سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار تي حرارتي توسيع جي کوٽائي جو مخصوص اثر.

​
سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي ميدان ۾، جيڪو آخري درستگي جي پيروي ڪري ٿو، حرارتي توسيع جو ڪوفيشينٽ بنيادي پيرا ميٽرز مان هڪ آهي جيڪو پيداوار جي معيار ۽ پيداوار جي استحڪام کي متاثر ڪري ٿو. فوٽو ليٿوگرافي، ايچنگ کان پيڪنگنگ تائين سڄي عمل دوران، مواد جي حرارتي توسيع جي ڪوفيشينٽس ۾ فرق مختلف طريقن سان پيداوار جي درستگي ۾ مداخلت ڪري سگهي ٿو. بهرحال، گرينائيٽ بيس، ان جي انتهائي گهٽ حرارتي توسيع جي ڪوفيشينٽ سان، هن مسئلي کي حل ڪرڻ جي ڪنجي بڻجي چڪو آهي.
لٿوگرافي جو عمل: حرارتي خرابي نموني جي انحراف جو سبب بڻجندي آهي
فوٽوليٿوگرافي سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ هڪ بنيادي قدم آهي. فوٽوليٿوگرافي مشين ذريعي، ماسڪ تي سرڪٽ جا نمونا فوٽوريزسٽ سان ڍڪيل ويفر جي مٿاڇري تي منتقل ڪيا ويندا آهن. هن عمل دوران، فوٽوليٿوگرافي مشين اندر حرارتي انتظام ۽ ورڪ ٽيبل جي استحڪام اهم اهميت رکن ٿا. مثال طور روايتي ڌاتو مواد وٺو. انهن جي حرارتي توسيع جو ڪوفيشيٽ تقريبن 12×10⁻⁶/℃ آهي. فوٽوليٿوگرافي مشين جي آپريشن دوران، ليزر لائيٽ سورس، آپٽيڪل لينس ۽ ميڪيڪل حصن مان پيدا ٿيندڙ گرمي سامان جي گرمي پد ۾ 5-10 ℃ تائين واڌ جو سبب بڻجندي. جيڪڏهن ليٿوگرافي مشين جي ورڪ ٽيبل هڪ ڌاتو بيس استعمال ڪري ٿي، ته 1 ميٽر ڊگهو بيس 60-120 μm جي توسيع جي خرابي جو سبب بڻجي سگهي ٿو، جيڪو ماسڪ ۽ ويفر جي وچ ۾ لاڳاپا پوزيشن ۾ تبديلي جو سبب بڻجندو.
ترقي يافته پيداوار جي عملن ۾ (جهڙوڪ 3nm ۽ 2nm)، ٽرانزسٽر جي فاصلي صرف چند نانو ميٽر آهي. اهڙي ننڍڙي حرارتي خرابي فوٽو ليٿوگرافي جي نموني کي غلط ترتيب ڏيڻ لاءِ ڪافي آهي، جنهن جي نتيجي ۾ غير معمولي ٽرانزسٽر ڪنيڪشن، شارٽ سرڪٽ يا اوپن سرڪٽ، ۽ ٻيا مسئلا پيدا ٿين ٿا، جيڪي سڌو سنئون چپ جي ڪمن جي ناڪامي جو سبب بڻجن ٿا. گرينائيٽ بيس جو حرارتي توسيع جو ڪوئفيشينٽ 0.01μm/°C (يعني، (1-2) ×10⁻⁶/℃) جيترو گهٽ آهي، ۽ ساڳئي درجه حرارت جي تبديلي هيٺ خرابي ڌاتو جي صرف 1/10-1/5 آهي. اهو فوٽو ليٿوگرافي مشين لاءِ هڪ مستحڪم لوڊ بيئرنگ پليٽ فارم مهيا ڪري سگهي ٿو، فوٽو ليٿوگرافي جي نموني جي صحيح منتقلي کي يقيني بڻائي ٿو ۽ چپ جي پيداوار کي خاص طور تي بهتر بڻائي ٿو.

