سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي ميدان ۾، ويفر انسپيڪشن سامان جي درستگي سڌو سنئون چپس جي معيار ۽ پيداوار جو تعين ڪري ٿي. بنيادي ڳولا جي اجزاء جي مدد ڪندڙ بنياد جي طور تي، سامان جي بنيادي مواد جي طول و عرض استحڪام سامان جي ڊگهي مدت جي آپريشنل ڪارڪردگي ۾ اهم ڪردار ادا ڪري ٿي. گرينائيٽ ۽ ڪاسٽ آئرن ويفر انسپيڪشن سامان لاءِ ٻه عام طور تي استعمال ٿيندڙ بنيادي مواد آهن. 10 سالن جي تقابلي مطالعي ۾ طول و عرض استحڪام جي لحاظ کان انهن جي وچ ۾ اهم فرق ظاهر ڪيا ويا آهن، سامان جي چونڊ لاءِ اهم حوالا فراهم ڪيا ويا آهن.
تجرباتي پس منظر ۽ ڊيزائن
سيمي ڪنڊڪٽر ويفرز جي پيداوار جي عمل ۾ ڳولا جي درستگي لاءِ انتهائي اعليٰ گهرجون آهن. هڪ مائڪرو ميٽر-سطح جي طول و عرض جي انحراف به چپ جي ڪارڪردگي ۾ گهٽتائي يا اسڪريپنگ جو سبب بڻجي سگهي ٿو. ڊگهي مدت جي استعمال دوران گرينائيٽ ۽ ڪاسٽ آئرن جي طول و عرض جي استحڪام کي ڳولڻ لاءِ، ريسرچ ٽيم اهڙا تجربا ٺاهيا جيڪي حقيقي ڪم ڪندڙ ماحول کي نقل ڪندا هئا. ساڳئي وضاحتن جا گرينائيٽ ۽ ڪاسٽ آئرن نمونا چونڊيا ويا ۽ هڪ ماحولياتي چيمبر ۾ رکيا ويا جتي گرمي پد 15 ℃ کان 35 ℃ تائين گهٽجي ويو ۽ نمي 30٪ کان 70٪ RH تائين گهٽجي وئي. سامان جي آپريشن دوران ميڪيڪل وائبريشن کي وائبريشن ٽيبل ذريعي نقل ڪيو ويو. نمونن جي اهم طول و عرض کي هر ٽه ماهي ۾ هڪ اعليٰ درستگي واري ليزر انٽرفيروميٽر استعمال ڪندي ماپيو ويو، ۽ ڊيٽا مسلسل 10 سالن تائين رڪارڊ ڪيو ويو.
تجرباتي نتيجو: گرينائيٽ جو پورو فائدو
ڏهه سالن جي تجرباتي ڊيٽا ڏيکاري ٿي ته گرينائيٽ سبسٽريٽ حيرت انگيز استحڪام ڏيکاري ٿو. ان جي حرارتي توسيع جو ڪوفيشيٽ انتهائي گهٽ آهي، سراسري طور تي صرف 4.6×10⁻⁶/℃ آهي. سخت گرمي پد جي تبديلين جي تحت، طول و عرض جي انحراف کي هميشه ±0.001mm اندر ڪنٽرول ڪيو ويندو آهي. نمي جي تبديلين جي منهن ۾، گرينائيٽ جي گهاٽي جوڙجڪ ان کي تقريبن غير متاثر ڪري ٿي، ۽ ڪا به ماپڻ لائق طول و عرض تبديليون نه ٿينديون آهن. ميڪيڪل وائبريشن ماحول ۾، گرينائيٽ جون بهترين ڊمپنگ خاصيتون مؤثر طريقي سان وائبريشن توانائي جذب ڪن ٿيون، ۽ طول و عرض جي اتار چڙهاؤ تمام ننڍو آهي.
