گرينائيٽ بيس استعمال ڪندي سنگل ايڪسس ايئر فلوٽ الٽرا پريسيشن موشن ماڊيول جو ايپليڪيشن فيلڊ.

سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار: چپ جي پيداوار جي عمل ۾، فوٽو ليٿوگرافي جي عمل کي سرڪٽ جي نموني کي صحيح طور تي ويفر ڏانهن منتقل ڪرڻ جي ضرورت آهي. سنگل ايڪسس ايئر فلوٽنگ الٽرا پريسيشن موشن ماڊيول جو گرينائيٽ بيس لٿوگرافي سامان ۾ ويفر ٽيبل لاءِ اعليٰ درستگي پوزيشننگ ۽ مستحڪم سپورٽ فراهم ڪري سگهي ٿو. مثال طور، ASML ۽ ٻيا بين الاقوامي طور تي مشهور لٿوگرافي مشين ٺاهيندڙ پنهنجي اعليٰ درجي جي سامان ۾ گرينائيٽ بيس ايئر فلوٽنگ موشن ماڊيول استعمال ڪندا آهن، جيڪي نانوميٽر جي سطح تي ويفر جي پوزيشننگ جي درستگي کي ڪنٽرول ڪري سگهن ٿا ته جيئن لٿوگرافي نموني جي درستگي کي يقيني بڻائي سگهجي، ان ڪري چپ جي انضمام ۽ ڪارڪردگي کي بهتر بڻائي سگهجي ٿو.
درستگي جي ماپ جو ميدان: CMM هڪ درستگي جي ماپ جو سامان آهي جيڪو عام طور تي صنعتي پيداوار ۾ استعمال ٿيندو آهي، جيڪو ورڪ پيس جي سائيز، شڪل ۽ پوزيشن جي درستگي کي ماپڻ لاءِ استعمال ٿيندو آهي. گرينائيٽ بيس تي سنگل ايڪسس ايئر فلوٽ جي الٽرا پريسيشن موشن ماڊيول کي CMM جي حرڪت پليٽ فارم طور استعمال ڪري سگهجي ٿو، جيڪو اعليٰ درستگي واري لڪير واري حرڪت کي محسوس ڪري سگهي ٿو ۽ ماپڻ واري جاچ لاءِ هڪ مستحڪم حرڪت جي رفتار فراهم ڪري سگهي ٿو. مثال طور، هيڪساگون جو اعليٰ درجي جو CMM هن ميلاپ کي استعمال ڪري ٿو وڏن ۽ پيچيده حصن کي ماپڻ لاءِ مائڪرون سطح تائين ماپڻ جي درستگي سان، آٽوميٽو، ايرو اسپيس ۽ ٻين صنعتن ۾ حصن جي معيار جي ڪنٽرول لاءِ مضبوط ضمانت فراهم ڪري ٿو.
ايرو اسپيس فيلڊ: ايرو اسپيس حصن جي پروسيسنگ ۽ جانچ ۾، اعليٰ درستگي جي ضرورت آهي. مثال طور، جهاز جي انجن بليڊن جي مشيننگ لاءِ بليڊ پروفائل جي درستگي کي يقيني بڻائڻ لاءِ ٽول جي حرڪت جي رفتار جي صحيح ڪنٽرول جي ضرورت آهي. سنگل ايڪسس ايئر فلوٽ الٽرا پريسيشن موشن ماڊيول جي گرينائيٽ بيس کي پنج محور مشيننگ سينٽر ۽ ٻين سامان تي لاڳو ڪري سگهجي ٿو ته جيئن ٽول لاءِ اعليٰ درستگي واري حرڪت ڪنٽرول مهيا ڪري سگهجي ۽ يقيني بڻائي سگهجي ته بليڊ جي مشيننگ جي درستگي ڊيزائن جي گهرجن کي پورو ڪري سگهي ٿي. ساڳئي وقت، ايرو انجڻ جي اسيمبلي جي عمل ۾، حصن جي اسيمبلي جي درستگي کي ڳولڻ لاءِ اعليٰ درستگي واري ماپنگ سامان استعمال ڪرڻ پڻ ضروري آهي. گرينائيٽ بيس جو ايئر فلوٽنگ موشن ماڊيول اسيمبلي جي معيار کي يقيني بڻائڻ لاءِ ماپنگ سامان لاءِ مستحڪم سپورٽ ۽ صحيح حرڪت فراهم ڪري سگهي ٿو.
آپٽيڪل انسپيڪشن فيلڊ: آپٽيڪل حصن جي پيداوار ۽ جانچ جي عمل ۾، آپٽيڪل حصن جي اعليٰ درستگي واري پوزيشن ۽ ماپ ڪرڻ ضروري آهي. مثال طور، جڏهن آئيني ۽ لينس وانگر اعليٰ درستگي واري آپٽيڪل حصن جي پيداوار، انٽرفيروميٽر ۽ ٻين سامان کي استعمال ڪرڻ ضروري آهي ته جيئن مٿاڇري جي شڪل جي درستگي کي معلوم ڪري سگهجي. سنگل ايڪسس ايئر فلوٽنگ الٽرا پريسيشن موشن ماڊيول جي گرينائيٽ بيس کي انٽرفيروميٽر جي حرڪت واري پليٽ فارم طور استعمال ڪري سگهجي ٿو، جيڪو ذيلي مائڪرون پوزيشننگ جي درستگي کي محسوس ڪري سگهي ٿو ۽ آپٽيڪل حصن جي ڳولا لاءِ صحيح ڊيٽا سپورٽ فراهم ڪري سگهي ٿو. ان کان علاوه، ليزر پروسيسنگ سامان ۾، ليزر بيم جي اسڪيننگ ٽريجڪٽري کي ڪنٽرول ڪرڻ لاءِ هڪ اعليٰ درستگي واري موشن پليٽ فارم استعمال ڪرڻ پڻ ضروري آهي، ايئر فلوٽنگ موشن ماڊيول جو گرينائيٽ بيس هن ضرورت کي پورو ڪري سگهي ٿو، اعليٰ درستگي واري ليزر پروسيسنگ حاصل ڪرڻ لاءِ.