 3,100 ڪلوگرام/m³ جي کثافت سان) کي نرم گرين گرينائيٽ يا سنگ مرمر جي ڀيٽ ۾ گھٽ کھردری لاءِ ليپ ڪري سگهجي ٿو، ڇاڪاڻ ته ان جي نفيس، وڌيڪ مضبوطي سان ڳنڍيل ڪرسٽل ڍانچي اناج جي ٽڪرن کي ٻاهر نه ڪڍي ٿي جيڪي نفيس ليپنگ دوران مٿاڇري کي ڇڪيندا آهن. هي هڪ اهم ٽيڪنيڪل سبب آهي ڇو ته مواد جي چونڊ ايئر بيئرنگ گائيڊ سطحن لاءِ اهم آهي، نه رڳو مٿاڇري پليٽ جي عالمي فليٽ جي وضاحت لاءِ.

سڌي ۽ سڌي هجڻ جون گهرجون

مٿاڇري جي خرابي کان ٻاهر، ايئر بيئرنگ گائيڊ مٿاڇري کي سخت فليٽ جي گهرجن کي پورو ڪرڻ گهرجي. ايئر بيئرنگ اسٽيج جي گاڏي گائيڊ مٿاڇري کي "پڙهندي" آهي - سفر جي هر نقطي تي ان جي رخ گائيڊ مٿاڇري جي مقامي شڪل طرفان طئي ڪئي ويندي آهي. گائيڊ مٿاڇري جي مثالي فليٽ (Z طرف) يا سڌي (حرڪت جي عمودي طرف، XY جهاز اندر) کان ڪو به انحراف گاڏي جي لاڳاپيل حرڪت جي غلطي جي طور تي ٻيهر پيدا ڪيو ويندو آهي.

هي اهو رجحان آهي جنهن کي ايبي ايرر (يا سائن ايرر) جي نالي سان سڃاتو وڃي ٿو: جيڪڏهن گائيڊ مٿاڇري ۾ θ ريڊين جي سلپ ايرر آهي، ۽ گاڏي تي دلچسپي جو نقطو گائيڊ مٿاڇري کان L جي فاصلي تي آهي، نتيجي ۾ ليٽرل پوزيشن ايرر L × sin(θ) ≈ L × θ ننڍن زاوين لاءِ آهي. گاڏي لاءِ جتي ماپ انڪوڊر ۽ ماپيل حصو عمودي طرف 100mm کان الڳ ٿيل آهن، 1 آرڪ سيڪنڊ جي گائيڊ مٿاڇري جي سلپ ايرر تقريبن 0.48 μm جي پوزيشن ايرر پيدا ڪري ٿي.

هن اثر کي گھٽ ڪرڻ لاءِ گائيڊ سطحن جي ضرورت آهي جن ۾ سڌي غلطيون آرڪ سيڪنڊ رينج ۾ يا ان کان گهٽ هجن، اسٽيج جي مڪمل سفر جي ڊيگهه تي. 500 ملي ميٽر سفر جي مرحلي لاءِ، هي مڪمل گرينائيٽ گائيڊ جي ڊيگهه ۾ ڪجهه مائڪرو ميٽر يا گهٽ جي اوچائي جي تبديلين سان مطابقت رکي ٿو. سڌي ٿيڻ جي هن سطح کي حاصل ڪرڻ ۽ تصديق ڪرڻ لاءِ درست ليپنگ ٽيڪنڪ، اليڪٽرانڪ ليولز ۽ ليزر انٽرفيروميٽرز سان محتاط ماپ، ۽ اسڪريپنگ اصلاح ٽيڪنڪ جي ضرورت آهي جيڪي مٿاڇري پليٽ ليپنگ لاءِ استعمال ٿينديون آهن.

