♦ ايلومينيا (ال2او 3)
زنجون جي ذهانت واري ٺاهيل گروهه طرفان تيار ڪيل سڪيزي سيرام گرام (زيام گرام. تيز درجه حرارت پوٽرنگنگ ۽ صحت واري مشين، ± 0.001mm جي دائري درستگي، R0.10 تائين، همراهه تائين، حرارت تائين، درجه حرارت کي استعمال ڪريو. توهان جا فرد جي گهر ۾ تياريون ٺاهيل آهن، جهڙوڪ اسان جي ڪمپني جو پيدا ٿيندڙ اڻٿي، ڪاررا، ڪاررا، ڪاررا، ڪاررا ۽ ڪارراپ) ڪارروا، وستن ۽ مرکوڪ گستا ۽ وڪسوسي ۽ مرزا.
گهڻو ڪري سيميسوڊروٽرڪٽر پروڊڪٽ جي پيداوار ۾ استعمال ڪيو ويو آهي: فريم (سيرامڪ بریکٹ)، بازو / بریکٹ (بازو / برج)، ميڪپلڪ اجزاء.
| شئ جو نالو | هاء پاڪائي 99 ايلومينيم سيرامڪ اسڪوائر ٽيوب / پائپ / پتي | |||||
| Ix انڊي | يونٽي پي | 85٪ ال 2O3 | 95٪ ال 2O3 | 99٪ ال 2O3 | 99.5٪ ال 2O3 | |
| کثافت | جي / سي ايم 3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| پاڻي سمث | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
| ورجائي درجه حرارت | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| گهورڻ | موس | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| موڙيندڙ طاقت (20 ℃)) | صحيح | 200 4 | ڏھ | 340 | 360 | |
| مجبوري طاقت | ڪلوميٽر / سي ايم 2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| ڊگھي وقت جو ڪم ڪندڙ حرارت | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| وڌ. ڪم ڪندڙ حرارت | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| حجم جي مزاحمت | 20 ℃ | Ω. سي ايم 3 | > 1013 | > 1013 | > 1013 | > 1013 |
| 100 S اڻ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300 ℃ | > 109 | > 1010 | > 1012 | > 1012 | ||
وڏي پاڪائي ايلومينينا سيرامڪس جي درخواست:
1. سيمڪنڊيٽرس جي سامان تي لاڳو ٿيل آهي: سيرامڪ ويڪيوم چڪر، ڪٽڻ واري ڊسڪ، ڪٽڻ واري ڊسڪ، سيرامڪ چڪر.
2. ويفر منتقلي جا حصا: ويفرز کي هٿ ڪرڻ واري چڪن، ويفر ڪٽڻ واري ڊسڪ، ويفر صاف ڪرڻ واري ڊسڪ، ويفر آپٽيڪل انسپيڪشن ڪوپ.
3. ايل ايل / ايل سي ڊي فليٽ پينل ڊسپلي انڊسٽري: سيرامڪ نزل، سيرامڪ پيزائن ڊسڪ، لفٽ پن، پن ريل.
4. آپسسٽرياتي اتحاد شمسيات: سڪيرڪ نلس، سخاوتاتي سوار، سرامڪ بورڊ اسڪرين اسڪرين اسڪرين اسڪرين سيرامڪ اسڪرپٽ.
5. گرمي مزاحمتي ۽ برقي طور تي ويڙهاڪ حصا: سيرامڪ بيئرنگ.
في الحال، ايلومينيم آڪسائيڊ سيرامڪس کي وڌيڪ پاڪائي ۽ عام سيرامڪ ۾ ورهائجي سگهجي ٿو. هاء پاڪائي ايلومينيم سيرامڪ سيريز سيريز سيرامڪ مواد کي سيرامڪ مواد جو حوالو ڏنو آهي جنهن ۾ 99.9٪ الوومو. 1650 - 1990 تائين جي گناهه جي درجه حرارت جي ڪري 1 ~ ° C ۽ ان جي ٽرانسميشن جي موج جي واڌاري جي ڪري، جيڪو عام طور تي پلاٽينم جي مرضي جي بجاء ان جي روشني واري ٽولي جي مزاحمت جي ڪري ٿي سگهي ٿو. اليڪٽرانڪس انڊسٽري ۾، آئي سي جي سبزٽيز لاء اعلي فریکوئنسي انڪشاف مواد طور استعمال ٿي سگهي ٿو. ايلومينيم آڪسائيڊ جي مختلف موادن مطابق، هڪ عام ادارو ادارو ايٽر س In وڪشاف س In و وڌ لينڊ سپورٽ آهي، 90 سپورٽز ۽ 85 سپورٽ. ڪڏهن ڪڏهن، سيرامڪس 80 سيڪڙو يا 75 سيڪڙو ايلومينيم آڪسائيڊ سان گڏ عام ايلومينيم آڪسائيڊ سيريز جي ترتيب ڏنل آهي. انهن مان، 99 ايلومينيم آڪسائيڊ سيرامڪ مواد کي تيز درجه حرارت جو مدار ۽ خاص لباس ۽ خاص لباس، سيرامڪ سيلز ۽ والوي پليٽون. 95 ايلومينيم سيرامڪ بنيادي طور تي ڪورسن مزاحمتي لباس جي مزاحمتي حصي طور استعمال ڪيو ويندو آهي. 85 سيرامڪ گهڻو ڪري ڪجهه ملڪيت ۾ ملايو ويندو آهي، انهي ڪري برقي ڪارڪردگي ۽ ميڪانياتي طاقت بهتر بڻائي ٿي. اهو مولبڊيمم، نيوبيم، ٽابليم ۽ ٻين ڌاتو جا مهر استعمال ڪري سگھن ٿا، ۽ ڪجهه بجلي واري ويڪيوم ڊوائيس طور استعمال ڪيا ويندا آهن.
