گرينائيٽ جي درست پليٽ فارمن جي برابري لاءِ ڳولا جا طريقا.

صحت واري پيداوار ۽ سائنسي تحقيق جي شعبن ۾، گرينائيٽ جي درستگي واري پليٽ فارمن جي برابري سامان جي درستگي کي يقيني بڻائڻ لاءِ هڪ اهم اشارو آهي. هيٺ ڏنل توهان لاءِ ڪيترن ئي مکيه وهڪرو ڳولڻ جي طريقن ۽ انهن جي آپريشن جي طريقيڪار جو تفصيلي تعارف آهي.
I. ليزر انٽرفيروميٽر جي چڪاس جو طريقو
ليزر انٽرفيروميٽر اعليٰ درستگي واري فليٽنس جي سڃاڻپ لاءِ ترجيحي اوزار آهي. مثال طور ZYGO GPI XP ليزر انٽرفيروميٽر وٺو، ان جو ريزوليوشن 0.1nm تائين پهچي سگهي ٿو. ڳولا ڪرڻ وقت، پهريان انٽرفيروميٽر جي روشني جي ذريعن کي پليٽ فارم سان ترتيب ڏيو ۽ پليٽ فارم جي مٿاڇري کي 50mm × 50mm گرڊ علائقن ۾ ورهايو. ان کان پوءِ، مداخلت واري فرينج ڊيٽا کي پوائنٽ بائي پوائنٽ گڏ ڪيو ويو، ۽ ڊيٽا کي Zernike polynomial استعمال ڪندي فليٽنس جي غلطي حاصل ڪرڻ لاءِ فٽ ڪيو ويو ۽ تجزيو ڪيو ويو. هي طريقو اعليٰ درستگي واري پليٽ فارمن تي لاڳو ٿئي ٿو ۽ ≤0.5μm/m² جي فليٽنس جي غلطين کي ڳولي سگهي ٿو. اهو عام طور تي فوٽو ليٿوگرافي مشينن ۽ اعليٰ درجي جي ٽن ڪوآرڊينيٽ ماپڻ واري مشين پليٽ فارمن جي ڳولا ۾ استعمال ٿيندو آهي.
II. اليڪٽرانڪ ليول ايري طريقو
اليڪٽرانڪ ليول ايري جي سڃاڻپ هلائڻ ۾ آسان ۽ انتهائي ڪارآمد آهي. TESA A2 اليڪٽرانڪ ليول (0.01μm/m جي ريزوليوشن سان) کي پليٽ فارم جي X/Y محور جي هدايت سان 9×9 ايري ۾ چونڊيو ويو ۽ ترتيب ڏنو ويو. هر سطح جي انڪيل ڊيٽا کي هم وقت سازي سان گڏ ڪرڻ ۽ پوءِ حساب لاءِ گهٽ ۾ گهٽ چورس طريقو استعمال ڪندي، فليٽنس ويليو صحيح طور تي حاصل ڪري سگهجي ٿو. هي طريقو پليٽ فارم جي مقامي ڪنڪيويٽي ۽ ڪنويويٽي حالتن کي مؤثر طريقي سان سڃاڻي سگهي ٿو. مثال طور، 50mm جي حد اندر 0.2μm جي وهڪري کي پڻ ڳولي سگهجي ٿو، جيڪو وڏي پيماني تي پيداوار ۾ تيز ڳولا لاءِ مناسب آهي.
IIII. آپٽيڪل فليٽ ڪرسٽل طريقو
آپٽيڪل فليٽ ڪرسٽل طريقو ننڍي علائقي جي پليٽ فارمن جي ڳولا لاءِ موزون آهي. پليٽ فارم تي جانچڻ لاءِ آپٽيڪل فليٽ ڪرسٽل کي مٿاڇري سان مضبوطيءَ سان ڳنڍيو ۽ هڪ رنگي روشني جي ذريعن (جهڙوڪ سوڊيم ليمپ) جي روشنيءَ هيٺ انهن جي وچ ۾ ٺهيل مداخلت واري ڪنڊن جو مشاهدو ڪريو. جيڪڏهن پٽيون متوازي سڌيون پٽيون آهن، ته اهو سٺي فليٽنس کي ظاهر ڪري ٿو. جيڪڏهن مڙيل پٽيون ظاهر ٿين ٿيون، ته پٽي جي وکر جي درجي جي بنياد تي فليٽنس جي غلطي جو حساب ڪريو. هر مڙيل پٽي 0.316μm جي اوچائي فرق جي نمائندگي ڪري ٿي، ۽ فليٽنس ڊيٽا سادي تبديلي ذريعي حاصل ڪري سگهجي ٿو.
چار. ٽي-ڪوآرڊينيٽ ماپڻ واري مشين جي چڪاس جو طريقو
ٽي-ڪوآرڊينيٽ ماپڻ واري مشين ٽن-dimensional خلا ۾ اعليٰ درستگي جي ماپ حاصل ڪري سگهي ٿي. گرينائيٽ پليٽ فارم کي ماپڻ واري مشين جي ورڪ ٽيبل تي رکو ۽ پليٽ فارم جي مٿاڇري تي ڪيترن ئي ماپ جي پوائنٽن مان هڪجهڙائي سان ڊيٽا گڏ ڪرڻ لاءِ پروب استعمال ڪريو. ماپڻ واري مشين سسٽم پليٽ فارم جي فليٽنس رپورٽ تيار ڪرڻ لاءِ انهن ڊيٽا کي پروسيس ۽ تجزيو ڪري ٿو. هي طريقو نه رڳو فليٽنس کي ڳولي سگهي ٿو، پر پليٽ فارم جي ٻين جاميٽري پيرا ميٽرز کي پڻ هڪ ئي وقت حاصل ڪري سگهي ٿو، ۽ وڏي گرينائيٽ پليٽ فارمن جي جامع ڳولا لاءِ موزون آهي.
انهن ڳولڻ جي طريقن ۾ مهارت حاصل ڪرڻ سان توهان کي گرينائيٽ جي درست پليٽ فارم جي برابري جو صحيح اندازو لڳائڻ ۾ مدد ملندي ۽ درست سامان جي مستحڪم آپريشن لاءِ هڪ قابل اعتماد ضمانت فراهم ٿيندي.