سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي پويان "راڪ فورس" کي ڊيڪرپٽ ڪريو - گرينائيٽ جي درستگي جا حصا چپ جي پيداوار جي درستگي جي حد کي ڪيئن نئين شڪل ڏئي سگهن ٿا

سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ درستگي انقلاب: جڏهن گرينائيٽ مائڪرون ٽيڪنالاجي سان ملندو آهي
1.1 مادي سائنس ۾ غير متوقع دريافتون
2023 جي SEMI انٽرنيشنل سيمي ڪنڊڪٽر ايسوسيئيشن جي رپورٽ موجب، دنيا جي 63 سيڪڙو ترقي يافته فيبز روايتي ڌاتو پليٽ فارمن جي بدران گرينائيٽ بيس استعمال ڪرڻ شروع ڪري ڇڏيا آهن. هي قدرتي پٿر، جيڪو زمين جي اونهائي ۾ ميگما ڪنڊينسيشن مان نڪرندو آهي، پنهنجي منفرد جسماني خاصيتن جي ڪري سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي تاريخ کي ٻيهر لکي رهيو آهي:

حرارتي جڙت جو فائدو: گرينائيٽ 4.5×10⁻⁶/℃ جو حرارتي توسيع جو ڪوئفيشنٽ اسٽينلیس اسٽيل جي صرف 1/5 آهي، ۽ لٿوگرافي مشين جي مسلسل ڪم ۾ ±0.001mm جي طول و عرض جي استحڪام برقرار رهي ٿي.

وائبريشن ڊمپنگ خاصيتون: اندروني رگڙ جو ڪوئفيشينٽ ڪاسٽ آئرن جي ڀيٽ ۾ 15 ڀيرا وڌيڪ آهي، جيڪو مؤثر طريقي سان سامان جي مائڪرو وائبريشن کي جذب ڪري ٿو.

صفر مقناطيسيت جي نوعيت: ليزر جي ماپ ۾ مقناطيسي غلطي کي مڪمل طور تي ختم ڪريو

1.2 منهنجي کان فيب تائين ميٽامورفوسس جو سفر
شنڊونگ ۾ ZHHIMG جي ذهين پيداوار جي بنياد کي مثال طور وٺندي، خام گرينائيٽ جي هڪ ٽڪري کي هيٺ ڏنل شين مان گذرڻو پوندو:

الٽرا-پريزيئن مشيننگ: 200 ڪلاڪن جي مسلسل ملنگ لاءِ پنج محور لنڪيج مشيننگ سينٽر، مٿاڇري جي خرابي Ra0.008μm تائين

مصنوعي عمر جو علاج: مسلسل گرمي پد ۽ نمي واري ورڪشاپ ۾ 48 ڪلاڪ قدرتي دٻاءُ ڇڏڻ، جيڪو پيداوار جي استحڪام کي 40 سيڪڙو بهتر بڻائي ٿو.
ٻيو، سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي ڇهن درستگي وارن مسئلن کي حل ڪريو "راڪ حل"
2.1 ويفر فريگمينٽيشن ريٽ گهٽائڻ وارو منصوبو

ڪيس جو مظاهرو: جرمني ۾ هڪ چپ فاؤنڊيري پاران اسان جي گئس فلوٽنگ گرينائيٽ پليٽ فارم کي اپنائڻ کان پوءِ:

ويفر جو قطر	چپ جي شرح ۾ گهٽتائي	همواريءَ ۾ بهتري
12 انچ	67 سيڪڙو	≤0.001 ملي ميٽر
18 انچ	82٪	≤0.0005 ملي ميٽر

2.2 لٿوگرافڪ ترتيب جي درستگي جي پيش رفت اسڪيم

گرمي پد جي معاوضي جو نظام: ايمبيڊڊ سيرامڪ سينسر حقيقي وقت ۾ شڪل جي متغير کي مانيٽر ڪري ٿو ۽ خودڪار طريقي سان پليٽ فارم جي موڙ کي ترتيب ڏئي ٿو.
ماپيل ڊيٽا: 28 ℃ ± 5 ℃ جي اتار چڙهاؤ هيٺ، ايمبيڊنگ جي درستگي 0.12μm کان گهٽ چڙهي ٿي.