سيمي ڪنڊڪٽر پريسيشن مرحلن ۽ ترقي يافته ميٽرولوجي ۾ گرينائيٽ جو اهم ڪردار

عالمي سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري هن وقت "اينگسٽروم ايرا" جي بي رحم ڳولا ۾ مصروف آهي، جتي ٽرانزسٽر جي طول و عرض صرف چند ايٽمن جي ويڪر ۾ ماپيا ويندا آهن. جيئن ته لٿوگرافي ۽ انسپيڪشن جا اوزار انهن خوردبيني ترازو ڏانهن منتقل ٿين ٿا، ساخت جي استحڪام جي گهرج "ميڪرو" کان "نانو" ڏانهن منتقل ٿي وئي آهي. هن انقلاب جي دل ۾ هڪ مواد آهي جيڪو زمين جيتري قديم آهي: پريسيشن گرينائيٽ.

جڏهن ته ڪيترائي گرينائيٽ کي هڪ سادي پٿر جي طور تي ڏسن ٿا، هڪ جي تناظر ۾نانو پوزيشننگ اسٽيجيا هڪ تيز رفتار ويفر انسپيڪشن سسٽم، اهو هڪ جديد انجنيئرنگ سيرامڪ آهي. بنيادي ميٽرولوجي ٽولز ۽ جديد موشن پليٽ فارمن جي وچ ۾ فرق کي سمجهڻ OEMs لاءِ ضروري آهي جيڪي سلڪون فيبريڪيشن ۾ ممڪن حدن کي اڳتي وڌائڻ چاهيندا آهن.

گرينائيٽ سي ايم ايم بمقابله گرينائيٽ سرفيس پليٽ: انجنيئرنگ شفٽ کي سمجهڻ

ڪيترين ئي معيار جي ڪنٽرول ليبارٽرين ۾،گرينائيٽ مٿاڇري پليٽهڪ عام فڪسچر آهي - دستي ماپ لاءِ هڪ قابل اعتماد، فليٽ حوالو. بهرحال، هڪ عام غلط فهمي آهي ته هڪ مٿاڇري پليٽ ۽ هڪ گرينائيٽ سي ايم ايم (ڪوآرڊينيٽ ماپڻ واري مشين) بيس مٽائي سگهجن ٿا. انجنيئرنگ جي نقطي نظر کان، اهي پيچيدگي جي ٻن مختلف سطحن جي نمائندگي ڪن ٿا.

هڪ مٿاڇري واري پليٽ جامد استحڪام لاءِ ٺهيل آهي. ان جو بنيادي ڪم هڪ اسٽيشنري لوڊ هيٺ فليٽ رهڻ آهي. ان جي ابتڙ، هڪ CMM يا هڪ درست اسٽيج لاءِ هڪ گرينائيٽ بيس کي متحرڪ لوڊ سنڀالڻ گهرجي. جيئن ته هڪ CMM جو پل هلندو آهي يا هڪ لڪير موٽر ڪيترن ئي Gs تي هڪ ويفر اسٽيج کي تيز ڪري ٿو، گرينائيٽ کي نه رڳو موڙ، پر ٽورشن ۽ هارمونڪ گونج جي مزاحمت ڪرڻ گهرجي.

ZHHIMG انجنيئر خاص طور تي متحرڪ ايپليڪيشنن لاءِ "ڪارو گرينائيٽ" چونڊيندا آهن ڇاڪاڻ ته ان جي وڌيڪ کثافت ۽ باریک اناج جي جوڙجڪ جي ڪري. جڏهن ته هڪ معياري مٿاڇري واري پليٽ وڌيڪ سوراخ واري قسم استعمال ڪري سگهي ٿي، هڪ CMM بيس کي سڀ کان وڌيڪ ممڪن ينگ جي ماڊيولس جي ضرورت هوندي آهي انهي کي يقيني بڻائڻ لاءِ ته تيز رفتار حرڪت جو "سنيپ" ساخت جي رنگ ۾ ترجمو نه ٿئي جيڪو ماپ جي ڊيٽا کي خراب ڪري.

سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ درستگي جا مرحلا: پيداوار جو بنياد

سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾، ٿرو پُٽ ۽ پيداوار ٻه تمام اهم ميٽرڪ آهن. ٻئي سڌو سنئون ڪارڪردگي تي منحصر آهندرستگي جا مرحلا. ڇا اهو DUV/EUV لٿوگرافي مشين ۾ ويفر اسٽيج هجي يا آٽوميٽيڊ آپٽيڪل انسپيڪشن (AOI) ٽول ۾ پوزيشننگ سسٽم، بنيادي مواد کي سب نانوميٽر ريپيٽيبلٽي کي آسان بڻائڻ گهرجي.

فيب ۾ بنيادي چئلينج گرمي آهي. لينئر موٽر ۽ ايڪٽيويٽر اهم حرارتي توانائي پيدا ڪن ٿا. جيڪڏهن اسٽيج بيس ايلومينيم يا اسٽيل مان ٺهيل هجي ها، ته نتيجي ۾ حرارتي توسيع ويفر کي ترتيب کان ٻاهر منتقل ڪرڻ جو سبب بڻجندي، جنهن جي نتيجي ۾ "اوورلي غلطيون" ٿينديون جيڪي چپس جي پوري بيچ کي برباد ڪري ڇڏينديون.