سوراخ ۽ هوا جي پارگميتا

گرينائيٽ جي هڪ خاصيت جيڪا هوا جي اثر واري استعمال لاءِ انتهائي اهم آهي پر عام ادب ۾ گهٽ ئي بحث ڪئي ويندي آهي اها آهي پورسيٽي. جيڪڏهن گرينائيٽ گائيڊ مٿاڇري تي کليل سوراخ آهن - خوردبيني خالي جيڪي پٿر جي اندروني حصي کي مٿاڇري سان ڳنڍيندا آهن - بيئرنگ گيپ ۾ دٻاءُ واري هوا بيئرنگ جي نڪرڻ تائين هڪجهڙائي سان وهڻ جي بدران پٿر ۾ لڪي سگهي ٿي. اهو غير مساوي دٻاءُ جي ورڇ پيدا ڪري ٿو، هوا جي استعمال کي وڌائي ٿو، ۽ انتهائي حالتن ۾ بيئرنگ کي مقامي طور تي ٽٽڻ جو سبب بڻجي سگهي ٿو.

هاءِ ڊينسٽي ڪارو گرينائيٽ، جنهن جي انتهائي گهٽ پورسيٽي ان جي گهاٽي ڪرسٽل ڍانچي جي نتيجي ۾ آهي، گهٽ ڊينسٽي گرينائيٽ جي ڀيٽ ۾ هن مسئلي لاءِ گهٽ حساس آهي. تقريبن 3,100 ڪلوگرام/m³ جي کثافت - عام گرينائيٽ جي مقابلي ۾ 2,600-2,700 ڪلوگرام/m³ - مواد ۾ تمام گهٽ خالي حصي کي ظاهر ڪري ٿي. ايئر بيئرنگ گائيڊ سطحن لاءِ، پورسيٽي ۾ هي فرق سڌو سنئون بيئرنگ جي ڪارڪردگي ۽ استحڪام کي متاثر ڪري ٿو.

نازڪ ايپليڪيشنن ۾، اضافي مٿاڇري علاج (ايپوڪسي سان ويڪيوم امپريگنيشن، يا خاص ليپنگ طريقا جيڪي مٿاڇري جي سوراخن کي بند ڪن ٿا) لاڳو ڪري سگهجن ٿا. جڏهن ته، گهٽ پورسيٽي مواد سان شروع ڪرڻ سان اهڙي علاج جي ضرورت ۽ سوراخن سان لاڳاپيل ڪارڪردگي جي مسئلن جو خطرو گهٽجي ٿو.

گرينائيٽ ايئر بيئرنگ اسيمبليون: ڊيزائن جا خيال

گرينائيٽ تي هڪ مڪمل ايئر بيئرنگ اسٽيج ۾ گائيڊ مٿاڇري کان ٻاهر ڪيترائي انجنيئرنگ غور شامل آهن:

پري لوڊ ڊيزائن

ايئر بيرنگز کي پري لوڊ ٿيل هجڻ گهرجي - مطلب ته هڪ بحالي واري قوت کي گائيڊ مٿاڇري کان مٿي کڻڻ جي گاڏي جي ڪنهن به رجحان جي مخالفت ڪرڻ گهرجي. پري لوڊ کان سواءِ، گاڏي ڪنهن به مٿي واري خلل هيٺ مٿاڇري کان پري ترندي. پري لوڊنگ ٽن طريقن مان هڪ ذريعي حاصل ڪئي ويندي آهي:

مخالف ايئر بيئرنگ گائيڊ ريل يا فليٽ مٿاڇري جي مخالف پاسي تي ٻئي ايئر بيئرنگ مٿاڇري کي استعمال ڪن ٿا، مخالف دٻاءُ قوتون پيدا ڪن ٿيون جيڪي گاڏي کي گائيڊ تائين محدود ڪن ٿيون جڏهن ته ٻنهي پاسن تي ايئر فلم جي علحدگي کي برقرار رکن ٿيون. هي درست لڪير مرحلن لاءِ سڀ کان عام ترتيب آهي.