| معيار جي شيء (نمائندو جي قيمت) | شئ جو نالو | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22s | AES-23 | ال-31-03 | |
| ڪيميائي ترتيب گهٽ سوڊيم آسان سنوارڻ واري پيداوار | ايڇ او او | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| ايل او ايل | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| fe₂0₃₃ | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
| سيوو | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.04 | 0.04 | |
| نوو | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.02 | 0.04 | 0.03 | |
| ايم اوگو * | % | - | 0.11 | 0.05 | 0.05 | - | - | - | |
| al0₃₂₃₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| وچولي مرڪزي قطر (MT-3300، ليزر تجزيو جو طريقو) | μm | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | مرد 2.2 | 3 | |
| α ڪرسٽل سائيز | μm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 ~ 1.0 | 0.3 ~ 4 | 0.3 ~ 4 | |
| کثافت ڪرڻ ** | جي / سي ايم | 2.22 | 2.22 | مرد 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| گناهه کثافت ** | جي / سي ايم | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| گناهه جي لڪير جي شرح | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* ايمگو الومو جي پاڪائي جي حساب ۾ شامل نه آهي.
* ڪوبه اسڪيلنگ پاؤڊر 29.4mpa (300 ڪلوگرام / سي ايم ايم)، گناهه جي درجه حرارت 1600 ° C آهي.
اي اي ايس -11 / 11 سي / 11F: 0.05 ~ 0.1 ايمگو شامل ڪريو، SUNTERONECINGE بهترين آهي، انهي کي 99 سيڪڙو کان وڌيڪ ايلومينيم آڪسائيڊ سازي تي لاڳو آهي.
AES-22s: نمائش واري کثافت جي گهٽتائي ۽ گهٽ ۾ گهٽ گهٽتائي واري شرح جي شرح، اهو گهربل آهي ۽ ٻئي وڏي پيماني تي پراڊڪٽس جي درستگي سان.
AES-23 / AES-31-03: ان ۾ هڪ اعلي قسم جي کثافت، thissotropy ۽ AES-22s کان گهٽ ويڪري آهي. اڳوڻي سيرامڪ کي استعمال ڪيو ويندو آهي جڏهن ته بعد ۾ فائرنگ مواد لاء پاڻي جي گهٽتائي استعمال ڪئي ويندي آهي، مقبوليت حاصل ڪرڻ.
♦ سلڪون ڪاربائڊ (SIC) خاصيتون
| عام خاصيتون | مکيه حصن جي پاڪائي (wt٪) | 97 | |
| رنگ | ڪارو | ||
| کثافت (جي / سي ايم ايم) | 3.1 | ||
| پاڻي جا جذب (٪) | 0 | ||
| مشيني خاصيت | لچڪدار طاقت (ايم پي اي) | 400 | |
| نوجوان ماڊلولس (جي پي اي پي) | 400 | ||
| ويڪرز سختي (GPA) | 20 | ||
| حرارتي خاصيتون | وڌ کان وڌ آپريٽنگ حرارت (° C) | 1600 | |
| حرارتي توسيع جي گنجائش | RT ~ 500 ° C | 3.9 | |
| (1 / ° C x 10-6) | آر ٽي ~ 800 ° C | 4.3 | |
| حرارتي چالو (W / M x X k) | 130 110 | ||
| حرارتي جھٽڪو مزاحمت Δt (° C) | ڏھ | ||
| بجلي جا خاصيتون | حجم جي مزاحمت | 25 ° C | 3 X 106 |
| 300 ° C | - | ||
| 500 ° C | - | ||
| 800 ° C | - | ||
| ڊائليٽرڪ مسلسل | 10GHz | - | |
| ڊيليٽرڪ نقصان (x 10-4) | - | ||
| q عنصر (x 104) | - | ||
| Dealctric خراب وولٽ (ڪي وي / ايم ايم) | - | ||
♦ سلکن نائٽريڊ سيرامڪ
| مواد | يونٽي پي | سينر |
| گناهه جو طريقو | - | گئس جو دٻاء |
| کثافت | جي / سي ايم | 3.22 |
| رنگ | - | گھٽي گرڻ |
| پاڻي جذب جي شرح | % | 0 |
| نوجوان ماڊلولس | جي گٽ | 290 |
| ويڪرز سختي | جي گٽ | 18 - 20 |
| مجبوري طاقت | صحيح | 2200 |
| طاقت ڏيڻ | صحيح | 650 |
| حرارتي چالاڪ | w / mk | 25 |
| حرارتي جھٽڪ مزاحمت | Δ (° C) | 450 - 650 |
| وڌ کان وڌ آپريٽنگ حرارت | ° C | 1200 |
| حجم جي مزاحمت | ω · سي ايم | > 10 ^ 14 |
| ڊائليٽرڪ مسلسل | - | 8.2 |
| ڊائيڪٽرڪ طاقت | ڪي وي / ايم ايم | 16 |