گرينائيٽ بيس: اهو فوٽو ليٿوگرافي مشينن جو "گولڊن پارٽنر" ڇو آهي؟

سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾، فوٽوليٿوگرافي مشين هڪ اهم ڊوائيس آهي جيڪا چپس جي درستگي جو تعين ڪري ٿي، ۽ گرينائيٽ بيس، پنهنجي ڪيترن ئي خاصيتن سان، فوٽوليٿوگرافي مشين جو هڪ لازمي جزو بڻجي چڪو آهي.

حرارتي استحڪام: گرمي پد جي تبديلين جي خلاف "ڍال"
جڏهن فوٽو ليٿوگرافي مشين ڪم ڪري رهي هوندي آهي، ته اها تمام گهڻي گرمي پيدا ڪندي آهي. صرف 0.1 ℃ جي گرمي پد ۾ تبديلي به سامان جي حصن جي خرابي جو سبب بڻجي سگهي ٿي ۽ فوٽو ليٿوگرافي جي درستگي کي متاثر ڪري سگهي ٿي. گرينائيٽ جي حرارتي توسيع جو ڪوفيشيٽ انتهائي گهٽ آهي، صرف 4-8 ×10⁻⁶/℃، جيڪو اسٽيل جي لڳ ڀڳ 1/3 ۽ ايلومينيم مصر جي 1/5 آهي. اهو گرينائيٽ بيس کي طول و عرض جي استحڪام کي برقرار رکڻ جي قابل بڻائي ٿو جڏهن فوٽو ليٿوگرافي مشين ڊگهي وقت تائين هلندي آهي يا جڏهن ماحولياتي گرمي پد ۾ تبديلي ايندي آهي، آپٽيڪل حصن ۽ ميڪيڪل ڍانچي جي صحيح پوزيشن کي يقيني بڻائي ٿي.

سپر اينٽي وائبريشن ڪارڪردگي: "اسپنج" جيڪو وائبريشن جذب ڪري ٿو
هڪ سيمي ڪنڊڪٽر ڪارخاني ۾، چوڌاري سامان جو آپريشن ۽ ماڻهن جي حرڪت سڀ وائبريشن پيدا ڪري سگهن ٿا. گرينائيٽ ۾ گهڻي کثافت ۽ سخت بناوت آهي، ۽ ان ۾ بهترين ڊمپنگ خاصيتون آهن، جنهن جو ڊمپنگ تناسب ڌاتو جي ڀيٽ ۾ 2 کان 5 ڀيرا وڌيڪ آهي. جڏهن ٻاهرين وائبريشن گرينائيٽ بيس ڏانهن منتقل ڪيا ويندا آهن، ته اندروني معدني ڪرسٽل جي وچ ۾ رگڙ وائبريشن توانائي کي ختم ڪرڻ لاءِ گرمي توانائي ۾ تبديل ڪري ٿو، جيڪو ٿوري وقت ۾ وائبريشن کي گهٽائي سگهي ٿو، جنهن سان فوٽو ليٿوگرافي مشين کي جلدي استحڪام بحال ڪرڻ ۽ وائبريشن جي ڪري فوٽو ليٿوگرافي نموني جي ڌوڙ يا غلط ترتيب کان بچڻ جي اجازت ملي ٿي.

ڪيميائي استحڪام: هڪ صاف ماحول جو "نگهبان"
فوٽو ليٿوگرافي مشين جو اندروني حصو مختلف ڪيميائي ميڊيا سان رابطي ۾ اچي ٿو، ۽ عام ڌاتو مواد سنکنرن يا ذرڙن جي ڇڏڻ جو شڪار هوندا آهن. گرينائيٽ معدنيات جهڙوڪ ڪوارٽز ۽ فيلڊسپار تي مشتمل آهي. ان ۾ مستحڪم ڪيميائي خاصيتون ۽ مضبوط سنکنرن جي مزاحمت آهي. تيزاب ۽ الڪلي محلول ۾ ٻڏڻ کان پوءِ، مٿاڇري جي سنکنرن تمام گهٽ هوندي آهي. ان دوران، ان جي گهاٽي جوڙجڪ تقريبن ڪو به ملبو يا مٽي پيدا نه ڪندي آهي، جيڪا اعليٰ ترين صفائي جي معيارن جي گهرجن کي پورو ڪندي آهي ۽ ويفر آلودگي جي خطري کي گهٽائيندي آهي.

پروسيسنگ موافقت: صحيح معيار ٺاهڻ لاءِ "مثالي مواد"
فوٽو ليٿوگرافي مشين جي بنيادي حصن کي اعليٰ درستگي واري ريفرنس مٿاڇري تي نصب ڪرڻ جي ضرورت آهي. گرينائيٽ جي اندروني جوڙجڪ هڪجهڙائي آهي ۽ ان کي پيسڻ، پالش ڪرڻ ۽ ٻين طريقن ذريعي انتهائي اعليٰ درستگي تي پروسيس ڪرڻ آسان آهي. ان جي همواري ≤0.5μm/m تائين پهچي سگهي ٿي، ۽ مٿاڇري جي خرابي Ra ≤0.05μm آهي، جيڪا آپٽيڪل لينس جهڙن حصن لاءِ هڪ درست انسٽاليشن بنياد فراهم ڪري ٿي.

ڊگهي عمر ۽ سار سنڀال کان پاڪ: قيمت گهٽائڻ لاءِ "تيز اوزار"
ڌاتو جي مواد جي مقابلي ۾ جيڪي ڊگهي عرصي تائين استعمال دوران ٿڪاوٽ ۽ ڀڃڻ جو شڪار هوندا آهن، گرينائيٽ عام لوڊ هيٺ مشڪل سان پلاسٽڪ جي خرابي يا ڀڃڻ مان گذرندو آهي، ۽ ان کي مٿاڇري جي علاج جي ضرورت ناهي، ان ڪري ڪوٽنگ جي ڇلڻ ۽ آلودگي جي خطري کان بچي ٿو. عملي ايپليڪيشنن ۾، ڪيترن سالن تائين استعمال ٿيڻ کان پوءِ، گرينائيٽ بيس جا اهم ڪارڪردگي اشارا اڃا تائين مستحڪم رهي سگهن ٿا، سامان جي آپريشن ۽ سار سنڀال جي خرچن کي گهٽائي ٿو.

حرارتي استحڪام، وائبريشن مزاحمت کان وٺي ڪيميائي جڙت تائين، گرينائيٽ بيس جون ڪيتريون ئي خاصيتون فوٽو ليٿوگرافي مشين جي گهرجن کي مڪمل طور تي پورو ڪن ٿيون. جيئن چپ جي پيداوار جو عمل وڌيڪ درستگي ڏانهن ترقي ڪندو رهي ٿو، گرينائيٽ بيس سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي ميدان ۾ هڪ ناقابل بدل ڪردار ادا ڪندا رهندا.