لينئر موٽر + گرينائيٽ بيس: ويفر ٽرانسفر سسٽم جي نئين نسل جو بنيادي راز.

سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي صحيح زنجير ۾، ويفر ٽرانسفر سسٽم "چپ جي پيداوار واري لائن جي لائف لائن" وانگر آهي، ۽ ان جي استحڪام ۽ درستگي سڌو سنئون چپس جي پيداوار جي شرح کي طئي ڪري ٿي. ويفر ٽرانسفر سسٽم جي نئين نسل انقلابي طور تي گرينائيٽ بيسز سان لڪير موٽرز کي گڏ ڪري ٿي، ۽ گرينائيٽ مواد جا منفرد فائدا خاص طور تي اعليٰ ڪارڪردگي واري ٽرانسميشن کي انلاڪ ڪرڻ لاءِ بنيادي ڪوڊ آهن.

​
گرينائيٽ جو بنياد: مستحڪم ٽرانسميشن لاءِ "پٿر وانگر مضبوط بنياد" ٺاهڻ
گرينائيٽ، جيڪو لکين سالن جي ارضياتي اصلاح مان گذريو آهي، ان ۾ گهاٽو ۽ هڪجهڙو اندروني معدني ڪرسٽلائيزيشن آهي. هي قدرتي خاصيت ان کي ويفر ٽرانسفر سسٽم لاءِ هڪ مثالي بنيادي مواد بڻائي ٿي. سيمي ڪنڊڪٽر ڪلين رومز جي پيچيده ماحول ۾، گرينائيٽ، پنهنجي انتهائي گهٽ حرارتي توسيع جي کوٽائي (صرف 5-7 × 10⁻⁶/℃) سان، سامان جي آپريشن دوران پيدا ٿيندڙ گرمي ۽ ماحولياتي گرمي پد جي تبديلين جي اثر کي مزاحمت ڪري سگهي ٿو، بنيادي سائيز جي استحڪام کي يقيني بڻائي ٿو ۽ حرارتي خرابي جي ڪري ٽرانسميشن رستي جي انحراف کان بچي ٿو. ان جي شاندار وائبريشن ڊمپنگ ڪارڪردگي لڪير موٽرز جي شروعات، بند ٿيڻ ۽ تيز ٿيڻ دوران پيدا ٿيندڙ ميڪيڪل وائبريشن کي جلدي جذب ڪري سگهي ٿي، انهي سان گڏ ورڪشاپ ۾ ٻين سامان جي آپريشن ذريعي پيدا ٿيندڙ ٻاهرين مداخلت، ويفر ٽرانسميشن لاءِ "زيرو شيڪ" سان هڪ مستحڪم پليٽ فارم فراهم ڪري ٿي.
ساڳئي وقت، گرينائيٽ جي ڪيميائي استحڪام يقيني بڻائي ٿي ته اهو سيمي ڪنڊڪٽر ورڪشاپن ۾ زنگ يا زنگ نه لڳندو آهي جتي تيزاب ۽ الڪلي ريجنٽ غير مستحڪم هوندا آهن ۽ اعليٰ صفائي جي ضرورت هوندي آهي، انهي ڪري مواد جي عمر يا آلودگي جي جذب جي ڪري ٽرانسميشن جي درستگي تي اثر کان بچي سگهجي ٿو. هموار ۽ گهاٽي مٿاڇري جون خاصيتون وڌيڪ اثرائتي طور تي مٽي جي چپکڻ کي گهٽائي سگهن ٿيون، صاف ڪمرن جي سخت مٽي کان پاڪ معيارن کي پورو ڪندي ۽ جڙ مان ويفر آلودگي جي خطري کي ختم ڪري سگهن ٿيون.
