سيمي ڪنڊڪٽر سامان لاءِ گرينائيٽ بيسز لاءِ ٽيڪنيڪل گهرجون.

1. طول و عرض جي درستگي
فليٽنس: بيس جي مٿاڇري جي فليٽنس تمام گهڻي معيار تائين پهچڻ گهرجي، ۽ فليٽنس جي غلطي ڪنهن به 100mm×100mm علائقي ۾ ±0.5μm کان وڌيڪ نه هجڻ گهرجي؛ پوري بيس جهاز لاءِ، فليٽنس جي غلطي ±1μm اندر ڪنٽرول ڪئي ويندي آهي. اهو يقيني بڻائي ٿو ته سيمي ڪنڊڪٽر سامان جا اهم حصا، جهڙوڪ لٿوگرافي سامان جو ايڪسپوزر هيڊ ۽ چپ ڳولڻ واري سامان جي پروب ٽيبل، کي مستحڪم طور تي نصب ڪري سگهجي ٿو ۽ هڪ اعليٰ درستگي واري جهاز تي هلائي سگهجي ٿو، آپٽيڪل رستي ۽ سامان جي سرڪٽ ڪنيڪشن جي درستگي کي يقيني بڻائي ٿو، ۽ بيس جي غير مساوي جهاز جي ڪري اجزاء جي بي گھرڻ جي انحراف کان بچي ٿو، جيڪو سيمي ڪنڊڪٽر چپ جي پيداوار ۽ ڳولڻ جي درستگي کي متاثر ڪري ٿو.
سڌي ٿيڻ: بنياد جي هر ڪنڊ جي سڌي ٿيڻ انتهائي اهم آهي. ڊيگهه جي هدايت ۾، سڌي ٿيڻ جي غلطي ±1μm في 1 ميٽر کان وڌيڪ نه هوندي؛ تري سڌي ٿيڻ جي غلطي ±1.5μm اندر ڪنٽرول ڪئي ويندي آهي. مثال طور اعليٰ درستگي واري ليٿوگرافي مشين کي وٺندي، جڏهن ٽيبل بيس جي گائيڊ ريل سان گڏ هلندي آهي، ته بيس جي ڪنڊ جي سڌي ٿيڻ سڌي طرح ٽيبل جي رفتار جي درستگي کي متاثر ڪندي آهي. جيڪڏهن سڌي ٿيڻ معيار مطابق نه آهي، ته ليٿوگرافي جو نمونو بگڙيل ۽ خراب ٿي ويندو، جنهن جي نتيجي ۾ چپ جي پيداوار ۾ گهٽتائي ايندي.
متوازي: بنياد جي مٿئين ۽ هيٺين سطحن جي متوازي غلطي کي ±1μm اندر ڪنٽرول ڪيو وڃي. سٺي متوازي سامان جي انسٽاليشن کان پوءِ ڪشش ثقل جي مجموعي مرڪز جي استحڪام کي يقيني بڻائي سگهي ٿي، ۽ هر جزو جي قوت هڪجهڙي آهي. سيمي ڪنڊڪٽر ويفر ٺاهڻ واري سامان ۾، جيڪڏهن بنياد جون مٿئين ۽ هيٺيون سطحون متوازي نه آهن، ته ويفر پروسيسنگ دوران جھڪندو، عمل جي هڪجهڙائي کي متاثر ڪندو جهڙوڪ ايچنگ ۽ ڪوٽنگ، ۽ اهڙي طرح چپ جي ڪارڪردگي جي تسلسل کي متاثر ڪندو.
ٻيو، مادي خاصيتون
سختي: گرينائيٽ بيس مواد جي سختي ساحل جي سختي HS70 يا ان کان مٿي تائين پهچڻ گهرجي. اعليٰ سختي سامان جي آپريشن دوران اجزاء جي بار بار حرڪت ۽ رگڙ جي ڪري پيدا ٿيندڙ لباس کي مؤثر طريقي سان مزاحمت ڪري سگهي ٿي، انهي کي يقيني بڻائي ٿي ته بنياد ڊگهي مدت جي استعمال کان پوءِ هڪ اعليٰ درستگي واري سائيز برقرار رکي سگهي ٿو. چپ پيڪنگنگ سامان ۾، روبوٽ بازو بار بار چپ کي پڪڙي ٿو ۽ بنياد تي رکي ٿو، ۽ بنياد جي اعليٰ سختي يقيني بڻائي سگهي ٿي ته مٿاڇري تي ڇڪڻ پيدا ڪرڻ آسان نه آهي ۽ روبوٽ بازو جي حرڪت جي درستگي برقرار رکي ٿي.
