سيمي ڪنڊڪٽر ميٽرنگ سامان ۾ گرينائيٽ پليٽ فارمن جي ماپيل حرارتي استحڪام.

​
سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي ميدان ۾، درستگي پيداوار جي معيار ۽ ڪارڪردگي جي زندگي جي لڪير آهي. سيمي ڪنڊڪٽر ميٽرنگ سامان، پيداوار جي درستگي کي يقيني بڻائڻ لاءِ هڪ اهم ڪڙي جي طور تي، ان جي بنيادي حصن جي استحڪام تي تقريبن سخت گهرجون لاڳو ڪري ٿو. انهن مان، گرينائيٽ پليٽ فارم، ان جي شاندار حرارتي استحڪام سان، سيمي ڪنڊڪٽر ميٽرنگ سامان ۾ هڪ لازمي ڪردار ادا ڪري ٿو. هي مضمون حقيقي ٽيسٽ ڊيٽا ذريعي سيمي ڪنڊڪٽر ميٽرنگ سامان ۾ گرينائيٽ پليٽ فارمن جي حرارتي استحڪام جي ڪارڪردگي جو هڪ گہرائي تجزيو ڪندو.
سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ ماپڻ واري سامان جي حرارتي استحڪام لاءِ سخت گهرجون
سيمي ڪنڊڪٽر ٺاهڻ جو عمل انتهائي پيچيده ۽ درست آهي، ۽ چپ تي سرڪٽ لائينن جي ويڪر نانو ميٽر جي سطح ۾ داخل ٿي چڪي آهي. اهڙي اعليٰ درستگي واري پيداوار جي عمل ۾، ٿوري به گرمي پد ۾ تبديلي سامان جي اجزاء جي حرارتي توسيع ۽ سڪڙڻ جو سبب بڻجي سگهي ٿي، جنهن جي ڪري ماپ جون غلطيون پيدا ٿين ٿيون. مثال طور، فوٽو ليٿوگرافي جي عمل ۾، جيڪڏهن ميٽرنگ سامان جي ماپ جي درستگي 1 نانو ميٽر کان انحراف ڪري ٿي، ته اهو سنگين مسئلا پيدا ڪري سگهي ٿو جهڙوڪ چپ تي سرڪٽ ۾ شارٽ سرڪٽ يا اوپن سرڪٽ، جنهن جي ڪري چپ ختم ٿي ويندي. انڊسٽري ڊيٽا جي انگن اکرن موجب، گرمي پد ۾ هر 1℃ جي اتار چڙهاؤ لاءِ، روايتي ڌاتو مواد جي ميٽرنگ سامان جي پليٽ فارم کي ڪيترن ئي نانو ميٽرن جي طول و عرض ۾ تبديليون اچي سگهن ٿيون. جڏهن ته، سيمي ڪنڊڪٽر ٺاهڻ لاءِ ماپ جي درستگي کي ±0.1 نانو ميٽرن اندر ڪنٽرول ڪرڻ جي ضرورت آهي، جيڪو حرارتي استحڪام کي اهو طئي ڪرڻ ۾ هڪ اهم عنصر بڻائي ٿو ته ڇا ميٽرنگ سامان سيمي ڪنڊڪٽر ٺاهڻ جي گهرجن کي پورو ڪري سگهي ٿو.

گرينائيٽ پليٽ فارمن جي حرارتي استحڪام جا نظرياتي فائدا
گرينائيٽ، هڪ قسم جي قدرتي پٿر جي طور تي، هڪ ٺهيل اندروني معدني ڪرسٽلائيزيشن، هڪ گهاٽو ۽ هڪجهڙو ڍانچو آهي، ۽ حرارتي استحڪام جو قدرتي فائدو رکي ٿو. حرارتي توسيع جي کوٽائي جي لحاظ کان، گرينائيٽ جي حرارتي توسيع جو کوٽائي انتهائي گهٽ آهي، عام طور تي 4.5 کان 6.5×10⁻⁶/K تائين. ان جي ابتڙ، عام ڌاتو مواد جهڙوڪ ايلومينيم مصر جي حرارتي توسيع جو کوٽائي 23.8×10⁻⁶/K جيترو وڌيڪ آهي، جيڪو گرينائيٽ کان ڪيترائي ڀيرا وڌيڪ آهي. ان جو مطلب آهي ته ساڳئي درجه حرارت جي تبديلي جي حالتن ۾، گرينائيٽ پليٽ فارم جي طول و عرض ۾ تبديلي ڌاتو پليٽ فارم جي ڀيٽ ۾ تمام گهٽ آهي، جيڪو سيمي ڪنڊڪٽر ميٽرنگ سامان لاءِ وڌيڪ مستحڪم ماپ جو حوالو فراهم ڪري سگهي ٿو.
