گرينائيٽ پليٽ فارم، صحيح ماپ ۽ پروسيسنگ لاءِ هڪ حوالي جي اوزار جي طور تي، ان جي درستگي جي سار سنڀال سڌو سنئون پيداوار جي معيار کي متاثر ڪري ٿي. هيٺ ڏنل هڪ منظم سار سنڀال جو منصوبو مهيا ڪري ٿو جيڪو ماحولياتي ڪنٽرول، روزاني سار سنڀال ۽ پيشه ورانه ڪيليبريشن کي ڍڪيندو آهي انهي کي يقيني بڻائڻ لاءِ ته پليٽ فارم ڊگهي وقت تائين نانو ميٽر جي سطح جي درستگي کي برقرار رکي.
1. ماحولياتي ڪنٽرول: هڪ درست حفاظتي رڪاوٽ ٺاهيو
گرمي پد ۽ نمي جو انتظام
ڪم ڪندڙ ماحول جي گرمي پد کي 20±1℃ تي مستحڪم ڪرڻ جي ضرورت آهي. هر 1℃ جي اتار چڙهاؤ گرينائيٽ پليٽ فارم جي حرارتي خرابي جو سبب بڻجندو 0.5-1μm/m تي. ورڪشاپ ۾ هڪ مستقل گرمي پد جو نظام نصب ڪري سگهجي ٿو ته جيئن ايئر ڪنڊيشننگ آئوٽليٽس کي سڌو سنئون پليٽ فارم تي نه ڦوڪيو وڃي.
نمي کي 40٪ ۽ 60٪ جي وچ ۾ ڪنٽرول ڪيو وڃي. گهڻي نمي آساني سان ڌاتو جي حصن تي زنگ جو سبب بڻجي سگهي ٿي، جڏهن ته تمام گهٽ نمي ماپ ۾ جامد بجلي جي مداخلت جو سبب بڻجي سگهي ٿي.
وائبريشن آئسوليشن
پليٽ فارم کي وائبريشن ذريعن جهڙوڪ اسٽيمپنگ مشينن ۽ ملنگ مشينن کان پري رکڻ گهرجي. وائبريشن سامان کان 3 ميٽر کان وڌيڪ فاصلو برقرار رکڻ جي سفارش ڪئي وئي آهي.
جيڪڏهن وائبريشن کان بچي نه ٿو سگهجي، ته پليٽ فارم جي تري ۾ ايئر اسپرنگ شاڪ ايزوربر نصب ڪري سگهجن ٿا ته جيئن پليٽ فارم جي فليٽنس تي ماحولياتي وائبريشن جي اثر کي گهٽائي سگهجي (جيڪو ٻاهرين وائبريشن کي 80 سيڪڙو کان وڌيڪ گهٽائي سگهي ٿو).
2. روزاني سار سنڀال: صفائي کان حفاظت تائين محتاط ڪنٽرول
مٿاڇري جي صفائي جي وضاحت
مٽي هٽائڻ: مٽي جي ذرڙن (≥5μm) کي پليٽ فارم تي ڇڪڻ کان روڪڻ لاءِ هر روز هرڻ جي چمڙي يا لِنٽ فري ڪپڙي سان مٿاڇري کي صاف ڪريو. ضدي داغن کي اينهائيڊروس ايٿانول (پاڪائي ≥99.7٪) سان نرميءَ سان صاف ڪري سگهجي ٿو. ايسٽون جهڙا مضبوط محلول استعمال نه ڪرڻ گهرجن.
ڊيگريسنگ: جيڪڏهن اهو تيل جي داغن سان رابطي ۾ اچي ٿو، ته ان کي ٿلهي ٿيل غير جانبدار ڪلينر سان صاف ڪريو، پوءِ ڊيونائيزڊ پاڻي سان ڌوئو ۽ هوا ۾ خشڪ ڪريو ته جيئن معدني تيل پليٽ فارم جي ننڍڙن سوراخن ۾ داخل ٿيڻ کان روڪي سگهجي.
لوڊ ۽ ٽڪراءُ جي حفاظت
پليٽ فارم جي لوڊ برداشت ڪرڻ جي صلاحيت کي ريٽيڊ لوڊ جي 70٪ اندر ڪنٽرول ڪيو وڃي (مثال طور، 1000 ڪلوگرام پليٽ فارم لاءِ، اهو سفارش ڪئي وئي آهي ته لوڊ ≤700 ڪلوگرام هجي) ته جيئن مقامي اوورلوڊ جي ڪري مستقل خرابي کان بچي سگهجي.
پليٽ فارم تي ورڪ پيس کي هڻڻ سختي سان منع آهي. اوزارن کي هٿ ڪرڻ وقت، نرم دستانا پائڻ ته جيئن تيز شيون مٿاڇري کي ڇڪڻ کان روڪي سگهن (20μm کان وڌيڪ کوٽائي سان ڇڪڻ عڪاسي ٿيل روشني جي رستي جي ماپ کي متاثر ڪندا).