کثافت: مواد جي کثافت 2.6-3.1 g/cm³ جي وچ ۾ هجڻ گهرجي. مناسب کثافت بنياد کي سٺي معيار جي استحڪام ڏئي ٿي، جيڪا سامان کي سهارو ڏيڻ لاءِ ڪافي سختي کي يقيني بڻائي سگهي ٿي، ۽ وڌيڪ وزن جي ڪري سامان جي تنصيب ۽ نقل و حمل ۾ مشڪلاتون نه آڻيندي. وڏي سيمي ڪنڊڪٽر انسپيڪشن سامان ۾، مستحڪم بنياد جي کثافت سامان جي آپريشن دوران وائبريشن ٽرانسميشن کي گهٽائڻ ۽ ڳولڻ جي درستگي کي بهتر بڻائڻ ۾ مدد ڪري ٿي.
حرارتي استحڪام: لڪير جي توسيع جي کوٽائي 5×10⁻⁶/℃ کان گهٽ آهي. سيمي ڪنڊڪٽر سامان گرمي پد جي تبديلين لاءِ تمام گهڻو حساس آهي، ۽ بنياد جي حرارتي استحڪام سڌو سنئون سامان جي درستگي سان لاڳاپيل آهي. لٿوگرافي جي عمل دوران، گرمي پد ۾ اتار چڙهاؤ بنياد جي توسيع يا سڪڙڻ جو سبب بڻجي سگهي ٿو، جنهن جي نتيجي ۾ نمائش جي نموني جي سائيز ۾ انحراف پيدا ٿئي ٿو. گهٽ لڪير جي توسيع جي کوٽائي سان گرينائيٽ بيس سائيز جي تبديلي کي تمام ننڍي حد ۾ ڪنٽرول ڪري سگهي ٿو جڏهن سامان جو آپريٽنگ گرمي پد تبديل ٿئي ٿو (عام طور تي 20-30 ° C) ته جيئن لٿوگرافي جي درستگي کي يقيني بڻائي سگهجي.
ٽيون، مٿاڇري جي معيار
سختي: بنياد تي مٿاڇري جي سختي Ra قدر 0.05μm کان وڌيڪ نه آهي. الٽرا هموار مٿاڇري مٽي ۽ نجاست جي جذب کي گهٽائي سگهي ٿي ۽ سيمي ڪنڊڪٽر چپ ٺاهڻ واري ماحول جي صفائي تي اثر کي گهٽائي سگهي ٿي. چپ ٺاهڻ واري مٽيءَ کان پاڪ ورڪشاپ ۾، ننڍڙا ذرڙا چپ جي شارٽ سرڪٽ جهڙن خرابين جو سبب بڻجي سگهن ٿا، ۽ بنياد جي هموار مٿاڇري ورڪشاپ جي صاف ماحول کي برقرار رکڻ ۽ چپ جي پيداوار کي بهتر بڻائڻ ۾ مدد ڪري ٿي.
خوردبيني نقص: بنياد جي مٿاڇري تي ڪنهن به نظر ايندڙ دراڙ، ريتي جا سوراخ، سوراخ ۽ ٻيا نقص هجڻ جي اجازت ناهي. خوردبيني سطح تي، اليڪٽران خوردبيني ذريعي 1μm في چورس سينٽي ميٽر کان وڌيڪ قطر وارن نقصن جو تعداد 3 کان وڌيڪ نه هوندو. اهي نقص بنياد جي ساخت جي طاقت ۽ مٿاڇري جي همواريءَ کي متاثر ڪندا، ۽ پوءِ سامان جي استحڪام ۽ درستگي کي متاثر ڪندا.