نقاشي ۽ جمع: ساخت جي طول و عرض جي درستگي کي متاثر ڪريو
ويفر جي مٿاڇري تي ٽي-dimensional سرڪٽ structures ٺاهڻ لاءِ ايچنگ ۽ ڊيپوزيشن اهم عمل آهن. ايچنگ جي عمل دوران، رد عمل واري گئس ويفر جي مٿاڇري واري مواد سان ڪيميائي رد عمل مان گذرندي آهي. ان دوران، آر ايف پاور سپلاءِ ۽ سامان اندر گئس جي وهڪري جو ڪنٽرول جهڙا جزا گرمي پيدا ڪندا آهن، جنهن جي ڪري ويفر ۽ سامان جي حصن جو گرمي پد وڌي ويندو آهي. جيڪڏهن ويفر ڪيريئر يا سامان جي بنياد جي حرارتي توسيع جو ڪوفيشينٽ ويفر سان نه ملندو آهي (سلڪون مواد جي حرارتي توسيع جو ڪوفيشينٽ تقريبن 2.6×10⁻⁶/℃ آهي)، ته پوءِ گرمي پد ۾ تبديلي اچڻ تي حرارتي دٻاءُ پيدا ٿيندو، جيڪو ويفر جي مٿاڇري تي ننڍڙا دراڙ يا وارپنگ جو سبب بڻجي سگهي ٿو.
هن قسم جي خرابي ايچنگ جي کوٽائي ۽ پاسي واري ڀت جي عمودي کي متاثر ڪندي، جنهن جي ڪري ايچ ٿيل نالن جا طول و عرض، سوراخن ۽ ٻين جوڙجڪ ذريعي ڊيزائن جي گهرجن کان انحراف ڪندا. ساڳئي طرح، پتلي فلم جمع ڪرڻ جي عمل ۾، حرارتي توسيع ۾ فرق جمع ٿيل پتلي فلم ۾ اندروني دٻاءُ جو سبب بڻجي سگهي ٿو، جنهن جي ڪري فلم جي ٽٽڻ ۽ ڇلڻ جهڙا مسئلا پيدا ٿين ٿا، جيڪي برقي ڪارڪردگي ۽ چپ جي ڊگهي مدت جي اعتبار کي متاثر ڪن ٿا. سلڪون مواد جي برابر حرارتي توسيع جي کوٽائي سان گرينائيٽ بيسز جو استعمال مؤثر طريقي سان حرارتي دٻاءُ کي گهٽائي سگهي ٿو ۽ ايچنگ ۽ جمع ڪرڻ جي عملن جي استحڪام ۽ درستگي کي يقيني بڻائي سگهي ٿو.
پيڪنگنگ اسٽيج: حرارتي بي ترتيبي اعتبار جي مسئلن جو سبب بڻجي ٿي
سيمي ڪنڊڪٽر پيڪنگنگ اسٽيج ۾، چپ ۽ پيڪنگنگ مواد (جهڙوڪ ايپوڪسي رال، سيرامڪس، وغيره) جي وچ ۾ حرارتي توسيع جي کوٽائي جي مطابقت تمام ضروري آهي. سلڪون جو حرارتي توسيع جي کوٽائي، چپس جو بنيادي مواد، نسبتا گهٽ آهي، جڏهن ته اڪثر پيڪنگنگ مواد جو مقابلو نسبتاً وڌيڪ آهي. جڏهن استعمال دوران چپ جو گرمي پد تبديل ٿئي ٿو، ته چپ ۽ پيڪنگنگ مواد جي وچ ۾ حرارتي دٻاءُ پيدا ٿيندو، ڇاڪاڻ ته حرارتي توسيع جي کوٽائي جي کوٽائي جي بي ترتيبي جي ڪري.