لڪير موٽر ۽ گرينائيٽ جو "سونهري ڀائيواري" اثر
لڪير موٽر، جن جي خاصيتن ۾ ميڪينيڪل ٽرانسميشن ڪليئرنس، تيز رفتاري ۽ تيز جوابي رفتار شامل آهن، ويفر ٽرانسميشن کي "تيز، صحيح ۽ مستحڪم" جي فائدن سان نوازيندا آهن. گرينائيٽ بيس ان لاءِ هڪ مضبوط ۽ قابل اعتماد سپورٽ پليٽ فارم فراهم ڪري ٿو. ٻئي گڏجي ڪم ڪن ٿا ڪارڪردگي ۾ هڪ ليپ حاصل ڪرڻ لاءِ. جڏهن لڪير موٽر ويفر ڪيريئر کي گرينائيٽ بيس ٽريڪ تي هلائڻ لاءِ هلائي ٿي، ته بيس جي مضبوط سختي ۽ استحڪام موٽر ڊرائيونگ فورس جي موثر ٽرانسميشن کي يقيني بڻائي ٿي، بيس جي خرابي جي ڪري قوت جي نقصان يا ٽرانسميشن جي وقفي کان بچي ٿي.
نانو اسڪيل جي درستگي جي طلب جي ڪري، لڪير موٽر ذيلي مائڪرون-سطح جي بي گھرڻ ڪنٽرول حاصل ڪري سگهن ٿا. گرينائيٽ بيسز جي اعليٰ درستگي واري پروسيسنگ خاصيتون (±1μm اندر ڪنٽرول ٿيل فليٽ غلطين سان) مڪمل طور تي لڪير موٽرز جي صحيح ڪنٽرول سان ملن ٿيون، گڏيل طور تي يقيني بڻائين ٿيون ته ويفر ٽرانسميشن دوران پوزيشننگ غلطي ±5μm کان گهٽ آهي. ڇا اهو مختلف پروسيس سامان جي وچ ۾ تيز رفتار شٽلنگ هجي يا ويفر هينڊ اوور لاءِ صحيح پارڪنگ، لڪير موٽرز ۽ گرينائيٽ بيسز جو ميلاپ ويفر ٽرانسميشن ۾ "صفر انحراف ۽ صفر جٽر" کي يقيني بڻائي سگهي ٿو.
انڊسٽري جي مشق جي تصديق: ڪارڪردگي ۽ پيداوار جي شرح ۾ ٻٽي بهتري
پنهنجي ويفر ٽرانسفر سسٽم کي اپ گريڊ ڪرڻ کان پوءِ، هڪ معروف عالمي سيمي ڪنڊڪٽر انٽرپرائز هڪ لڪير موٽر + گرينائيٽ بيس حل اختيار ڪيو، جنهن ويفر ٽرانسفر جي ڪارڪردگي ۾ 40 سيڪڙو اضافو ڪيو، منتقلي جي عمل دوران ٽڪراءُ ۽ آفسيٽ جهڙن غلطين جي واقعن جي شرح کي 85 سيڪڙو گهٽايو، ۽ چپس جي مجموعي پيداوار جي شرح کي 6 سيڪڙو بهتر بڻايو. ڊيٽا جي پويان گرينائيٽ بيس پاران مهيا ڪيل ٽرانسميشن استحڪام جي ضمانت ۽ لڪير موٽر جي تيز رفتار ۽ صحيح هم آهنگي اثر آهي، جيڪو ويفر ٽرانسميشن جي عمل ۾ نقصان ۽ غلطي کي خاص طور تي گهٽائي ٿو.
مادي خاصيتن کان وٺي درستگي جي پيداوار تائين، ڪارڪردگي جي فائدن کان وٺي عملي تصديق تائين، لڪير موٽرز ۽ گرينائيٽ بيسز جي ميلاپ ويفر ٽرانسفر سسٽم جي معيارن کي ٻيهر بيان ڪيو آهي. مستقبل ۾ جڏهن سيمي ڪنڊڪٽر ٽيڪنالاجي 3nm ۽ 2nm عملن ڏانهن وڌي ٿي، گرينائيٽ مواد يقيني طور تي صنعت جي ترقي ۾ انهن جي ناقابل بدلي فائدن سان مضبوط محرک داخل ڪندا رهندا.