ڇا ويفر اسڪيننگ دوران گرمي سبب گرينائيٽ مشين جو بنياد وڌندو؟

چپ جي پيداوار جي اهم ڪڙي ۾ - ويفر اسڪيننگ، سامان جي درستگي چپ جي معيار کي طئي ڪري ٿي. سامان جي هڪ اهم جزو جي طور تي، گرينائيٽ مشين بيس جي حرارتي توسيع جي مسئلي تمام گهڻو ڌيان ڇڪايو آهي.

گرينائيٽ جي حرارتي توسيع جو ڪوفيشيٽ عام طور تي 4 ۽ 8×10⁻⁶/℃ جي وچ ۾ هوندو آهي، جيڪو ڌاتو ۽ سنگ مرمر جي ڀيٽ ۾ تمام گهٽ هوندو آهي. ان جو مطلب آهي ته جڏهن گرمي پد تبديل ٿئي ٿو، ته ان جو سائز نسبتاً گهٽ تبديل ٿئي ٿو. بهرحال، اهو ياد رکڻ گهرجي ته گهٽ حرارتي توسيع جو مطلب اهو ناهي ته ڪو به حرارتي توسيع ناهي. انتهائي گرمي پد جي اتار چڙهاؤ جي تحت، معمولي توسيع به ويفر اسڪيننگ جي نانو اسڪيل جي درستگي کي متاثر ڪري سگهي ٿي.

ويفر اسڪيننگ جي عمل دوران، حرارتي توسيع جي واقعن جا ڪيترائي سبب آهن. ورڪشاپ ۾ گرمي پد ۾ اتار چڙهاؤ، سامان جي اجزاء جي آپريشن ذريعي پيدا ٿيندڙ گرمي، ۽ ليزر پروسيسنگ ذريعي فوري طور تي تيز گرمي پد، سڀ گرينائيٽ بيس کي "گرمي پد جي تبديلين جي ڪري وڌائڻ ۽ سڪيڙڻ" جو سبب بڻجندا. هڪ ڀيرو بيس حرارتي توسيع مان گذرندو آهي، گائيڊ ريل جي سڌي ۽ پليٽ فارم جي هموار هجڻ انحراف ڪري سگهي ٿي، جنهن جي نتيجي ۾ ويفر ٽيبل جي حرڪت جي غلط رفتار پيدا ٿيندي. سپورٽنگ آپٽيڪل جزا پڻ تبديل ٿيندا، جنهن جي ڪري اسڪيننگ بيم "انحراف" ڪندو. گهڻي وقت تائين مسلسل ڪم ڪرڻ سان غلطيون به گڏ ٿينديون، جنهن جي ڪري درستگي وڌيڪ خراب ٿيندي.

پر پريشان نه ٿيو. ماڻهن وٽ اڳ ۾ ئي حل آهن. مواد جي لحاظ کان، گرينائيٽ رگون جيڪي حرارتي توسيع جي گهٽ کوٽائي سان چونڊيل هونديون ۽ عمر جي علاج جي تابع هونديون. گرمي پد جي ڪنٽرول جي لحاظ کان، ورڪشاپ جو گرمي پد 23±0.5℃ يا ان کان به گهٽ تي صحيح طور تي ڪنٽرول ڪيو ويندو آهي، ۽ هڪ فعال گرمي جي ضايع ڪرڻ وارو ڊوائيس پڻ بنياد لاءِ ٺاهيو ويندو. ساخت جي ڊيزائن جي لحاظ کان، هموار جوڙجڪ ۽ لچڪدار سپورٽ اختيار ڪيا ويندا آهن، ۽ حقيقي وقت جي نگراني درجه حرارت سينسر ذريعي ڪئي ويندي آهي. حرارتي خرابي جي ڪري ٿيندڙ غلطيون متحرڪ طور تي الگورتھم ذريعي درست ڪيون وينديون آهن.

ASML ليٿوگرافي مشينن جهڙا اعليٰ درجي جا سامان، انهن طريقن ذريعي، گرينائيٽ بيس جي حرارتي توسيع اثر کي انتهائي ننڍي حد اندر رکن ٿا، جنهن سان ويفر اسڪيننگ جي درستگي نانو ميٽر جي سطح تائين پهچي سگهي ٿي. تنهن ڪري، جيستائين اهو صحيح طور تي ڪنٽرول ڪيو وڃي، گرينائيٽ بيس ويفر اسڪيننگ سامان لاءِ هڪ قابل اعتماد انتخاب رهي ٿو.