ويفر ڪٽڻ جي سامان ۾ وائبريشن مزاحمت ۽ حرارتي استحڪام جي لحاظ کان گرينائيٽ بيس جا فائدا.

سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري جي نانو اسڪيل پيداوار جي عملن ڏانهن وڌڻ جي عمل ۾، چپ جي پيداوار ۾ هڪ اهم ڪڙي جي طور تي ويفر ڪٽنگ، سامان جي استحڪام لاءِ انتهائي سخت گهرجون آهن. گرينائيٽ بيس، ان جي شاندار وائبريشن مزاحمت ۽ حرارتي استحڪام سان، ويفر ڪٽڻ جي سامان جو هڪ بنيادي جزو بڻجي چڪو آهي، جيڪو اعليٰ درستگي ۽ اعليٰ ڪارڪردگي واري ويفر پروسيسنگ حاصل ڪرڻ لاءِ هڪ قابل اعتماد ضمانت فراهم ڪري ٿو.

هاءِ ڊمپنگ ۽ اينٽي وائبريشن خاصيتون: نانو ليول ڪٽڻ جي درستگي کي محفوظ ڪرڻ
جڏهن ويفر ڪٽڻ جو سامان ڪم ۾ هوندو آهي، ته اسپنڊل جي تيز رفتار گردش، ڪٽڻ واري اوزار جي تيز فريڪوئنسي وائبريشن، ۽ چوڌاري سامان مان پيدا ٿيندڙ ماحولياتي وائبريشن، ڪٽڻ جي درستگي تي اهم اثر وجهندا. روايتي ڌاتو جي بنيادن جي ڊمپنگ ڪارڪردگي محدود هوندي آهي، جنهن جي ڪري وائبريشن کي تيزيءَ سان گهٽ ڪرڻ ڏکيو ٿي ويندو آهي، جيڪو ڪٽڻ وارن اوزارن جي مائڪرون-سطح جي جٽر جو سبب بڻجندو آهي ۽ سڌو سنئون خرابين جهڙوڪ چپ ٿيل ڪنڊن ۽ ويفرز تي دراڙ جو سبب بڻجندو آهي. گرينائيٽ بيس جي اعليٰ ڊمپنگ خاصيتن بنيادي طور تي هن مسئلي کي حل ڪري ڇڏيو آهي.
گرينائيٽ جا اندروني معدني ڪرسٽل هڪ ٻئي سان ويجهڙائي سان ڳنڍيل آهن، هڪ قدرتي توانائي جي ضايع ڪرڻ جي جوڙجڪ ٺاهيندا آهن. جڏهن وائبريشن بيس ڏانهن منتقل ڪئي ويندي آهي، ته ان جو اندروني مائڪرو اسٽرڪچر تيزيءَ سان وائبريشن توانائي کي حرارتي توانائي ۾ تبديل ڪري سگهي ٿو، موثر وائبريشن ايٽينيوئيشن حاصل ڪري ٿو. تجرباتي ڊيٽا ڏيکاري ٿو ته ساڳئي وائبريشن ماحول جي تحت، گرينائيٽ بيس 0.5 سيڪنڊن اندر وائبريشن ايمپليٽيوڊ کي 90٪ کان وڌيڪ گهٽائي سگهي ٿو، جڏهن ته ڌاتو بيس کي 3 کان 5 سيڪنڊن جي ضرورت هوندي آهي. هي شاندار ڊمپنگ ڪارڪردگي يقيني بڻائي ٿي ته ڪٽڻ وارو اوزار نانو اسڪيل ڪٽڻ جي عمل دوران مستحڪم رهي، ويفر ڪٽڻ جي هموار ڪنڊ جي ضمانت ڏئي ٿو ۽ مؤثر طريقي سان چپنگ جي شرح کي گهٽائي ٿو. مثال طور، 5nm ويفر ڪٽڻ جي عمل ۾، گرينائيٽ بيس سان سامان 10μm اندر چپنگ سائيز کي ڪنٽرول ڪري سگهي ٿو، جيڪو ڌاتو بيس سان سامان کان 40٪ کان وڌيڪ آهي.
حرارتي توسيع جو انتهائي گهٽ ڪوئفيشيٽ: گرمي پد جي اتار چڙهاؤ جي اثر جي مزاحمتي
ويفر ڪٽڻ جي عمل دوران، ڪٽڻ وارن اوزارن جي رگڙ مان پيدا ٿيندڙ گرمي، سامان جي ڊگهي مدت جي آپريشن مان گرمي جي ضايع ٿيڻ، ۽ ورڪشاپ جي ماحول جي گرمي پد ۾ تبديليون، سڀ سامان جي اجزاء جي حرارتي خرابي جو سبب بڻجي سگهن ٿيون. ڌاتو جي مواد جي حرارتي توسيع جو ڪوفيشيٽ نسبتاً وڌيڪ آهي (تقريبن 12×10⁻⁶/℃). جڏهن گرمي پد 5℃ تائين گهٽجي ٿو، ته 1 ميٽر ڊگهو ڌاتو جو بنياد 60μm جي خرابي مان گذري سگهي ٿو، جنهن جي ڪري ڪٽڻ جي پوزيشن تبديل ٿي سگهي ٿي ۽ ڪٽڻ جي درستگي کي سنجيده متاثر ڪري ٿي.
