برقي مقناطيسي مداخلت کان ويڪيوم مطابقت تائين: لٿوگرافي مشينن ۾ گرينائيٽ بيسز جي ناقابل بدلي.

​
سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي ميدان ۾، بنيادي سامان جي طور تي جيڪو چپ جي پيداوار جي عمل جي درستگي کي طئي ڪري ٿو، فوٽو ليٿوگرافي مشين جي اندروني ماحول جي استحڪام تمام ضروري آهي. انتهائي الٽراوائليٽ روشني جي ذريعن جي جوش کان وٺي نانو اسڪيل پريسيشن موشن پليٽ فارم جي آپريشن تائين، هر لنڪ ۾ ڪو به معمولي انحراف نه ٿي سگهي. گرينائيٽ بيس، منفرد خاصيتن جي هڪ سلسلي سان، فوٽو ليٿوگرافي مشينن جي مستحڪم آپريشن کي يقيني بڻائڻ ۽ فوٽو ليٿوگرافي جي درستگي کي وڌائڻ ۾ بي مثال فائدا ڏيکارين ٿا.
شاندار برقي مقناطيسي بچاءُ جي ڪارڪردگي
فوٽو ليٿوگرافي مشين جو اندروني حصو هڪ پيچيده برقي مقناطيسي ماحول سان ڀريل هوندو آهي. انتهائي الٽراوائليٽ روشني جي ذريعن، ڊرائيو موٽرز، ۽ هاءِ فريڪوئنسي پاور سپلاءِ جهڙن حصن مان پيدا ٿيندڙ برقي مقناطيسي مداخلت (EMI)، جيڪڏهن مؤثر طريقي سان ڪنٽرول نه ڪئي وڃي، ته سامان اندر درست اليڪٽرانڪ حصن ۽ آپٽيڪل سسٽم جي ڪارڪردگي کي سنجيده متاثر ڪندي. مثال طور، مداخلت فوٽو ليٿوگرافي جي نمونن ۾ معمولي انحراف جو سبب بڻجي سگهي ٿي. ترقي يافته پيداوار جي عملن ۾، اهو چپ تي غلط ٽرانزسٽر ڪنيڪشن جي اڳواڻي ڪرڻ لاءِ ڪافي آهي، چپ جي پيداوار کي خاص طور تي گهٽائي ٿو.
گرينائيٽ هڪ غير ڌاتوئي مواد آهي ۽ پاڻ بجلي نه هلائيندو آهي. ڌاتوئي مواد وانگر اندر آزاد اليڪٽرانن جي حرڪت جي ڪري ڪو به برقي مقناطيسي انڊڪشن رجحان ناهي. هي خاصيت ان کي هڪ قدرتي برقي مقناطيسي شيلڊنگ باڊي بڻائي ٿي، جيڪا اندروني برقي مقناطيسي مداخلت جي منتقلي جي رستي کي مؤثر طريقي سان روڪي سگهي ٿي. جڏهن ٻاهرين برقي مقناطيسي مداخلت جي ذريعن پاران پيدا ٿيندڙ متبادل مقناطيسي ميدان گرينائيٽ بيس ڏانهن پکڙجي ٿو، ڇاڪاڻ ته گرينائيٽ غير مقناطيسي آهي ۽ مقناطيسي نه ٿي سگهي، متبادل مقناطيسي ميدان ۾ داخل ٿيڻ ڏکيو آهي، ان ڪري بيس تي نصب ٿيل فوٽوليٿوگرافي مشين جي بنيادي حصن، جهڙوڪ پريسيشن سينسر ۽ آپٽيڪل لينس ايڊجسٽمينٽ ڊوائيسز، کي برقي مقناطيسي مداخلت جي اثر کان بچائي ٿو ۽ فوٽوليٿوگرافي جي عمل دوران پيٽرن جي منتقلي جي درستگي کي يقيني بڻائي ٿو.

بهترين ويڪيوم مطابقت
ڇاڪاڻ ته انتهائي الٽراوائليٽ روشني (EUV) آساني سان سڀني مادن ذريعي جذب ٿي ويندي آهي، جنهن ۾ هوا به شامل آهي، EUV لٿوگرافي مشينن کي ويڪيوم ماحول ۾ ڪم ڪرڻ گهرجي. هن موقعي تي، ويڪيوم ماحول سان سامان جي اجزاء جي مطابقت خاص طور تي اهم ٿي ويندي آهي. ويڪيوم ۾، مواد گيس کي ڦهلائي، جذب ڪري ۽ ڇڏي سگهي ٿو. ڇڏيل گئس نه رڳو EUV روشني جذب ڪري ٿي، روشني جي شدت ۽ ٽرانسميشن ڪارڪردگي کي گهٽائي ٿي، پر آپٽيڪل لينس کي به آلوده ڪري سگهي ٿي. مثال طور، پاڻي جي بخارات لينس کي آڪسائيڊ ڪري سگهن ٿا، ۽ هائيڊرو ڪاربن لينس تي ڪاربان جي تہن کي جمع ڪري سگهن ٿا، ليٿوگرافي جي معيار کي سنجيدگي سان متاثر ڪري ٿو.