چوٿون، استحڪام ۽ جھٽڪي جي مزاحمت
متحرڪ استحڪام: سيمي ڪنڊڪٽر سامان جي آپريشن ذريعي پيدا ٿيندڙ نقلي وائبريشن ماحول ۾ (وائبريشن فريڪوئنسي رينج 10-1000Hz، ايمپليٽيوڊ 0.01-0.1mm)، بيس تي اهم ماؤنٽنگ پوائنٽس جي وائبريشن ڊسپليسمينٽ کي ±0.05μm اندر ڪنٽرول ڪيو وڃي. مثال طور سيمي ڪنڊڪٽر ٽيسٽ سامان کي وٺندي، جيڪڏهن ڊوائيس جي پنهنجي وائبريشن ۽ آس پاس جي ماحول جي وائبريشن کي آپريشن دوران بيس ڏانهن منتقل ڪيو وڃي، ته ٽيسٽ سگنل جي درستگي ۾ مداخلت ٿي سگهي ٿي. سٺي متحرڪ استحڪام قابل اعتماد ٽيسٽ نتيجن کي يقيني بڻائي سگهي ٿي.
زلزلي جي مزاحمت: بنياد ۾ بهترين زلزلي جي ڪارڪردگي هجڻ گهرجي، ۽ جڏهن اهو اوچتو ٻاهرين وائبريشن (جهڙوڪ زلزلي جي لهر جي نقلي وائبريشن) جي تابع ٿئي ٿو ته اهو تيزيءَ سان وائبريشن توانائي کي گهٽائي سگهي ٿو، ۽ يقيني بڻائي ٿو ته سامان جي اهم حصن جي نسبتي پوزيشن ±0.1μm اندر تبديل ٿئي ٿي. زلزلي جي خطري وارن علائقن ۾ سيمي ڪنڊڪٽر فيڪٽرين ۾، زلزلي جي مزاحمتي بنياد مؤثر طريقي سان مهانگي سيمي ڪنڊڪٽر سامان جي حفاظت ڪري سگهن ٿا، وائبريشن جي ڪري سامان جي نقصان ۽ پيداوار ۾ خلل جي خطري کي گهٽائي سگهن ٿا.
5. ڪيميائي استحڪام
سنکنرن جي مزاحمت: گرينائيٽ بيس کي سيمي ڪنڊڪٽر ٺاهڻ جي عمل ۾ عام ڪيميائي ايجنٽن جي سنکنرن کي برداشت ڪرڻ گهرجي، جهڙوڪ هائيڊروفلورڪ ايسڊ، ايڪوا ريگيا، وغيره. هائيڊروفلورڪ ايسڊ محلول ۾ 40٪ جي ماس فريڪشن سان 24 ڪلاڪن تائين پچائڻ کان پوءِ، مٿاڇري جي معيار جي نقصان جي شرح 0.01٪ کان وڌيڪ نه هوندي؛ 12 ڪلاڪن لاءِ ايڪوا ريگيا (هائيڊروڪلورڪ ايسڊ ۽ نائٽرڪ ايسڊ جو حجم تناسب 3:1) ۾ ٻوڙي ڇڏيو، ۽ مٿاڇري تي سنکنرن جا ڪو به واضح نشان نه آهن. سيمي ڪنڊڪٽر ٺاهڻ جي عمل ۾ مختلف قسم جا ڪيميائي ايچنگ ۽ صفائي جا عمل شامل آهن، ۽ بيس جي سٺي سنکنرن جي مزاحمت يقيني بڻائي سگهي ٿي ته ڪيميائي ماحول ۾ ڊگهي مدت جي استعمال کي ختم نه ڪيو وڃي، ۽ درستگي ۽ ساخت جي سالميت برقرار رکي وڃي.
آلودگي جي خلاف: بنيادي مواد ۾ سيمي ڪنڊڪٽر ٺاهڻ واري ماحول ۾ عام آلودگين جو جذب تمام گهٽ هوندو آهي، جهڙوڪ نامياتي گيسون، ڌاتو آئن، وغيره. جڏهن 72 ڪلاڪن لاءِ 10 PPM نامياتي گيسون (مثال طور، بينزين، ٽوليون) ۽ 1ppm ڌاتو آئن (مثال طور، ڪاپر آئن، لوهه آئن) تي مشتمل ماحول ۾ رکيو ويندو آهي، ته بنيادي سطح تي آلودگي جي جذب جي ڪري ڪارڪردگي ۾ تبديلي نه هجڻ جي برابر آهي. اهو آلودگي کي بنيادي سطح کان چپ جي پيداوار واري علائقي ڏانهن منتقل ٿيڻ ۽ چپ جي معيار کي متاثر ڪرڻ کان روڪي ٿو.