گرينائيٽ جي درستگي واري پليٽ فارم جي درستگي جو معائنو ڪيئن ڪجي؟ پڪ ڪريو ته ڇا درستگي معياري آهي؟

سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۽ درستگي جي ماپ جي اوزارن جهڙن شعبن ۾، گرينائيٽ درستگي پليٽ فارمن جي درستگي سڌو سنئون سامان جي آپريشنل معيار کي طئي ڪري ٿي. پليٽ فارم جي درستگي کي معيارن تي پورو لهڻ کي يقيني بڻائڻ لاءِ، ٻن پهلوئن کان ڪوششون ڪرڻ گهرجن: اهم اشارن جي ڳولا ۽ معياري معيارن جي تعميل.

بنيادي اشاري جي ڳولا: درستگي جو گھڻ-dimensional ڪنٽرول
فليٽنس جي سڃاڻپ: ريفرنس جهاز جي "فليٽنس" جو تعين ڪرڻ
گرينائيٽ جي درستگي واري پليٽ فارمن جو بنيادي اشارو فليٽنس آهي، ۽ اهو عام طور تي ليزر انٽرفيروميٽر يا اليڪٽرانڪ ليولز ذريعي ماپيو ويندو آهي. ليزر انٽرفيروميٽر پليٽ فارم جي مٿاڇري تي ننڍڙن انڊوليشنز کي ليزر بيم خارج ڪندي ۽ روشني جي مداخلت جي اصول کي استعمال ڪندي صحيح طور تي ماپي سگهي ٿو، ذيلي مائڪرون ليول تائين درستگي سان. اليڪٽرانڪ ليول ڪيترائي ڀيرا حرڪت ڪندي ماپ ڪري ٿو ۽ پليٽ فارم جي مٿاڇري جو ٽي-dimensional ڪنٽور نقشو ٺاهي ٿو ته ڇا ڪو مقامي پروٽروشن يا ڊپريشن آهن. مثال طور، سيمي ڪنڊڪٽر فوٽو ليٿوگرافي مشينن ۾ استعمال ٿيندڙ گرينائيٽ پليٽ فارمن کي ±0.5μm/m جي فليٽنس جي ضرورت آهي، مطلب ته 1 ميٽر جي ڊيگهه اندر اوچائي جو فرق اڌ مائڪروميٽر کان وڌيڪ نه هجڻ گهرجي. صرف اعليٰ درستگي واري ڳولا جي سامان ذريعي هن سخت معيار کي يقيني بڻائي سگهجي ٿو.
2. سڌي ٿيڻ جو پتو لڳائڻ: لڪير واري حرڪت جي "سڌي" کي يقيني بڻايو وڃي.
پليٽ فارمن لاءِ جيڪي درست حرڪت ڪندڙ حصا کڻندا آهن، سڌي هجڻ تمام ضروري آهي. ڳولڻ جا عام طريقا تار جو طريقو يا ليزر ڪوليميٽر آهن. تار جي طريقي ۾ اعليٰ درستگي واري اسٽيل جي تارن کي معطل ڪرڻ ۽ پليٽ فارم جي مٿاڇري ۽ اسٽيل جي تارن جي وچ ۾ فرق جو مقابلو ڪرڻ شامل آهي ته جيئن سڌي هجڻ جو تعين ڪري سگهجي. ليزر ڪوليميٽر پليٽ فارم گائيڊ ريل جي انسٽاليشن جي مٿاڇري جي لڪير جي غلطي کي ڳولڻ لاءِ ليزر جي لڪير جي پروپيگيشن خاصيتن کي استعمال ڪري ٿو. جيڪڏهن سڌي هجڻ معيار تي پورو نه لهي، ته اهو حرڪت دوران سامان کي منتقل ڪرڻ جو سبب بڻجندو، پروسيسنگ يا ماپ جي درستگي کي متاثر ڪندو.
3. مٿاڇري جي خرابي جي سڃاڻپ: رابطي جي "نفاست" کي يقيني بڻايو وڃي
پليٽ فارم جي مٿاڇري جي خرابي جزو جي انسٽاليشن جي فٽ کي متاثر ڪري ٿي. عام طور تي، هڪ اسٽائلس رفنس ميٽر يا هڪ آپٽيڪل مائڪروسڪوپ کي ڳولڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي. اسٽائلس قسم جو اوزار پليٽ فارم جي مٿاڇري سان هڪ نفيس پروب سان رابطو ڪندي خوردبيني پروفائل جي اوچائي تبديلين کي رڪارڊ ڪري ٿو. آپٽيڪل خوردبيني سڌو سنئون مٿاڇري جي بناوت جو مشاهدو ڪري سگهن ٿا. اعليٰ درستگي واري ايپليڪيشنن ۾، گرينائيٽ پليٽ فارمن جي مٿاڇري جي خرابي کي Ra≤0.05μm تي ڪنٽرول ڪرڻ جي ضرورت آهي، جيڪو آئيني وانگر اثر جي برابر آهي، انهي کي يقيني بڻائي ٿو ته درستگي وارا جزا انسٽاليشن دوران مضبوطيءَ سان فٽ ٿين ٿا ۽ خلا جي ڪري وائبريشن يا بي گھرڻ کان بچي وڃن ٿا.
درستگي جا معيار هيٺ ڏنل آهن: بين الاقوامي معيار ۽ ڪاروبار جو اندروني ڪنٽرول
هن وقت، بين الاقوامي سطح تي، ISO 25178 ۽ GB/T 24632 معيار عام طور تي گرينائيٽ پليٽ فارمن جي درستگي کي طئي ڪرڻ جي بنياد طور استعمال ڪيا ويندا آهن، ۽ اشارن لاءِ واضح درجه بنديون آهن جهڙوڪ فليٽنس ۽ سڌي. ان کان علاوه، اعليٰ درجي جا پيداواري ادارا اڪثر ڪري وڌيڪ سخت اندروني ڪنٽرول معيار مقرر ڪندا آهن. مثال طور، فوٽو ليٿوگرافي مشين جي گرينائيٽ پليٽ فارم لاءِ فليٽنس جي گهرج بين الاقوامي معيار کان 30٪ وڌيڪ آهي. ٽيسٽ ڪرڻ وقت، ماپيل ڊيٽا جو مقابلو لاڳاپيل معيارن سان ڪيو وڃي. صرف پليٽ فارم جيڪي معيارن سان مڪمل طور تي مطابقت رکن ٿا، اهي درست سامان ۾ مستحڪم ڪارڪردگي کي يقيني بڻائي سگهن ٿا.
گرينائيٽ جي درستگي واري پليٽ فارمن جي درستگي جو معائنو ڪرڻ هڪ منظم منصوبو آهي. صرف بنيادي اشارن جهڙوڪ فليٽنس، سڌي پن، ۽ مٿاڇري جي خرابي کي سختي سان جانچڻ سان، ۽ بين الاقوامي ۽ انٽرپرائز معيارن تي عمل ڪندي، پليٽ فارم جي اعليٰ درستگي ۽ اعتبار جي ضمانت ڏئي سگهجي ٿي، جيڪا اعليٰ درجي جي پيداوار جي شعبن جهڙوڪ سيمي ڪنڊڪٽرز ۽ درستگي وارن اوزارن لاءِ هڪ مضبوط بنياد رکي ٿي.