ان جي ابتڙ، ڪاسٽ آئرن سبسٽريٽ لاءِ، ان جي حرارتي توسيع جو سراسري ڪوئفيشينٽ 11×10⁻⁶/℃ - 13×10⁻⁶/℃ تائين پهچي ٿو، ۽ 10 سالن اندر گرمي پد جي تبديلين جي ڪري وڌ ۾ وڌ طول و عرض انحراف ±0.05 ملي ميٽر آهي. نم ماحول ۾، ڪاسٽ آئرن زنگ ۽ سنکنرن جو شڪار هوندو آهي. ڪجهه نمونا مقامي خرابي ڏيکارين ٿا، ۽ طول و عرض انحراف وڌيڪ وڌي ٿو. ميڪيڪل وائبريشن جي عمل هيٺ، ڪاسٽ آئرن ۾ وائبريشن ڊمپنگ جي خراب ڪارڪردگي هوندي آهي ۽ ان جو سائز بار بار بدلجي ويندو آهي، جنهن ڪري ويفر انسپيڪشن جي اعليٰ درستگي جي گهرجن کي پورو ڪرڻ ڏکيو ٿي ويندو آهي.
استحڪام ۾ فرق جو بنيادي سبب
گرينائيٽ لکين سالن کان وڌيڪ عرصي ۾ ارضياتي عملن ذريعي ٺهيو. ان جي اندروني بناوت گهاٽي ۽ هڪجهڙائي آهي، ۽ معدني ڪرسٽل مستحڪم طور تي ترتيب ڏنل آهن، فطرت طرفان اندروني دٻاءُ کي ختم ڪن ٿا. اهو ان کي خارجي عنصرن جهڙوڪ گرمي پد، نمي ۽ وائبريشن ۾ تبديلين لاءِ انتهائي غير حساس بڻائي ٿو. ڪاسٽ آئرن ڪاسٽنگ جي عمل ذريعي ٺاهيو ويندو آهي ۽ ان ۾ خوردبيني نقص آهن جهڙوڪ سوراخ ۽ ريتي جا سوراخ. ساڳئي وقت، ڪاسٽنگ جي عمل دوران پيدا ٿيندڙ باقي دٻاءُ ٻاهرين ماحول جي محرڪ هيٺ طول و عرض ۾ تبديلين جو سبب بڻجندو آهي. ڪاسٽ آئرن جون ڌاتوئي خاصيتون ان کي نمي جي ڪري زنگ لڳڻ، ساخت جي نقصان کي تيز ڪرڻ ۽ طول و عرض جي استحڪام کي گهٽائڻ جو سبب بڻجنديون آهن.
ويفر انسپيڪشن سامان تي اثر
گرينائيٽ سبسٽريٽ تي ٻڌل ويفر انسپيڪشن سامان، ان جي مستحڪم طول و عرض جي ڪارڪردگي سان، اهو يقيني بڻائي سگھي ٿو ته انسپيڪشن سسٽم ڊگهي وقت تائين اعليٰ درستگي برقرار رکي، سامان جي درستگي جي وهڪري جي ڪري غلط فهمي ۽ گم ٿيل ڳولا کي گهٽائي، ۽ پيداوار جي پيداوار کي خاص طور تي بهتر بڻائي. ساڳئي وقت، گهٽ سار سنڀال جون گهرجون سامان جي مڪمل زندگي جي چڪر جي قيمت کي گهٽائي ڇڏين ٿيون. ڪاسٽ آئرن سبسٽريٽ استعمال ڪندڙ سامان، خراب طول و عرض جي استحڪام جي ڪري، بار بار ڪيليبريشن ۽ سار سنڀال جي ضرورت آهي. اهو نه رڳو آپريٽنگ خرچ وڌائي ٿو پر ناکافي درستگي جي ڪري سيمي ڪنڊڪٽر پيداوار جي معيار کي پڻ متاثر ڪري سگهي ٿو، امڪاني معاشي نقصان جو سبب بڻجي سگهي ٿو.
سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري جي اعليٰ درستگي ۽ بهتر معيار جي ڳولا جي رجحان جي تحت، ويفر انسپيڪشن سامان لاءِ بنيادي مواد جي طور تي گرينائيٽ چونڊڻ بلاشبہ سامان جي ڪارڪردگي کي يقيني بڻائڻ ۽ ادارن جي مقابلي کي وڌائڻ لاءِ هڪ دانشمندانه قدم آهي.
پوسٽ جو وقت: مئي-14-2025