گرينائيٽ مشين بيسز ويفر پروسيسنگ سامان جي شين ۾ وڏي پيماني تي استعمال ٿيندا آهن ڇاڪاڻ ته انهن جي اعليٰ خاصيتن جهڙوڪ اعليٰ سختي، استحڪام، ۽ درستگي. گرينائيٽ مشين بيس کي گڏ ڪرڻ، جانچڻ ۽ ڪيليبريٽ ڪرڻ هڪ نازڪ عمل آهي جيڪو تفصيل، درستگي ۽ درستگي تي تمام گهڻو ڌيان ڏيڻ جي ضرورت آهي. هن آرٽيڪل ۾، اسان ويفر پروسيسنگ سامان جي شين لاءِ گرينائيٽ مشين بيس کي گڏ ڪرڻ، جانچڻ ۽ ڪيليبريٽ ڪرڻ جي قدم بہ قدم عمل تي بحث ڪنداسين.
گڏ ڪرڻ
پهريون قدم گرينائيٽ جي مٿاڇري واري پليٽ، بيس ۽ ڪالم کي اسيمبليءَ لاءِ تيار ڪرڻ آهي. پڪ ڪريو ته سڀئي مٿاڇريون صاف، سڪل ۽ ڪنهن به ملبي، مٽي، يا تيل کان پاڪ آهن. ليولنگ اسٽڊس کي بيس ۾ داخل ڪريو ۽ ان جي مٿان مٿاڇري واري پليٽ رکو. ليولنگ اسٽڊس کي ترتيب ڏيو ته جيئن مٿاڇري واري پليٽ افقي ۽ برابر هجي. پڪ ڪريو ته مٿاڇري واري پليٽ بيس ۽ ڪالم سان فلش هجي.
پوءِ، ڪالم کي بنياد تي نصب ڪريو ۽ ان کي بولٽن سان محفوظ ڪريو. ٺاهيندڙ جي تجويز ڪيل ٽورڪ ويليو تي بولٽن کي مضبوط ڪرڻ لاءِ ٽورڪ رينچ استعمال ڪريو. ڪالم جي سطح کي چيڪ ڪريو ۽ جيڪڏهن ضروري هجي ته ليولنگ اسٽڊس کي ترتيب ڏيو.
آخر ۾، ڪالم جي چوٽيءَ تي اسپنڊل اسيمبلي لڳايو. ٺاهيندڙ جي تجويز ڪيل ٽورڪ ويليو تي بولٽن کي مضبوط ڪرڻ لاءِ ٽورڪ رينچ استعمال ڪريو. اسپنڊل اسيمبلي جي ليول چيڪ ڪريو ۽ جيڪڏهن ضروري هجي ته ليولنگ اسٽڊس کي ترتيب ڏيو.
جاچ
مشين جي بنياد کي گڏ ڪرڻ کان پوءِ، ايندڙ قدم ان جي ڪارڪردگي ۽ درستگي کي جانچڻ آهي. پاور سپلاءِ کي ڳنڍيو ۽ مشين کي آن ڪريو. پڪ ڪريو ته سڀئي جزا جهڙوڪ موٽر، گيئر، بيلٽ ۽ بيئرنگ صحيح طريقي سان ڪم ڪري رهيا آهن ۽ ڪنهن به غير معمولي يا غير معمولي شور کان سواءِ.
مشين جي درستگي کي جانچڻ لاءِ، اسپنڊل جي رن آئوٽ کي ماپڻ لاءِ هڪ پريزيشن ڊائل اشاري استعمال ڪريو. ڊائل اشاري کي مٿاڇري جي پليٽ تي سيٽ ڪريو، ۽ اسپنڊل کي گھمايو. وڌ ۾ وڌ اجازت ڏنل رن آئوٽ 0.002 ملي ميٽر کان گهٽ هجڻ گهرجي. جيڪڏهن رن آئوٽ اجازت ڏنل حد کان وڌيڪ آهي، ته ليولنگ اسٽڊس کي ترتيب ڏيو ۽ ٻيهر چيڪ ڪريو.
ڪيليبريشن
مشين جي بنياد جي درستگي ۽ درستگي کي يقيني بڻائڻ لاءِ ڪيليبريشن هڪ اهم قدم آهي. ڪيليبريشن جي عمل ۾ مشين جي پيرا ميٽرز، جهڙوڪ رفتار، پوزيشننگ، ۽ درستگي کي جانچڻ ۽ ترتيب ڏيڻ شامل آهي، انهي کي يقيني بڻائڻ لاءِ ته مشين ٺاهيندڙ جي وضاحتن کي پورو ڪري ٿي.
مشين کي ڪيليبريٽر ڪرڻ لاءِ، توهان کي هڪ ڪيليبريشن ٽول جي ضرورت پوندي، جنهن ۾ هڪ ليزر انٽرفيروميٽر، هڪ ليزر ٽريڪر، يا هڪ بال بار شامل آهي. اهي اوزار مشين جي حرڪت، پوزيشن، ۽ ترتيب کي اعليٰ درستگي سان ماپيندا آهن.
مشين جي لڪير ۽ ڪوئلي محور کي ماپڻ سان شروع ڪريو. مشين جي حرڪت ۽ پوزيشن کي هڪ مخصوص فاصلي يا زاويه تي ماپڻ لاءِ ڪيليبريشن ٽول استعمال ڪريو. ماپيل قدرن جو مقابلو ٺاهيندڙ جي وضاحتن سان ڪريو. جيڪڏهن ڪو انحراف آهي، ته مشين جي پيرا ميٽرز، جهڙوڪ موٽر، گيئر، ۽ ڊرائيو کي ترتيب ڏيو، ته جيئن ماپيل قدرن کي جائز حدن اندر آڻي سگهجي.
اڳيون، مشين جي سرڪيولر انٽرپوليشن فنڪشن کي جانچيو. سرڪيولر رستو ٺاهڻ ۽ مشين جي حرڪت ۽ پوزيشن کي ماپڻ لاءِ ڪيليبريشن ٽول استعمال ڪريو. ٻيهر، ماپيل قدرن جو مقابلو ٺاهيندڙ جي وضاحتن سان ڪريو ۽ جيڪڏهن ضروري هجي ته پيرا ميٽرز کي ترتيب ڏيو.
آخرڪار، مشين جي ورجائڻ جي صلاحيت جي جانچ ڪريو. هڪ مخصوص عرصي دوران مختلف نقطن تي مشين جي پوزيشن کي ماپيو. ماپيل قدرن جو مقابلو ڪريو ۽ ڪنهن به انحراف جي جانچ ڪريو. جيڪڏهن ڪو انحراف آهي، ته مشين جي پيرا ميٽرز کي ترتيب ڏيو ۽ ٽيسٽ کي ورجايو.
ٿڪل
ويفر پروسيسنگ سامان جي شين لاءِ گرينائيٽ مشين بيس کي گڏ ڪرڻ، جانچڻ ۽ ڪيليبريٽ ڪرڻ هڪ نازڪ عمل آهي جنهن لاءِ صبر، تفصيل تي ڌيان ڏيڻ، ۽ درستگي جي ضرورت آهي. انهن قدمن تي عمل ڪندي، توهان پڪ ڪري سگهو ٿا ته مشين ٺاهيندڙ جي وضاحتن ۽ ڪمن کي درستگي، استحڪام ۽ درستگي سان پورو ڪري ٿي.
پوسٽ جو وقت: ڊسمبر-28-2023