ان کان علاوه، گرينائيٽ جي ڪرسٽل ڍانچي ان کي گرمي جي وهڪري جي بهترين هڪجهڙائي سان نوازي ٿي. جڏهن سامان جو آپريشن گرمي پيدا ڪري ٿو يا ماحول جي گرمي پد ۾ تبديلي اچي ٿي، ته گرينائيٽ پليٽ فارم جلدي ۽ هڪجهڙائي سان گرمي کي هلائي سگهي ٿو، مقامي اوور هيٽنگ يا اوور ڪولنگ رجحان کان بچي ٿو، ان ڪري پليٽ فارم جي مجموعي گرمي پد جي تسلسل کي مؤثر طريقي سان برقرار رکي ٿو ۽ ماپ جي درستگي جي استحڪام کي وڌيڪ يقيني بڻائي ٿو.
حرارتي استحڪام جي ماپ جو عمل ۽ طريقو
سيمي ڪنڊڪٽر ميٽرنگ سامان ۾ گرينائيٽ پليٽ فارم جي حرارتي استحڪام جو صحيح جائزو وٺڻ لاءِ، اسان هڪ سخت ماپ جو منصوبو ٺاهيو آهي. هڪ اعليٰ-صحت واري سيمي ڪنڊڪٽر ويفر ماپڻ وارو اوزار چونڊيو، جيڪو هڪ سپر-صحت واري پروسيس ٿيل گرينائيٽ پليٽ فارم سان ليس هجي. تجرباتي ماحول ۾، سيمي ڪنڊڪٽر ٺاهڻ واري ورڪشاپ ۾ عام درجه حرارت جي تبديلي جي حد کي نقل ڪيو ويو، يعني، بتدريج 20 ℃ کان 35 ℃ تائين گرم ڪرڻ ۽ پوءِ 20 ℃ تائين واپس ٿڌو ڪرڻ. سڄو عمل 8 ڪلاڪن تائين هليو.
ماپڻ واري اوزار جي گرينائيٽ پليٽ فارم تي، اعليٰ درستگي وارا معياري سلڪون ويفر رکيا ويا آهن، ۽ نانو اسڪيل درستگي سان بي گھرڻ وارا سينسر استعمال ڪيا ويا آهن ته جيئن سلڪون ويفرز ۽ پليٽ فارم جي وچ ۾ حقيقي وقت ۾ لاڳاپا پوزيشن تبديلين جي نگراني ڪري سگهجي. ساڳئي وقت، پليٽ فارم جي مٿاڇري تي درجه حرارت جي ورڇ جي نگراني ڪرڻ لاءِ پليٽ فارم تي مختلف پوزيشنن تي ڪيترائي اعليٰ درستگي وارا درجه حرارت سينسر ترتيب ڏنل آهن. تجربي دوران، ڊيٽا جي مڪمل ۽ درستگي کي يقيني بڻائڻ لاءِ هر 15 منٽن ۾ بي گھرڻ جو ڊيٽا ۽ درجه حرارت ڊيٽا رڪارڊ ڪيو ويو.
ماپيل ڊيٽا ۽ نتيجن جو تجزيو
گرمي پد جي تبديلين ۽ پليٽ فارم جي سائيز جي تبديلين جي وچ ۾ تعلق
تجرباتي ڊيٽا ڏيکاري ٿو ته جڏهن گرمي پد 20 ℃ کان 35 ℃ تائين وڌي ٿو، ته گرينائيٽ پليٽ فارم جي لڪير واري سائيز ۾ تبديلي تمام گهٽ آهي. حساب کان پوءِ، سڄي حرارتي عمل دوران، پليٽ فارم جي وڌ ۾ وڌ لڪير واري توسيع صرف 0.3 نانو ميٽر آهي، جيڪا سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي عملن ۾ ماپ جي درستگي لاءِ غلطي برداشت جي حد کان تمام گهٽ آهي. ٿڌي مرحلي دوران، پليٽ فارم جي سائيز تقريبن مڪمل طور تي شروعاتي حالت ۾ واپس اچي سگهي ٿي، ۽ سائيز جي تبديلي جي دير واري رجحان کي نظرانداز ڪري سگهجي ٿو. انتهائي گهٽ طول و عرض جي تبديلين کي برقرار رکڻ جي هي خاصيت گرينائيٽ پليٽ فارم جي شاندار حرارتي استحڪام کي مڪمل طور تي تصديق ڪري ٿي.
