ڇا توهان جي ذيلي مائڪرون انسپيڪشن جي عمل ۾ هڪ سيرامڪ سڌي ڪنڊ گم ٿيل لنڪ ٿي سگهي ٿي؟

اعليٰ درستگي واري پيداوار جي دنيا ۾ - جتي برداشت 5 مائڪرون کان گهٽجي ويندي آهي ۽ مٿاڇري جي ختم ٿيڻ آپٽيڪل معيار تائين پهچندي آهي - اهي اوزار جن تي اسان ڀروسو ڪندا آهيون انهن کي روايت کان ٻاهر ترقي ڪرڻ گهرجي. ڏهاڪن تائين، اسٽيل ۽ گرينائيٽ ميٽرولوجي بينچ تي حڪمراني ڪئي. پر جيئن ته سيمي ڪنڊڪٽر سامان، ايرو اسپيس آپٽڪس، ۽ طبي مائڪرو ڊوائيسز جهڙيون صنعتون انهن دائرن ۾ ڌڪينديون آهن جتي ٿرمل ڊرفٽ يا خوردبيني لباس به ناقابل قبول غلطي متعارف ڪرائيندو آهي، ريفرنس ٽولز جو هڪ نئون طبقو اڀري رهيو آهي: جيڪي ڌاتو يا پٿر مان نه، پر جديد ٽيڪنيڪل سيرامڪس مان ٺهيل آهن.

ZHHIMG تي، اسان صرف پيش ڪرڻ کان اڳتي وڌي ويا آهيونسيرامڪ سڌو حڪمرانيا سيرامڪ اسڪوائر رولر پراڊڪٽس. اسان ٻيهر وضاحت ڪري رهيا آهيون ته هڪ سڌي ڪنڊ ڇا ٿي سگهي ٿي - الٽرا اسٽيبل سيرامڪ مواد کي جديد ڊيزائن سان گڏ ڪندي، جنهن ۾ اسان جو گرائونڊ بريڪنگ ڪسٽم سيرامڪ ايئر فلوٽنگ رولر شامل آهي، هڪ حل جيڪو نانو ميٽر-سطح جي ريپيٽيبلٽي فراهم ڪندي ميڪيڪل رابطي کي مڪمل طور تي ختم ڪري ٿو.

سيرامڪس ڇو؟ جواب ماليڪيولر سطح کان شروع ٿئي ٿو. اسٽيل جي برعڪس - جيڪو گرمي پد سان خاص طور تي وڌندو آهي - يا گرينائيٽ - جيڪو، پنهنجي استحڪام جي باوجود، سوراخدار ۽ غير متضاد رهي ٿو - انجنيئر ٿيل سيرامڪس جهڙوڪ زرڪونيا-ٽفن ٿيل ايلومينا (ZTA) ۽ سلڪون نائٽرائڊ صفر جي ويجهو پوروسٽي، غير معمولي سختي (1400-1800 HV)، ۽ 3-4 µm/m·°C تائين گهٽ حرارتي توسيع ڪوئفيشينٽس پيش ڪن ٿا. ان جو مطلب آهي ته ZHHIMG مان هڪ سيرامڪ سڌي ڪنڊ پنهنجي جاميٽري کي گرمي پد جي جھولن ۾ برقرار رکي ٿي جيڪا روايتي اوزارن کي ڪيترن ئي مائڪرون تائين خراب ڪندي.

پر صرف مواد ڪافي نه آهي. جيڪو واقعي اسان جي سيرامڪ رولرز کي الڳ ڪري ٿو اهو انهن جي بناوت جي درستگي آهي. ISO ڪلاس 5 ڪلين رومز ۾ ڊائمنڊ گرائنڊنگ، سب ايپرچر پالشنگ، ۽ ليزر انٽرفيروميٽرڪ ويليڊيشن استعمال ڪندي، اسان 500 ملي ميٽر کان وڌيڪ 0.8 µm کان بهتر سڌي برداشت حاصل ڪندا آهيون - نه رڳو پهچائڻ تي تصديق ٿيل، پر NIST ۽ PTB معيارن جي مطابق مڪمل ڪيليبريشن رپورٽن ۾ دستاويز ٿيل. هرسيرامڪ اسڪوائر رولراليڪٽرانڪ آٽو ڪوليميشن ذريعي عمودي جاچ مان گذري ٿو، يقيني بڻائي ٿو ته زاويه 1 آرڪ-سيڪنڊ (100 ملي ميٽر تي ≈0.5 µm انحراف) اندر رکيل آهن.