گرينائيٽ جو انتهائي گهٽ حرارتي توسيع جو ڪوئفيشينٽ (CTE) يقيني بڻائي ٿو ته موٽر گرم ٿيڻ جي باوجود به، اسٽيج جو جسماني "نقشو" مستقل رهي ٿو. وڌيڪ، ZHHIMG مربوط ايئر بيئرنگ طريقن سان ڪسٽمائيز ٿيل گرينائيٽ اجزاء فراهم ڪري ٿو. ڇاڪاڻ ته گرينائيٽ کي آئيني وانگر فليٽنس تي لپ ڪري سگهجي ٿو، اهو ايئر بيئرنگ لاءِ بهترين ڪائونٽر فيس طور ڪم ڪري ٿو، اسٽيجز کي صفر رگڙ ۽ صفر اسٽيڪشن سان هوا جي پتلي فلم تي "فلوٽ" ڪرڻ جي اجازت ڏئي ٿو.

نانو پوزيشننگ اسٽيج بيس جي فزڪس

جڏهن اسين دنيا جي دائري ۾ داخل ٿيون ٿانانو پوزيشننگ اسٽيج، اسان انساني وار کان 10,000 جي عنصر کان ننڍين حرڪتن سان معاملو ڪري رهيا آهيون. هن سطح تي، وائبريشن دشمن آهي. معياري صنعتي فرش HVAC سسٽم، پيرن جي ٽرئفڪ، ۽ ويجهي مشينري جي ڪري مسلسل وائبريٽ ڪندا آهن.

گرينائيٽ هڪ وڏي لو-پاس فلٽر جي طور تي ڪم ڪري ٿو. ان جي وڏي ماس ۽ اعلي اندروني ڊمپنگ جي ڪري، اهو قدرتي طور تي حساس سينسرز يا ويفر تائين پهچڻ کان اڳ اعلي فريڪوئنسي وائبريشن جذب ڪري ٿو. هي "غير فعال آئسوليشن" اهو ئي سبب آهي جو دنيا جا معروف لٿوگرافي سپلائرز پنهنجي ويڪيوم-مطابقت رکندڙ مرحلن لاءِ ڳري، مستحڪم بنياد فراهم ڪرڻ لاءِ ZHHIMG تي ڀروسو ڪن ٿا. اسان جي گرينائيٽ کي خاص طور تي صفر آئوٽ گيسنگ کي يقيني بڻائڻ لاءِ علاج ڪيو ويو آهي، ان کي اليڪٽران-بيم ۽ EUV عملن لاءِ گهربل اعلي ويڪيوم ماحول لاءِ مناسب بڻائي ٿو.

حد تائين ليپنگ: ZHHIMG جو فائدو

پٿر جي خام بلاڪ کان سيمي ڪنڊڪٽر گريڊ جزو ڏانهن منتقلي انتهائي صبر جو سفر آهي. جڏهن ته سي اين سي پيسڻ اسان کي ويجهو آڻيندو آهي، آخري "سپر-پريسيزن" گريڊ هٿ سان لپنگ ذريعي حاصل ڪيو ويندو آهي. هي هڪ اهڙو عمل آهي جتي ZHHIMG ٽيڪنيشن هڪ وقت ۾ مائڪرون جي حصن کي ڪٽڻ لاءِ رگڙيندڙ پيسٽ ۽ دستي حرڪتون استعمال ڪندا آهن.

لاءِنانو پوزيشننگ اسٽيج، هموار هجڻ واحد گهرج ناهي؛ گائيڊ سطحن جي متوازي ۽ عمودي هجڻ به هڪجهڙا اهم آهن. اسان جي سهولت ليزر ٽريڪرز ۽ اليڪٽرانڪ ليولز کي 0.1 آرڪ سيڪنڊن جي ريزوليوشن سان استعمال ڪري ٿي ته جيئن تصديق ڪري سگهجي ته هر محور مڪمل طور تي ترتيب ڏنل آهي. ڪاريگري جي هن سطح کي يقيني بڻائي ٿو ته جڏهن ڪو گراهڪ پنهنجي لڪير موٽر ۽ انڪوڊرز کي نصب ڪري ٿو، ته ميڪيڪل بنياد "ڪمل" جي ويجهو آهي جيئن فزڪس اجازت ڏئي ٿو.

مستقبل جو ثبوت ڏيڻ وارو فيب

جيئن صنعت 2nm نوڊس ۽ ان کان اڳتي وڌي ٿي، مواد جي پاڪائي ۽ طول و عرض جي استحڪام جون گهرجون صرف تيز ٿينديون. گرينائيٽ جو ٻين جديد مواد سان انضمام - جهڙوڪ ڪاربن فائبر پل يا سيرامڪ ويڪيوم چڪس - حرڪت ڪنٽرول ۾ ايندڙ سرحد آهي.

ZHHIMG صرف هڪ سپلائر کان وڌيڪ هجڻ لاءِ پرعزم آهي؛ اسان عالمي سيمي ڪنڊڪٽر سپلائي چين ۾ هڪ تعاون ڪندڙ ڀائيوار آهيون. ايندڙ نسل جي درستگي جي مرحلن لاءِ گهربل الٽرا اسٽيبل بنياد فراهم ڪندي، اسان مستقبل جي تعمير ڪندڙ مشينن کي ٺاهڻ ۾ مدد ڪري رهيا آهيون.