ويڪيوم پري لوڊ ٿيل بيئرنگ بيئرنگ جي چهري اندر هڪ مرڪزي ويڪيوم زون استعمال ڪندا آهن، جيڪو هڪ دٻاءُ واري اينولر علائقي سان گھريل هوندو آهي. نيٽ فورس پريشر ٿيل زون جي کڻڻ واري قوت ۽ ويڪيوم زون جي ڪشش جي وچ ۾ فرق آهي، جنهن جي نتيجي ۾ گائيڊ مٿاڇري ڏانهن نيٽ پري لوڊ ٿيندو آهي.

مقناطيسي پري لوڊ گاڏي ۾ مستقل مقناطيس ۽ فيرومگنيٽڪ گائيڊ ريل جي وچ ۾ پرڪشش قوت استعمال ڪري ٿو ته جيئن گاڏي کي مٿاڇري ڏانهن ڇڪي سگهجي. هن طريقي جي ضرورت آهي ته گرينائيٽ گائيڊ ريل ۾ اسٽيل يا لوهه جا عنصر شامل هجن، جيڪي ڊيزائن کي پيچيده بڻائين ٿا پر تمام ڪمپيڪٽ بيئرنگ اسيمبليون پيدا ڪري سگهن ٿا.

هوا جي فراهمي ۽ فلٽريشن

ايئر بيئرنگ مرحلن لاءِ باقاعده دٻاءُ تي صاف، خشڪ، ذرڙن کان پاڪ دٻيل هوا جي مسلسل فراهمي جي ضرورت هوندي آهي - عام طور تي 0.4-0.6 MPa. تيل جي ايروسول، پاڻي جي بخارات، يا مضبوط ذرڙن سان هوا جي فراهمي جي آلودگي ايئر بيئرنگ جي ناڪامي جي سڀ کان عام سببن مان هڪ آهي. تيل جي آلودگي بيئرنگ جي مٿاڇري کي ڍڪيندي آهي، انهن جي جاميٽري ۽ ويٽيبلٽي کي تبديل ڪندي آهي؛ پاڻي جي ڪنڊينسيشن دٻاءُ ۾ اتار چڙهاؤ پيدا ڪري ٿي؛ مضبوط ذرڙا بيئرنگ جي فرق کي پل ڪري سگهن ٿا ۽ گاڏي جي منهن ۽ گرينائيٽ گائيڊ مٿاڇري ٻنهي کي اسڪور ڪري سگهن ٿا.

سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار واري ماحول ۾، هوا جي فراهمي جي معيار کي عام طور تي سهولت جي معيارن سان چڱي طرح ڪنٽرول ڪيو ويندو آهي. ٻين صنعتي ماحول ۾، اسٽيج تي هوا جي فراهمي تي مناسب فلٽريشن ۽ خشڪ ڪرڻ جو خيال رکڻ گهرجي.

هوائي فلم تي حرارتي اثر

هوا جي ويسڪوسيٽي گرمي پد سان تبديل ٿئي ٿي - ڪمري جي حرارت تي تقريبن 2٪ في ڊگري سينٽي گريڊ. هوا جي فراهمي ۾ هڪ اهم گرمي پد جي تبديلي (مثال طور، ڪمپريسر روم کان گرمي پد تي ڪنٽرول ٿيل صاف ڪمري تائين) بيئرنگ جي سختي ۽ لفٽ فورس کي تبديل ڪري ٿي. درست ايپليڪيشنن ۾، دٻاءُ کان علاوه هوا جي فراهمي جي گرمي پد کي منظم ڪيو وڃي.

بيئرنگ گيپ پاڻ ايئر فلم جي ويسڪوس شيئر ذريعي ٿوري پر غير صفر مقدار ۾ گرمي پيدا ڪري ٿو. تيز رفتار مرحلن لاءِ، گرينائيٽ يا گاڏي جي جوڙجڪ ۾ غير متوقع درجه حرارت جي درجي بندي کان بچڻ لاءِ سسٽم جي حرارتي ماڊل ۾ هن گرمي جي ذريعن کي حساب ۾ رکڻ گهرجي.