اهي نظرياتي وضاحتون نه آهن. اهي انهن گراهڪن لاءِ آپريشنل حقيقتون آهن جيڪي هاڻي سمجهوتو برداشت نٿا ڪري سگهن. هڪ معروف EUV لٿوگرافي جزو سپلائر هاڻي اسان جي سيرامڪ اسٽريٽ رولر کي خاص طور تي آئيني جي سپورٽ فريم کي ترتيب ڏيڻ لاءِ استعمال ڪري ٿو. "اسٽيل رولر ڊگهي نمائش واري چڪر دوران وارپ ٿي ويا،" انهن جي اڳواڻ ميٽرولوجسٽ اسان کي ٻڌايو. "گرينائيٽ ذرات کي کنيو. سيرامڪ ورزن؟ اهو 18 مهينن کان مستحڪم آهي - ڪنهن به ريڪيليبريشن جي ضرورت ناهي."

تڏهن به مڪمل جاميٽري رابطي سان خراب ٿي سگهي ٿي. هڪ حڪمران کي مٿاڇري تي ڇڪيو، ۽ توهان کي مائڪرو اسڪريچ، آئل فلم مداخلت، يا لچڪدار خرابي جو خطرو آهي - خاص طور تي نرم ڌاتو يا پالش ٿيل آپٽڪس تي. اهو آهي جتي ZHHIMG جي جدت ڪسٽم سيرامڪ ايئر فلوٽنگ حڪمران سان اڳتي وڌي ٿي.

هي صرف هڪ سيرامڪ سڌو ڪنارو ناهي جنهن ۾ سوراخ ڪيا ويا آهن. اهو هڪ مڪمل طور تي انجنيئر ٿيل ايروسٽٽڪ سسٽم آهي، جيڪو ڪمپيوٽيشنل فلوئڊ ڊائنامڪس استعمال ڪندي ٺاهيو ويو آهي ته جيئن رولر جي پوري ڊيگهه تي هڪجهڙائي، ليمينار ايئر فلو پهچائي سگهجي. جڏهن صاف، خشڪ هوا (يا حساس ماحول ۾ نائٽروجن) سان دٻاءُ وڌو وڃي ٿو، ته رولر ورڪ پيس جي مٿان 5-10 مائڪرون تري ٿو - مڪمل ترتيب برقرار رکندي جسماني رابطي کي ختم ڪري ٿو. نتيجو؟ فليٽنس، سڌينس، يا قدم جي اوچائي جي تصديق لاءِ صحيح غير رابطي جي ماپ، ±0.2 µm تائين ورجائڻ جي صلاحيت سان.

سوئٽزرلينڊ ۾ هڪ ڪوانٽم ڪمپيوٽنگ ليب هاڻي سپر ڪنڊڪٽنگ چپ ڪيريئرز جي معائنو ڪرڻ لاءِ 600-ايم ايم ڪسٽم سيرامڪ ايئر فلوٽنگ رولر استعمال ڪري ٿي. "ڪو به رابطو - جيتوڻيڪ نرم اسٽائلس سان - دٻاءُ متعارف ڪرائيندو آهي جيڪو ڪيوبٽ ڪارڪردگي کي تبديل ڪري ٿو،" انهن جي پروسيس انجنيئر وضاحت ڪئي. "ايئر فلوٽنگ سيرامڪ رولر اسان کي اهو حوالو ڏئي ٿو جيڪو اسان کي حصي کي ڇهڻ کان سواءِ گهربل آهي. اهو مشن-نازڪ بڻجي ويو آهي."

اهو ممڪن بڻائيندڙ شيءِ ZHHIMG جي مواد جي سائنس، درستگي واري مشيننگ، ۽ ميٽرولوجي جي مهارت جو منفرد انضمام آهي. جڏهن ته ڪيترائي سپلائر سيرامڪس کي ساخت جي اجزاء طور سمجهن ٿا، اسان انهن کي ماپ جي نموني طور بهتر بڻايون ٿا. اسان جي سيرامڪ اسڪوائر رولر ڊيزائن ۾ چپنگ کي روڪڻ لاءِ چيمفر ٿيل ڪنڊون، معائني جي روشني هيٺ چمڪ گهٽائڻ لاءِ ميٽ ختم ٿيل پٺيون، ۽ خودڪار ويزن سسٽم لاءِ اختياري فيڊيوشل مارڪر شامل آهن. ڪلين روم ايپليڪيشنن لاءِ، سطحن کي Ra < 0.02 µm تائين پالش ڪيو ويندو آهي ته جيئن ذرڙن جي چپکڻ کي گهٽ ۾ گهٽ ڪري سگهجي.

