ڇا ايندڙ نسل جا سيرامڪ ماپڻ وارا اوزار الٽرا هاءِ پريسيشن جي حدن کي ٻيهر بيان ڪري رهيا آهن؟

ڪيليبريشن ليبارٽريز، سيمي ڪنڊڪٽر ڪلين رومز، ۽ ايرو اسپيس ميٽرولوجي سوئٽس جي خاموش هالن ۾، هڪ خاموش انقلاب جاري آهي. اهو صرف سافٽ ويئر يا سينسرز جي ذريعي نه پر انهن مواد جي ذريعي آهي جيڪي ماپ جي بنياد ٺاهيندا آهن. هن تبديلي جي اڳيان ترقي يافته سيرامڪ ماپڻ جا اوزار آهن، جن ۾ الٽرا اسٽيبل سيرامڪ ايئر سڌو حڪمران ۽ غير معمولي سخت اعليٰ درستگي وارو سلڪون ڪاربائيڊ (Si-SiC) متوازي پائپ ۽ چورس شامل آهن. اهي صرف اوزار نه آهن؛ اهي هڪ نئين دور جا فعال ڪندڙ آهن جتي استحڪام، ورجائي، ۽ حرارتي غير جانبداري غير ڳالهه ٻولهه لائق آهن.

اڌ صديءَ کان وڌيڪ عرصي تائين، ڪارو گرينائيٽ درستگي ميٽرولوجي تي غلبو حاصل ڪيو. ان جي قدرتي نمي، گهٽ حرارتي توسيع، ۽ بهترين هموار ان کي مٿاڇري جي پليٽن، چورس ۽ سڌي ڪنارن لاءِ وڃڻ وارو مواد بڻايو. تڏهن به جيئن صنعتون ذيلي مائڪرون ۽ حتي نانو ميٽر-اسڪيل رواداري ۾ زور ڏين ٿيون - خاص طور تي سيمي ڪنڊڪٽر لٿوگرافي، خلائي آپٽڪس، ۽ ڪوانٽم ڪمپيوٽنگ ۾ - گرينائيٽ جون حدون وڌيڪ واضح ٿي ويون آهن. اهو ڳرو آهي، بار بار رابطي هيٺ مائڪرو چِپنگ لاءِ حساس آهي، ۽، ان جي شهرت جي باوجود، اڃا تائين لوڊ يا ماحولياتي اتار چڙهاؤ هيٺ منٽ ڊگهي مدت جي رڙ ڏيکاري ٿو.

انجنيئر ٿيل سيرامڪس ۾ داخل ٿيو: روزمره جي تخيل جي ڀُرندڙ برتن نه، پر گهاٽا، هڪجهڙا، اعليٰ ڪارڪردگي وارا مواد جيڪي انتهائي گرمي ۽ دٻاءُ هيٺ ٺاهيا ويا آهن. انهن مان، ٻه طبقا ميٽرولوجي ايپليڪيشنن لاءِ نمايان آهن: اعليٰ پاڪائي واري ايلومينا (Al₂O₃) ۽ رد عمل سان ڳنڍيل سلڪون ڪاربائڊ (Si-SiC). جڏهن ته ٻئي روايتي مواد جي ڀيٽ ۾ ڊرامائي بهتري پيش ڪن ٿا، اهي الڳ الڳ ڪردار ادا ڪن ٿا - ۽ گڏجي، اهي طول و عرض ميٽرولوجي ۾ ممڪن حد تائين نمائندگي ڪن ٿا.

مثال طور، سيرامڪ ايئر سڌي حڪمران کي وٺو. ايئر بيئرنگ مرحلن يا آپٽيڪل انٽرفيروميٽر سان استعمال لاءِ ٺهيل، هي اوزار تقريبن مڪمل سڌي، گهٽ ۾ گهٽ ماس، ۽ صفر تھرمل ڊرفٽ جي ضرورت آهي. ايلومينا تي ٻڌلسيرامڪ رولر—500 ملي ميٽر کان مٿي ±0.5 µm اندر سڌي ۽ سڌي ٿيڻ لاءِ مشين ڪئي وئي ۽ Ra 0.02 µm کان هيٺ مٿاڇري جي خراب ٿيڻ لاءِ پالش ڪئي وئي — بلڪل اهو ئي پهچائي ٿي. انهن جي گهٽ کثافت (~3.6 g/cm³) متحرڪ ماپ سسٽم ۾ جڙت کي گهٽائي ٿي، جڏهن ته انهن جي غير مقناطيسي، غير چالکائي طبيعت حساس اليڪٽرانڪ يا مقناطيسي ماحول ۾ مداخلت کي ختم ڪري ٿي. ويفر انسپيڪشن ٽولز يا ليزر ٽريڪر ڪيليبريشن سيٽ اپ ۾، جتي ڪمان جو هڪ مائڪرون به نتيجن کي اسڪو ڪري سگهي ٿو، سيرامڪ ايئر سڌو حڪمران هڪ مستحڪم، غير فعال حوالو فراهم ڪري ٿو جيڪو درجه حرارت جي جھولن ۽ آپريشنل چڪرن ۾ صحيح رهي ٿو.