3. پيشه ورانه ڪيليبريشن: سائنسي طور تي درستگي کي برقرار رکڻ جو مرڪز
ڪيليبريشن سائيڪل سيٽنگ
روايتي استعمال جا منظرنامو: هر ٽه ماهي ۾ هڪ ڀيرو ڪيليبريٽ ڪريو ۽ ليزر انٽرفيروميٽر استعمال ڪريو ته جيئن فليٽنس معلوم ڪري سگهجي (±0.5μm/m جي درستگي سان).
اعليٰ تعدد استعمال يا سخت ماحول: مهيني جي حساب سان، گرمي پد جي حساس علائقن جي نگراني تي ڌيان ڏيڻ سان (جهڙوڪ گرمي جي ذريعن جي ويجهو پليٽ فارم جو ڪنارو).
پوسٽ-ڪيليبريشن پروسيسنگ
جيڪڏهن فليٽنس انحراف ملي ٿو (جهڙوڪ > ±1μm/m)، ته ان کي W1.5 مائڪرو پائوڊر استعمال ڪندي هڪ پيشيور ٽيڪنيشن طرفان گرائونڊ ۽ مرمت ڪرڻ گهرجي. سينڊ پيپر سان پاڻ کي پيسڻ سختي سان منع آهي.
ڪيليبريشن کان پوءِ، ڊيٽا کي رڪارڊ ۽ محفوظ ڪيو وڃي، ۽ هڪ پليٽ فارم جي درستگي جي گهٽتائي جو وکر قائم ڪيو وڃي ته جيئن اڳ ۾ سار سنڀال جي گهرجن جي اڳڪٿي ڪري سگهجي.
4. اسٽوريج ۽ ٽرانسپورٽ: لڪيل درستگي جي نقصان کان پاسو ڪريو
ڊگهي مدت جي اسٽوريج لاءِ اهم نقطا
ذخيرو ڪرڻ وقت، ان کي نمي ۽ مٽيءَ کان بچاءُ واري ڍڪ سان ڍڪڻ گهرجي. ڪشش ثقل جي ڪري موڙيندڙ خرابي کي روڪڻ لاءِ هيٺئين حصي کي ٽن نقطن سان سهارو ڏنو وڃي (سپورٽ پوائنٽ پليٽ فارم جي ڊيگهه جي 2/9 تي واقع آهي) (هڪ 1 ميٽر پليٽ فارم ڊگهي مدت جي سنگل پوائنٽ سپورٽ جي ڪري 0.3μm تائين ڊگھو ٿي سگهي ٿو).
ڊگهي مدت جي مقامي دٻاءُ کان بچڻ لاءِ پليٽ فارم سپورٽ پوائنٽس جي پوزيشن کي باقاعدي (ماهوار) منتقل ڪريو.
ٽرانسپورٽ تحفظ جو منصوبو
مختصر فاصلي جي آمدورفت: جھٽڪو جذب ڪندڙ فوم سان ويڙھيو، سخت فريم اندر درست ڪريو، ۽ تيز رفتاري کي 2g جي اندر رکو.
ڊگهي فاصلي جي نقل و حمل: ان کي ويڪيوم پيڪ ڪرڻ ۽ خشڪ نائٽروجن سان ڀرڻ جي ضرورت آهي. پهچڻ کان پوءِ، ان کي 24 ڪلاڪن تائين بيهڻ گهرجي جيستائين گرمي پد توازن تائين نه پهچي وڃي ان کي پيڪنگ ڪرڻ کان اڳ ته جيئن ڪنڊينسيشن پاڻي جي درستگي کي متاثر نه ٿئي.
5. غلطي جي اڳڪٿي: ابتدائي مسئلن جي سڃاڻپ لاءِ طريقا
بصري معائنو: باقاعدي طور تي 40x ميگنيفائنگ گلاس سان مٿاڇري جو مشاهدو ڪريو. جيڪڏهن مسلسل ڇڪتاڻ يا چمڪ ۾ اهم گهٽتائي ملي ٿي، ته اهو درستگي ۾ گهٽتائي جي نشاندهي ڪري سگهي ٿو.
آواز جي سڃاڻپ: پليٽ فارم کي نرميءَ سان ٽيپ ڪريو. جيڪڏهن آواز ڳرو ٿي وڃي (عام طور تي اهو صاف آواز هجڻ گهرجي)، ته اندر مائڪرو ڪرڪس ٿي سگهن ٿا. ان کي ڳولڻ لاءِ فوري طور تي استعمال ڪرڻ بند ڪريو.
هن سار سنڀال واري نظام ذريعي، ZHHIMG® گرينائيٽ پليٽ فارم 10 سالن تائين ±1μm/m جي برابري برقرار رکي سگهي ٿو، جيڪو پليٽ فارمن جي درست زندگي کان ٽي ڀيرا وڌيڪ آهي جيڪي صحيح طرح سان برقرار نه آهن. مشق ثابت ڪيو آهي ته هڪ خاص سيمي ڪنڊڪٽر فيڪٽري پاران هن حل کي اختيار ڪرڻ کان پوءِ، پليٽ فارم ڪيليبريشن جي تعدد ۾ 50 سيڪڙو گهٽتائي آئي، ۽ سالياني سار سنڀال جي قيمت 150,000 يوآن کان وڌيڪ بچائي وئي.
پوسٽ جو وقت: جون-18-2025