۽ ڇاڪاڻ ته هر ايپليڪيشن مختلف آهي، اسان هڪ سائيز جي سڀني تي يقين نٿا رکون. چڪاس دوران پتلي ويفرز کي رکڻ لاءِ ايمبيڊڊ ويڪيوم چينلز سان گڏ سيرامڪ سڌي ڪنڊ جي ضرورت آهي؟ اسان ان کي ٺاهيو آهي. هڪ جي ضرورت آهيچورس حڪمرانڇا توهان جي سي ايم ايم پروب ٽپ سان سوراخن سان ڳنڍيل آهن؟ ٿي ويو. انٽيگريٽيڊ پريشر سينسرز ۽ ڊجيٽل ليولنگ ​​فيڊ بيڪ سان هڪ ڪسٽم سيرامڪ ايئر فلوٽنگ رولر چاهيو ٿا؟ اهو اڳ ۾ ئي ٽائر-1 ايرو اسپيس ڪلائنٽ سان بيٽا ٽيسٽنگ ۾ آهي.

صنعت جي سڃاڻپ بعد ۾ آئي آهي. 2025 جي گلوبل ايڊوانسڊ ميٽرولوجي ريويو ۾، ZHHIMG کي واحد ڪمپني طور حوالو ڏنو ويو جيڪو تصديق ٿيل سيرامڪ ريفرنس ٽولز جو مڪمل خاندان پيش ڪري ٿو - جنهن ۾ فلوٽنگ ويريئنٽس شامل آهن - مڪمل جاميٽري تصديق ۽ ڊجيٽل ٽريسيبلٽي سان. پر وڌيڪ اهم ڳالهه اها آهي ته اپنائڻ تيز ٿي رهيو آهي: اسان جي سيرامڪ رولر آرڊرن جو 60 سيڪڙو کان وڌيڪ هاڻي انهن صنعتن مان ايندا آهن جيڪي اڳ ۾ اهڙن اوزارن کي "اوور ڪِل" سمجهندا هئا - جيستائين اهي فرق کي ماپيندا هئا.

هڪ طبي ڊوائيس اسٽارٽ اپ جيڪو اسٽيل کان اسان جي سيرامڪ اسڪوائر رولر ڏانهن نيورل امپلانٽس ٺاهي رهيو هو ۽ انهن جي پهرين پاس جي پيداوار ۾ 22٪ اضافو ڏٺو. "پراڻي اسڪوائر ٽائيٽينيم هائوسنگ تي مائڪرو گوج ڇڏي ويو،" انهن جي QA مئنيجر چيو. "اسان کي ان جو احساس به نه ٿيو جيستائين اسان سوئچ نه ڪيو. هاڻي، هر حصو پهرين ڪوشش ۾ بصري ۽ طول و عرض جي چڪاس پاس ڪري ٿو."

تنهن ڪري جڏهن توهان پنهنجي ايندڙ ميٽرولوجي اپ گريڊ جو جائزو وٺو، ته پاڻ کان پڇو: ڇا منهنجو موجوده سڌو ڪنارو غير يقيني صورتحال کي وڌائي رهيو آهي - يا ان کي ختم ڪري رهيو آهي؟

جيڪڏهن توهان جو عمل سڃاڻپ جي ڪناري تي ڪم ڪري ٿو، ته جواب شايد سيرامڪس ۾ هجي - هڪ نئين شيءِ جي طور تي نه، پر هڪ ضرورت جي طور تي. ZHHIMG تي، اسان صرف سيرامڪ اسٽريٽ رولر، سيرامڪ اسڪوائر رولر، يا سيرامڪ اسٽريٽ ايج ٽولز نه ٺاهيندا آهيون. اسان هر مائڪرون ۾ اعتماد کي انجنيئر ڪريون ٿا.