ايئر بيئرنگ اسٽيج جي ڪارڪردگي جي ماپ ۽ تصديق

اسيمبلي کان پوءِ، گرينائيٽ تي هڪ ايئر بيئرنگ اسٽيج جي خاصيت هجڻ گهرجي ته جيئن تصديق ڪري سگهجي ته اهو پنهنجي ڪارڪردگي جي وضاحتن کي پورو ڪري ٿو. ماپڻ لاءِ اهم پيرا ميٽرز ۾ شامل آهن:

پوزيشننگ ريپيٽيبلٽي - اسٽيج کي ٽارگيٽ پوزيشن جي هڪ سيريز ڏانهن حڪم ڏيڻ ۽ هڪ اعليٰ ريزوليوشن لائينر انڪوڊر يا ليزر انٽرفيروميٽر سان اصل پوزيشن کي رڪارڊ ڪندي ماپي ويندي آهي. ٻہ طرفي ريپيٽيبلٽي (ٻنهي طرفن کان ويجهو اچڻ) هسٽريسس لاءِ ٽيسٽ.

سفر جي سڌي ٿيڻ - سفر جي رستي سان گڏ هڪ درست سڌي ڪنڊ (اڪثر ڪري، پاڻ هڪ درست گرينائيٽ حوالو) لڳائڻ سان ۽ هڪ اليڪٽرانڪ گيج استعمال ڪندي گاڏي جي سڌي لڪير کان انحراف کي ماپڻ لاءِ ماپڻ سان جيئن اهو پنهنجي مڪمل حد کي پار ڪري ٿو.

ڪوئلي غلطيون (پچ، رول، ياو) - گاڏي تي لڳل آٽو ڪوليميٽر يا اليڪٽرانڪ ليول استعمال ڪندي ماپيل، گاڏي جي رخ ۾ معمولي ڪوئلي تبديلين کي ڳوليندي جيئن اهو حرڪت ڪري ٿو.

هوا جو استعمال ۽ بيئرنگ جي سختي - گاڏي تي ڄاتل سڃاتل لوڊ لاڳو ڪندي ۽ نتيجي ۾ فرق جي تبديلي کي ماپڻ (انڪوڊر ريڊنگ مان)، بيئرنگ جي سختي (قوت في يونٽ بي گھرڻ) کي ڳڻڻ جي اجازت ڏئي ٿي.

اهي ماپون، مناسب ريزوليوشن ۽ ٽريس ايبل ڪيليبريشن جي اوزارن سان ڪيون وينديون آهن، ڪارڪردگي جي بنيادي لائن فراهم ڪن ٿيون جنهن جي خلاف اسٽيج کي برقرار رکي سگهجي ٿو ۽ ان جي سروس جي زندگي دوران ٻيهر تصديق ڪري سگهجي ٿو.

ايپليڪيشنون جتي گرينائيٽ ايئر بيئرنگ مرحلا ضروري آهن

جتي به ايپليڪيشن جي فزڪس انهن جي گڏيل خاصيتن جي گهرج ڪري ٿي، اتي هوا جي برداشت جي حرڪت ۽ گرينائيٽ گائيڊ سطحن جو ميلاپ ظاهر ٿئي ٿو:

سيمي ڪنڊڪٽر ويفر انسپيڪشن ۽ ليٿوگرافي - اڳ ۾ ئي وڏي پيماني تي بحث ڪيو ويو آهي؛ بينچ مارڪ ايپليڪيشن جيڪا ٽيڪنالاجي جي ترقي کي ان جي موجوده حالت ڏانهن وٺي وئي.

