گرينائيٽ پليٽ فارم صاف ڪمرن لاءِ وقف: زيرو ميٽل آئن رليز، ويفر انسپيڪشن سامان لاءِ مثالي انتخاب.

سيمي ڪنڊڪٽر ويفر انسپيڪشن جي ميدان ۾، صاف ڪمري جي ماحول جي پاڪائي سڌو سنئون پيداوار جي پيداوار سان لاڳاپيل آهي. جيئن چپ جي پيداوار جي عملن جي درستگي بهتر ٿيندي رهي ٿي، ڳولا جي سامان جي کڻڻ واري پليٽ فارمن جون گهرجون وڌيڪ سخت ٿينديون رهيون آهن. گرينائيٽ پليٽ فارم، صفر ڌاتو آئن ڇڏڻ ۽ گهٽ ذرات جي آلودگي جي خاصيتن سان، روايتي اسٽينلیس سٹیل مواد کي پوئتي ڇڏي ويا آهن ۽ ويفر انسپيڪشن سامان لاءِ ترجيحي حل بڻجي ويا آهن.

گرينائيٽ هڪ قدرتي آتشي پٿر آهي جيڪو بنيادي طور تي غير ڌاتو معدنيات جهڙوڪ ڪوارٽز، فيلڊ اسپار ۽ ميڪا تي مشتمل آهي. هي خاصيت ان کي صفر ڌاتو آئن ڇڏڻ جو فائدو ڏئي ٿي. ان جي ابتڙ، اسٽينلیس سٹیل، لوهه، ڪروميم ۽ نڪل جهڙين ڌاتو جي مصر جي طور تي، صاف ڪمري جي ماحول ۾ پاڻي جي بخارات ۽ تيزابي يا الڪائن گيسن جي ڪٽائي جي ڪري ان جي مٿاڇري تي اليڪٽرڪ ڪيميڪل سنکنرن جو شڪار آهي، جنهن جي نتيجي ۾ ڌاتو آئن جهڙوڪ Fe²⁺ ۽ Cr³⁺ جي برسات ٿيندي آهي. هڪ ڀيرو اهي ننڍڙا آئن ويفر جي مٿاڇري سان ڳنڍيل هوندا آهن، اهي بعد ۾ فوٽو ليٿوگرافي ۽ ايچنگ وانگر سيمي ڪنڊڪٽر مواد جي برقي خاصيتن کي تبديل ڪندا، ٽرانزسٽر جي حد وولٽيج ڊرفٽ جو سبب بڻجندا، ۽ سرڪٽ ۾ شارٽ سرڪٽ جو سبب به بڻجندا آهن. پيشه ورانه اداري جي ٽيسٽ ڊيٽا ڏيکاري ٿي ته گرينائيٽ پليٽ فارم کي مسلسل 1000 ڪلاڪن تائين هڪ نقلي صاف ڪمري جي گرمي پد ۽ نمي واري ماحول (23±0.5℃، 45%±5% RH) جي سامهون اچڻ کان پوءِ، ڌاتو آئن جو ڇڏڻ ڳولڻ جي حد (<0.1ppb) کان گهٽ هو. اسٽينلیس سٹیل پليٽ فارم استعمال ڪرڻ وقت ڌاتو آئن آلودگي جي ڪري ويفرز جي خرابي جي شرح 15٪ کان 20٪ تائين ٿي سگهي ٿي.