گرينائيٽ بيس جي حرارتي توسيع جو ڪوفيشينٽ صرف (4-8) ×10⁻⁶/℃ آهي، جيڪو ڌاتو جي مواد جي ٽئين حصي کان گهٽ آهي. ساڳئي گرمي پد جي تبديلي جي تحت، ان جي طول و عرض جي تبديلي کي تقريبن نظرانداز ڪري سگهجي ٿو. هڪ خاص سيمي ڪنڊڪٽر ٺاهيندڙ اداري جي ماپيل ڊيٽا ڏيکاري ٿي ته 8 ڪلاڪن جي مسلسل تيز شدت واري ويفر ڪٽڻ جي آپريشن دوران، جڏهن ماحول جو گرمي پد 10℃ تائين گهٽجي ٿو، ته گرينائيٽ بيس سان سامان جي ڪٽڻ جي پوزيشن آفسيٽ 20μm کان گهٽ آهي، جڏهن ته ڌاتو بيس سان سامان جي 60μm کان وڌيڪ آهي. هي مستحڪم حرارتي ڪارڪردگي يقيني بڻائي ٿي ته ڪٽڻ واري اوزار ۽ ويفر جي وچ ۾ لاڳاپا پوزيشن هر وقت صحيح رهي ٿي. ڊگهي مدت جي مسلسل آپريشن يا ماحولياتي گرمي پد ۾ سخت تبديلين جي تحت به، ڪٽڻ جي درستگي جي تسلسل کي برقرار رکي سگهجي ٿو.
سختي ۽ لباس جي مزاحمت: سامان جي ڊگهي مدت جي مستحڪم آپريشن کي يقيني بڻايو وڃي
وائبريشن مزاحمت ۽ حرارتي استحڪام جي فائدن کان علاوه، گرينائيٽ بيس جي اعليٰ سختي ۽ لباس مزاحمت ويفر ڪٽڻ واري سامان جي اعتبار کي وڌيڪ وڌائي ٿي. گرينائيٽ ۾ موهس اسڪيل تي 6 کان 7 جي سختي ۽ 120MPa کان وڌيڪ دٻاءُ واري طاقت آهي. اهو ڪٽڻ جي عمل دوران زبردست دٻاءُ ۽ اثر قوت کي برداشت ڪري سگهي ٿو ۽ خراب ٿيڻ جو شڪار نه آهي. ساڳئي وقت، ان جي گهاٽي جوڙجڪ ان کي بهترين لباس مزاحمت سان نوازي ٿي. بار بار ڪٽڻ جي عملن دوران به، بنياد جي مٿاڇري لباس جي شڪار نه ٿيندي آهي، انهي کي يقيني بڻائيندي ته سامان ڊگهي وقت تائين اعليٰ صحت واري آپريشن کي برقرار رکي.
عملي استعمالن ۾، ڪيترن ئي ويفر ٺاهڻ وارن ادارن گرينائيٽ بيسز سان ڪٽنگ سامان اختيار ڪندي پيداوار جي پيداوار ۽ پيداوار جي ڪارڪردگي کي نمايان طور تي بهتر بڻايو آهي. عالمي سطح تي معروف فاؤنڊيري جي ڊيٽا ڏيکاري ٿي ته گرينائيٽ بيس سامان متعارف ڪرائڻ کان پوءِ، ويفر ڪٽنگ جي پيداوار 88٪ کان 95٪ کان وڌيڪ ٿي وئي آهي، سامان جي سار سنڀال جي چڪر کي ٽي ڀيرا وڌايو ويو آهي، مؤثر طريقي سان پيداوار جي قيمتن کي گهٽائڻ ۽ مارڪيٽ جي مقابلي کي وڌائڻ.
نتيجي ۾، گرينائيٽ بيس، پنهنجي بهترين وائبريشن مزاحمت، حرارتي استحڪام، اعليٰ سختي ۽ لباس مزاحمت سان، ويفر ڪٽڻ جي سامان لاءِ جامع ڪارڪردگي جي ضمانت فراهم ڪري ٿو. جيئن ته سيمي ڪنڊڪٽر ٽيڪنالاجي اعليٰ درستگي ڏانهن وڌي ٿي، گرينائيٽ بيس ويفر جي پيداوار جي ميدان ۾ وڌيڪ اهم ڪردار ادا ڪندا، سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري جي مسلسل جديد ترقي کي فروغ ڏيندا.