تيز رفتار پي سي بي ڊرلنگ - ملٽي اسپنڊل ڊرلنگ مشينون جيڪي پي سي بي پينل تي هڪ ئي وقت ڪيترن ئي ڊرل بٽس کي رکڻ گهرجن، گرينائيٽ بيس ۽ ايئر بيئرنگ ڪراس سلائيڊ استعمال ڪن ٿيون ته جيئن رفتار، درستگي، ۽ ڊگهي مدت جي استحڪام جي ميلاپ کي حاصل ڪري سگهجي.

آپٽيڪل پروفائيلوميٽري ۽ مٿاڇري جو معائنو - اهي اوزار جيڪي سب نانو ميٽر ريزوليوشن تي مٿاڇري جي شڪل کي ماپيندا آهن انهن کي پنهنجي ماپ جي جاچ کي حصي جي مٿاڇري تي انتهائي هموار، گهٽ وائبريشن موشن سان اسڪين ڪرڻ گهرجي. گرينائيٽ گائيڊ مٿاڇري تي ايئر بيئرنگ گهربل حرڪت جي معيار فراهم ڪن ٿا.

پريسيشن ليزر مشيننگ - فيمٽو سيڪنڊ ۽ پڪو سيڪنڊ ليزر سسٽم جيڪي پريسيشن مواد کي هٽائڻ لاءِ استعمال ڪيا ويندا آهن - اکين جي علم کان وٺي مائڪرو اليڪٽرانڪس تائين ايرو اسپيس حصن تائين ايپليڪيشنن ۾ - گهربل ايبليشن معيار حاصل ڪرڻ لاءِ نانو ميٽر سطح جي درستگي ۽ هموار، اسٽيڪشن فري موشن سان پوزيشننگ مرحلن جي ضرورت هوندي آهي.

لڪير واري پيماني تي ڪيليبريشن — درست لڪير واري انڪوڊرز ۽ ليزر انٽرفيروميٽر سسٽم لاءِ ڪيليبريشن سسٽم کي هڪ ريفرنس آرٽيفيڪٽ کي حرڪت جي معيار سان منتقل ڪرڻ گهرجي ته جيئن حرڪت پاڻ ڪيليبريشن جي درستگي کي محدود نه ڪري. درست گرينائيٽ گائيڊ سطحن تي ايئر بيئرنگ اسٽيج سڀ کان وڌيڪ گهربل ڪيليبريشن سسٽم لاءِ معياري انتخاب آهن.

نتيجو: هوائي فلم ۽ پٿر

ايئر بيئرنگ ٽيڪنالاجي ۽ درست گرينائيٽ، سچي انجنيئرنگ جي لحاظ کان، هڪ ٻئي لاءِ ٺهيل آهن. ايئر بيئرنگ آپريشن جي فزڪس گائيڊ مٿاڇري جي خرابي، همواري، ۽ مادي خاصيتن تي سخت مطالبا مقرر ڪري ٿي - مطالبو ڪري ٿي ته درست گرينائيٽ، جڏهن مناسب معيارن تي تيار ۽ پروسيس ڪئي وڃي، ته ان کي پورو ڪرڻ لاءِ منفرد طور تي چڱي طرح پوزيشن ۾ رکيو وڃي. ۽ ايئر بيئرنگ، رگڙ ۽ رابطي جي لباس کي ختم ڪندي، درست گرينائيٽ جي نانو ميٽر-اسڪيل مٿاڇري جي ختم کي مسلسل خرابي کان سواءِ استعمال ڪرڻ جي اجازت ڏين ٿا.

نتيجو هڪ پوزيشننگ ٽيڪنالاجي آهي جيڪا حرڪت جي معيار کي حاصل ڪرڻ جي قابل آهي - نانو ميٽرن ۾ ماپيل - جيڪا پوئين نسل جي انجنيئرن کي شاندار لڳي ها. اهو ته هي ٽيڪنالاجي جسماني ۽ تصوراتي طور تي، قديم پٿر جي بنياد تي قائم آهي، جديد صحت واري انجنيئرنگ جي وڌيڪ خوبصورت ستم ظريفين مان هڪ آهي.