ويفر پروسيسنگ جو سامان اليڪٽرانڪ حصن جي پيداوار واري عمل ۾ هڪ لازمي اوزار آهي. سامان ٺاھڻ واري عمل جي دوران استحڪام ۽ درستگي کي يقيني بڻائڻ لاء گرينائيٽ اجزاء کي استعمال ڪري ٿو. گرينائيٽ هڪ قدرتي طور تي ٿيندڙ پٿر ۽ گهٽ حرارتي استحڪام واري ملڪيت آهي، انهي کي گهٽ حرارتي پروسيسنگ سامان ۾ هڪ مثالي مواد ٺاهڻ. هن آرٽيڪل ۾، اسان ڪم ڪندڙ ماحول تي گرينٽ پروسيسنگ جو سامان گرينائيٽ جا حصا ۽ ڪم ڪندڙ ماحول کي ڪيئن برقرار رکنداسين.
ڪم ڪندڙ ماحول تي گرين پروسيسنگ سامان گرينائيٽ جزن جون ضرورتون
1. درجه حرارت ڪنٽرول
گرينائيٽ جا حصا استعمال ٿيندڙ ويفر پروسيسنگ سامان ۾ استعمال ٿيندڙ هڪ مستحڪم ڪم ڪندڙ ماحول جي ضرورت آهي. ڪم ڪندڙ ماحول کي خاص درجه حرارت جي حد تائين برقرار رکڻ لازمي آهي انهي کي يقيني بڻائڻ لاء ته گرينائيٽ جا حصا نه وڌندا آهن. درجه حرارت جا وهڪرا گرينٽ حصن کي وڌائڻ يا ٺيڪي جي عمل جي ڪري، جيڪي پيداوار جي عمل دوران غلطين جو نتيجو ٿي سگهي ٿو.
2. صفائي
ويفر پروسيسنگ سامان گرينائيٽ جا حصا هڪ صاف ڪم ڪندڙ ماحول جي ضرورت آهي. ڪم ڪندڙ ماحول ۾ هوا ذرات کان آزاد هئڻ گهرجي جيڪي سامان کي آلوده ڪري سگهن ٿا. هوا ۾ ذرات گرينائيٽ حصن تي آباد ٿي سگهي ٿو ۽ پيداوار واري عمل سان مداخلت ڪري سگھن ٿا. ڪم ڪندڙ ماحول کي به مٽي، ملبے، ۽ ٻين آلودگي کان آزاد ٿيڻ گهرجي جيڪو سامان جي درستگي کي متاثر ڪري سگهي ٿو.
3. نمي جو ڪنٽرول
تيز نمي جي سطح کي فطرتي پروسيسنگ سامان گرينائيٽ حصن سان مسئلا پيدا ڪري سگھن ٿا. گرينائيٽ پورس آهي ۽ ڀرپاسي ماحول مان نمي جذب ڪري سگهي ٿي. تيز نمي جي سطح گرينائيٽ حصن کي سو sw تائين ڪري سگهي ٿو، جيڪو سامان جي درستگي کي متاثر ڪري سگهي ٿو. ڪم ڪندڙ ماحول کي هن مسئلي کي روڪڻ لاء 40-60 سيڪڙو جي وچ ۾ 40-60 سيڪڙو جي سطح تي برقرار رکڻ گهرجي.
4. کمپن جو ڪنٽرول
گرينائيٽ جا حصا Wafer پروسيسنگ سامان ۾ استعمال ٿيندڙ کمپن ۾ تمام گهڻو حساس هوندا آهن. کمپن کي حرڪت لاء گرينائيٽ حصن جو سبب بڻجندو آهي، جيڪو پيداوار واري عمل جي دوران غلطين جو نتيجو ٿي سگهي ٿو. ڪم ڪندڙ ماحول کي کمپن جي ذريعن کان آزاد ڪرڻ گهرجي جهڙوڪ هن مسئلي کي روڪڻ لاء سخت مشينري ۽ ٽرئفڪ.
ڪم ڪندڙ ماحول کي ڪيئن برقرار رکڻ
1. درجه حرارت ڪنٽرول
ڪم ڪرڻ واري ماحول ۾ مستحڪم حرارت کي برقرار رکڻ لاء وافل پروسيسنگ سامان لاء نازڪ آهي. ٺاهيندڙ طرفان بيان ڪيل درجه حرارت کي برقرار رکڻ گهرجي. اهو ايئر ڪنڊيشننگ يونٽ، موصليت، موصليت، ۽ درجه حرارت جي نگراني واري نظام کي يقيني بڻائي سگهجي ٿو ته سامان هڪ مستحڪم ماحول ۾ هلندو آهي.
2. صفائي
هڪ صاف ڪم ڪندڙ ماحول کي برقرار رکڻ لاء ضروري آهي، ويفر پروسيسنگ سامان جي مناسب ڪم لاء ضروري آهي. هوائي فلٽر کي باقاعدي طور تي تبديل ڪيو وڃي، ۽ مٽي ۽ ذرات جي جمع ڪرڻ کي روڪڻ لاء باقاعده صاف ڪرڻ گهرجي. ملبي جمع ڪرڻ کي روڪڻ لاء منزلن ۽ سطحن کي صاف ڪرڻ گهرجي.
3. نمي جو ڪنٽرول
ويفر پروسيسنگ سامان جي مناسب ڪم لاء هڪ مستحڪم نمي جي سطح کي برقرار رکڻ ضروري آهي. گهربل نمي جي سطح کي برقرار رکڻ لاء هڪ دودميفائيزر استعمال ڪري سگهجي ٿو. نمي سينسرز کي ڪم ڪندڙ ماحول ۾ نمي واري سطح جي نگراني لاء پڻ انسٽال ڪري سگھجن ٿا.
4. کمپن جو ڪنٽرول
ويفر پروسيسنگ سامان کي متاثر ڪرڻ کان مجبور کي روڪڻ لاء، ڪم ڪندڙ ماحول کي کمپن جي ذريعن کان آزاد هجڻ گهرجي. وڏي مشينري ۽ ٽرئفڪ تعميراتي علائقي کان پري ٿيڻ گهرجي. کمپن جي نباتات واري نظام کي به هڪ وائبريشن کي جذب ڪرڻ لاء پڻ انسٽال ڪري سگهجي ٿو.
نتيجي ۾، ويفرنگ پروسيسنگ سامان گرينٽ حصن کي يقيني بڻائڻ لاء هڪ مستحڪم ۽ ڪنٽرول واري ڪم کي يقيني بڻائڻ لاء هڪ مستحڪم ڪم ڪندڙ ماحول جي ضرورت آهي. گرمي پد جو ڪنٽرول، صفائي، صاف ڪرڻ واري ڪنٽرول، ۽ سامان جي صحيح ڪم کي برقرار رکڻ لاء ضروري آهي. باقاعده سنڀال واري ماحول جي باقاعدي سار سنڀال ۽ نگراني ڪنهن به مسئلي کي روڪڻ لاء اهم آهن جيڪو سامان جي ڪارڪردگي تي اثر انداز ٿي سگهي ٿو. انهن هدايتن تي عمل ڪندي، ٺاهيندڙن کي پنهنجي ويفر پروسيسنگ سامان جي ڪارڪردگي وڌائي ۽ اعلي معيار واري اليڪٽرانڪ حصن پيدا ڪري سگهن ٿا.
پوسٽ جو وقت: جنوري-02-2024