هي حرارتي دٻاءُ، بار بار گرمي پد جي چڪرن (جهڙوڪ چپ جي آپريشن دوران گرم ڪرڻ ۽ ٿڌو ڪرڻ) جي اثر هيٺ، چپ ۽ پيڪنگنگ سبسٽريٽ جي وچ ۾ سولڊر جوڑوں جي ٿڪاوٽ جي ڀڃڪڙي جو سبب بڻجي سگهي ٿو، يا چپ جي مٿاڇري تي بانڊنگ تارن کي گرڻ جو سبب بڻجي سگهي ٿو، آخرڪار چپ جي برقي ڪنيڪشن جي ناڪامي جي نتيجي ۾. پيڪنگنگ سبسٽريٽ مواد کي سلڪون مواد جي ويجهو حرارتي توسيع جي کوٽائي سان چونڊڻ ۽ پيڪنگنگ جي عمل دوران درستگي جي ڳولا لاءِ بهترين حرارتي استحڪام سان گرينائيٽ ٽيسٽ پليٽ فارم استعمال ڪندي، حرارتي بي ترتيب جي مسئلي کي مؤثر طريقي سان گهٽائي سگهجي ٿو، پيڪنگ جي اعتبار کي بهتر بڻائي سگهجي ٿو، ۽ چپ جي سروس لائف کي ڊگهو ڪري سگهجي ٿو.
پيداوار جي ماحول جو ڪنٽرول: سامان ۽ ڪارخاني جي عمارتن جي هم آهنگ استحڪام
پيداوار جي عمل کي سڌو سنئون متاثر ڪرڻ کان علاوه، حرارتي توسيع جو ڪوفيشيٽ پڻ سيمي ڪنڊڪٽر ڪارخانن جي مجموعي ماحولياتي ڪنٽرول سان لاڳاپيل آهي. وڏين سيمي ڪنڊڪٽر پيداوار ورڪشاپن ۾، ايئر ڪنڊيشننگ سسٽم جي شروعات ۽ بند ٿيڻ ۽ سامان جي ڪلسٽرن جي گرمي جي ضايع ٿيڻ جهڙا عنصر ماحولياتي گرمي پد ۾ اتار چڙهاؤ جو سبب بڻجي سگهن ٿا. جيڪڏهن ڪارخاني جي فرش، سامان جي بنيادن ۽ ٻين انفراسٽرڪچر جي حرارتي توسيع جو ڪوفيشيٽ تمام گهڻو آهي، ته ڊگهي مدت جي گرمي پد ۾ تبديليون فرش کي ٽوڙڻ ۽ سامان جي بنياد کي منتقل ڪرڻ جو سبب بڻجنديون، جنهن ڪري فوٽو ليٿوگرافي مشينن ۽ ايچنگ مشينن جهڙن درستگي جي سامان جي درستگي متاثر ٿيندي.
گرينائيٽ بيسز کي سامان جي مدد طور استعمال ڪندي ۽ انهن کي گهٽ حرارتي توسيع جي کوٽائي سان ڪارخاني جي تعميراتي مواد سان گڏ ڪرڻ سان، هڪ مستحڪم پيداواري ماحول پيدا ڪري سگهجي ٿو، ماحولياتي حرارتي خرابي جي ڪري سامان جي ڪيليبريشن ۽ سار سنڀال جي خرچن جي تعدد کي گهٽائي، ۽ سيمي ڪنڊڪٽر جي ڊگهي مدت جي مستحڪم آپريشن کي يقيني بڻائي سگهجي ٿو. پيداوار لائن.
حرارتي توسيع جو ڪوفيشينٽ سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي سڄي زندگي جي چڪر ۾ هلندو آهي، مواد جي چونڊ، عمل جي ڪنٽرول کان وٺي پيڪنگنگ ۽ ٽيسٽنگ تائين. حرارتي توسيع جي اثر کي هر لنڪ ۾ سختي سان غور ڪرڻ جي ضرورت آهي. گرينائيٽ بيس، انهن جي حرارتي توسيع جي انتهائي گهٽ ڪوفيشينٽ ۽ ٻين بهترين خاصيتن سان، سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار لاءِ هڪ مستحڪم جسماني بنياد فراهم ڪن ٿا ۽ چپ جي پيداوار جي عملن جي ترقي کي وڌيڪ درستگي ڏانهن وڌائڻ لاءِ هڪ اهم ضمانت بڻجي وڃن ٿا.