پليٽ فارم جي مٿاڇري تي گرمي پد جي هڪجهڙائي جو تجزيو
گرمي پد سينسر پاران گڏ ڪيل ڊيٽا ڏيکاري ٿو ته سامان جي آپريشن ۽ گرمي پد جي تبديلي جي عمل دوران، گرينائيٽ پليٽ فارم جي مٿاڇري تي گرمي پد جي ورڇ انتهائي هڪجهڙائي آهي. جيتوڻيڪ ان مرحلي دوران جڏهن گرمي پد تمام گهڻي شدت سان تبديل ٿئي ٿو، پليٽ فارم جي مٿاڇري تي هر ماپ جي نقطي جي وچ ۾ گرمي پد جو فرق هميشه ±0.1 ℃ اندر ڪنٽرول ڪيو ويندو آهي. هڪجهڙائي گرمي پد جي ورڇ مؤثر طريقي سان پليٽ فارم جي خرابي کان بچي ٿي جيڪا غير مساوي حرارتي دٻاءُ جي ڪري ٿئي ٿي، ماپ جي حوالي جي مٿاڇري جي هموار ۽ استحڪام کي يقيني بڻائي ٿي، ۽ سيمي ڪنڊڪٽر ميٽرولوجي سامان لاءِ هڪ قابل اعتماد ماپ ماحول فراهم ڪري ٿي.
روايتي مادي پليٽ فارمن جي مقابلي ۾
گرينائيٽ پليٽ فارم جي ماپيل ڊيٽا جو مقابلو ايلومينيم مصر جي پليٽ فارم استعمال ڪندي ساڳئي قسم جي سيمي ڪنڊڪٽر ميٽرنگ سامان سان ڪيو ويو، ۽ فرق اهم هئا. ساڳئي درجه حرارت جي تبديلي جي حالتن ۾، ايلومينيم مصر جي پليٽ فارم جي لڪير جي توسيع 2.5 نانو ميٽر جيتري آهي، جيڪا گرينائيٽ پليٽ فارم جي اٺ ڀيرا کان وڌيڪ آهي. ساڳئي وقت، ايلومينيم مصر جي پليٽ فارم جي مٿاڇري تي گرمي پد جي ورڇ غير برابر آهي، وڌ ۾ وڌ درجه حرارت جو فرق 0.8 ℃ تائين پهچي ٿو، جنهن جي نتيجي ۾ پليٽ فارم جي واضح خرابي ۽ ماپ جي درستگي کي سنجيده متاثر ڪري ٿو.
سيمي ڪنڊڪٽر ميٽرولوجي سامان جي صحيح دنيا ۾، گرينائيٽ پليٽ فارم، پنهنجي شاندار حرارتي استحڪام سان، ماپ جي درستگي کي يقيني بڻائڻ ۾ مکيه بنياد بڻجي ويا آهن. ماپيل ڊيٽا مضبوط طور تي گرينائيٽ پليٽ فارم جي شاندار ڪارڪردگي کي ثابت ڪري ٿو ته گرمي پد جي تبديلين جو جواب ڏيڻ ۾، سيمي ڪنڊڪٽر ٺاهڻ واري صنعت لاءِ قابل اعتماد ٽيڪنيڪل سپورٽ فراهم ڪري ٿو. جيئن ته سيمي ڪنڊڪٽر ٺاهڻ جا عمل اعليٰ درستگي ڏانهن اڳتي وڌندا آهن، گرينائيٽ پليٽ فارمن جو حرارتي استحڪام فائدو تيزي سان نمايان ٿيندو ويندو، مسلسل صنعت ۾ ٽيڪنالاجي جدت ۽ ترقي کي هلائيندو.