ذرات جي آلودگي جي ڪنٽرول جي لحاظ کان، گرينائيٽ پليٽ فارم پڻ غير معمولي طور تي سٺو ڪم ڪن ٿا. صاف ڪمرن ۾ هوا ۾ معطل ٿيل ذرڙن جي ڪنسنٽريشن لاءِ انتهائي اعليٰ گهرجون هونديون آهن. مثال طور، ISO ڪلاس 1 صاف ڪمرن ۾، في ڪعبي ميٽر جي اجازت ڏنل 0.1μm ذرات جو تعداد 10 کان وڌيڪ نه هوندو آهي. جيتوڻيڪ اسٽينلیس سٹیل پليٽ فارم پالش ڪرڻ جي علاج مان گذريو آهي، اهو اڃا تائين ڌاتو ملبہ يا آڪسائيڊ اسڪيل پيدا ڪري سگهي ٿو ٻاهرين قوتن جهڙوڪ سامان جي وائبريشن ۽ عملي جي آپريشن جي ڪري، جيڪو ڳولا آپٽيڪل رستي ۾ مداخلت ڪري سگهي ٿو يا ويفر جي مٿاڇري کي ڇڪي سگهي ٿو. گرينائيٽ پليٽ فارم، انهن جي گهاٽي معدني جوڙجڪ (کثافت ≥2.7g/cm³) ۽ اعلي سختي (موهس اسڪيل تي 6-7) سان، ڊگهي مدت جي استعمال دوران پائڻ يا ٽٽڻ جو شڪار نه آهن. ماپيل ماپون ڏيکارين ٿيون ته اهي اسٽينلیس سٹیل پليٽ فارمن جي مقابلي ۾ 40٪ کان وڌيڪ ڳولڻ واري سامان جي علائقي ۾ معطل ٿيل ذرڙن جي ڪنسنٽريشن کي گهٽائي سگهن ٿا، مؤثر طريقي سان صاف ڪمرو گريڊ معيار کي برقرار رکندا آهن.

ان جي صاف خاصيتن کان علاوه، گرينائيٽ پليٽ فارمن جي جامع ڪارڪردگي پڻ اسٽينلیس سٹیل کان تمام گهڻي آهي. حرارتي استحڪام جي لحاظ کان، ان جي حرارتي توسيع جو ڪوفيشيٽ صرف (4-8) ×10⁻⁶/℃ آهي، جيڪو اسٽينلیس سٹیل جي اڌ کان به گهٽ آهي (تقريبن 17×10⁻⁶/℃)، جيڪو صاف ڪمري ۾ گرمي پد ۾ اتار چڙهاؤ ٿيڻ تي ڳولا جي سامان جي پوزيشننگ جي درستگي کي بهتر طور تي برقرار رکي سگهي ٿو. اعليٰ ڊمپنگ خاصيت (ڊيمپنگ تناسب > 0.05) سامان جي وائبريشن کي تيزيءَ سان گهٽائي سگهي ٿي ۽ ڳولا جي جاچ کي لرزڻ کان روڪي سگهي ٿي. ان جي قدرتي سنکنرن جي مزاحمت ان کي مستحڪم رهڻ جي قابل بڻائي ٿي جيتوڻيڪ فوٽو ريزسٽ سالوينٽس، ايچنگ گيسن ۽ ٻين ڪيميڪلز جي سامهون اچڻ تي اضافي ڪوٽنگ تحفظ جي ضرورت کان سواءِ.

هن وقت، گرينائيٽ پليٽ فارم وڏي پيماني تي ترقي يافته ويفر ٺاهڻ واري پلانٽس ۾ استعمال ٿيندا آهن. ڊيٽا ڏيکاري ٿو ته گرينائيٽ پليٽ فارم کي اپنائڻ کان پوءِ، ويفر جي مٿاڇري جي ذرڙن جي ڳولا جي غلط فهمي جي شرح 60 سيڪڙو گهٽجي وئي آهي، سامان جي ڪيليبريشن چڪر کي ٽي ڀيرا وڌايو ويو آهي، ۽ مجموعي پيداوار جي قيمت 25 سيڪڙو گهٽجي وئي آهي. جيئن ته سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري اعليٰ درستگي ڏانهن وڌي رهي آهي، گرينائيٽ پليٽ فارم، انهن جي بنيادي فائدن جهڙوڪ صفر ڌاتو آئن ڇڏڻ ۽ گهٽ ذرڙن جي آلودگي سان، ويفر انسپيڪشن لاءِ مستحڪم ۽ قابل اعتماد مدد فراهم ڪندا رهندا، صنعت جي ترقي کي هلائڻ واري هڪ اهم قوت بڻجي ويندا.