گرينائيٽ ۾ مستحڪم ڪيميائي خاصيتون آهن ۽ ويڪيوم ماحول ۾ مشڪل سان گئس خارج ڪري ٿو. پيشه ورانه جاچ موجب، هڪ نقلي فوٽوليٿوگرافي مشين ويڪيوم ماحول ۾ (جهڙوڪ الٽرا صاف ويڪيوم ماحول جنهن ۾ روشني آپٽيڪل سسٽم ۽ مکيه چيمبر ۾ اميجنگ آپٽيڪل سسٽم واقع آهن، جنهن لاءِ H₂O < 10⁻⁵ Pa، CₓHᵧ < 10⁻⁷ Pa جي ضرورت هوندي آهي)، گرينائيٽ بيس جي آئوٽ گيسنگ جي شرح انتهائي گهٽ آهي، ٻين مواد جهڙوڪ ڌاتو جي ڀيٽ ۾ تمام گهٽ. هي فوٽوليٿوگرافي مشين جي اندروني حصي کي ڊگهي وقت تائين هڪ اعلي ويڪيوم ڊگري ۽ صفائي برقرار رکڻ جي قابل بڻائي ٿو، ٽرانسميشن دوران EUV روشني جي اعلي ٽرانسميشن ۽ آپٽيڪل لينس لاءِ هڪ الٽرا صاف استعمال ماحول کي يقيني بڻائي ٿو، آپٽيڪل سسٽم جي سروس لائف کي وڌائي ٿو، ۽ فوٽوليٿوگرافي مشين جي مجموعي ڪارڪردگي کي وڌائي ٿو.
مضبوط وائبريشن مزاحمت ۽ حرارتي استحڪام
فوٽو ليٿوگرافي جي عمل دوران، نانو ميٽر جي سطح تي درستگي جي ضرورت آهي ته فوٽو ليٿوگرافي مشين ۾ معمولي وائبريشن يا حرارتي خرابي نه هجي. ورڪشاپ ۾ ٻين سامان ۽ عملي جي حرڪت جي ڪري پيدا ٿيندڙ ماحولياتي وائبريشن، انهي سان گڏ فوٽو ليٿوگرافي مشين پاران آپريشن دوران پيدا ٿيندڙ گرمي، سڀ فوٽو ليٿوگرافي جي درستگي ۾ مداخلت ڪري سگهن ٿا. گرينائيٽ ۾ هڪ اعلي کثافت ۽ هڪ سخت بناوت آهي، ۽ ان ۾ بهترين وائبريشن مزاحمت آهي. ان جي اندروني معدني ڪرسٽل جي جوڙجڪ ڪمپيڪٽ آهي، جيڪا مؤثر طريقي سان وائبريشن توانائي کي گهٽائي سگهي ٿي ۽ تيزيءَ سان وائبريشن جي تبليغ کي دٻائي سگهي ٿي. تجرباتي ڊيٽا ڏيکاري ٿو ته ساڳئي وائبريشن ذريعن جي تحت، گرينائيٽ بيس 0.5 سيڪنڊن اندر وائبريشن جي طول و عرض کي 90٪ کان وڌيڪ گهٽائي سگهي ٿو. ڌاتو جي بنياد جي مقابلي ۾، اهو سامان کي وڌيڪ تيزيءَ سان استحڪام ڏانهن بحال ڪري سگهي ٿو، فوٽو ليٿوگرافي لينس ۽ ويفر جي وچ ۾ صحيح نسبتي پوزيشن کي يقيني بڻائي، ۽ وائبريشن جي ڪري پيٽرن جي بلرنگ يا غلط ترتيب کان بچي سگهي ٿو.
ساڳئي وقت، گرينائيٽ جي حرارتي توسيع جو ڪوئفيشينٽ انتهائي گهٽ آهي، تقريبن (4-8) ×10⁻⁶/℃، جيڪو ڌاتو جي مواد جي ڀيٽ ۾ تمام گهٽ آهي. فوٽوليٿوگرافي مشين جي آپريشن دوران، جيتوڻيڪ اندروني گرمي پد روشني جي ذريعن مان گرمي پيدا ڪرڻ ۽ ميڪيڪل حصن مان رگڙ جي ڪري گهٽجي ٿو، گرينائيٽ بيس طول و عرض جي استحڪام کي برقرار رکي سگهي ٿو ۽ حرارتي توسيع ۽ ڇڪتاڻ جي ڪري اهم خرابي مان نه گذرندو. اهو آپٽيڪل سسٽم ۽ درست حرڪت پليٽ فارم لاءِ مستحڪم ۽ قابل اعتماد مدد فراهم ڪري ٿو، فوٽوليٿوگرافي جي درستگي جي تسلسل کي برقرار رکندي.