پر جڏهن آخري سختي ۽ حرارتي چالکائي جي ضرورت هوندي آهي - جهڙوڪ خلائي دوربين آئيني جي ترتيب يا هاءِ پاور ليزر ڪيويٽي ميٽرولوجي ۾ - انجنيئر اعليٰ درستگي واري سلڪون-ڪاربائيڊ (Si-SiC) متوازي پائپ ۽ چورس حصن ڏانهن رخ ڪندا آهن. Si-SiC سخت ترين مواد مان هڪ آهي، جنهن ۾ ينگ جو ماڊيولس 400 GPa کان وڌيڪ آهي - اسٽيل کان ٽي ڀيرا وڌيڪ - ۽ هڪ حرارتي چالکائي ايلومينيم جو مقابلو ڪري ٿي. اهم طور تي، ان جي حرارتي توسيع (CTE) جي کوٽائي کي آپٽيڪل شيشي يا سلڪون ويفرز سان ملائي انجنيئر ڪري سگهجي ٿو، هائبرڊ اسيمبلين ۾ صفر جي ويجهو فرق جي توسيع کي فعال بڻائي ٿو. EUV ليٿوگرافي ٽول ۾ ماسٽر ريفرنس طور استعمال ٿيندڙ Si-SiC چورس صرف پنهنجي شڪل کي برقرار نه رکندو - اهو مقامي حرارتي يا وائبريشن کان بگاڙ کي فعال طور تي مزاحمت ڪندو.

انهن ڪاميابين کي ممڪن بڻائيندڙ شيءِ صرف مواد نه آهي، پر سيرامڪ ماپڻ وارن اوزارن جي ٺاھڻ جي مهارت آهي. مثال طور، Si-SiC جي درست مشيننگ لاءِ، هيرن جي پيسڻ واري ڦيٿي، ذيلي مائڪرون CNC پليٽ فارم، ۽ گرمي پد تي ڪنٽرول ٿيل ماحول ۾ ڪيل ملٽي اسٽيج ليپنگ عملن جي ضرورت آهي. غلط سنٽرنگ مان معمولي باقي رهڻ وارو دٻاءُ به پوسٽ مشيننگ وار پيج جو سبب بڻجي سگهي ٿو. اهو ئي سبب آهي ته صرف ڪجهه چونڊيل عالمي ٺاهيندڙ هڪ ڇت هيٺ مواد جي سنٿيسس، درستگي جي جوڙجڪ، ۽ آخري ميٽرولوجي کي ضم ڪن ٿا - هڪ صلاحيت جيڪا حقيقي ميٽرولوجي-گريڊ پيدا ڪندڙن کي عام سيرامڪ سپلائرز کان الڳ ڪري ٿي.

ZHONGHUI INTELLIGENT MANUFACTURING (JINAN) GROUP CO., LTD (ZHHIMG) ۾، هي عمودي انضمام اسان جي مشن جو مرڪزي مرڪز آهي. اسان جا سيرامڪ ماپڻ جا اوزار - جن ۾ DIN 874 گريڊ AA سان تصديق ٿيل سيرامڪ ايئر سڌي حڪمران ماڊل ۽ PTB ۽ NIST معيارن سان لاڳاپيل اعليٰ درستگي واري سلڪون-ڪاربائيڊ (Si-Si-C) متوازي پائپ ٿيل ۽ چورس نمونا شامل آهن - ملڪيتي سنٽرنگ ۽ فنشنگ پروٽوڪول استعمال ڪندي ISO ڪلاس 7 ڪلين رومز ۾ تيار ڪيا ويا آهن. هر جزو مڪمل انٽرفيروميٽرڪ تصديق، جاميٽري رواداري جي CMM تصديق (فليٽنس، متوازي، عمودي)، ۽ شپمينٽ کان اڳ سطح جي سالميت جي جاچ مان گذرندو آهي. نتيجو هڪ ريفرنس-گريڊ آرٽيڪل آهي جيڪو صرف وضاحتن کي پورو نٿو ڪري - اهو انهن کي مسلسل بيچز ۾ وڌائي ٿو.

اهڙي ڪارڪردگي جي طلب وڌي رهي آهي. سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾، EUV ۽ هاءِ-اين اي ليٿوگرافي سسٽم کي ميٽر-اسڪيل فاصلي تي ڏهه نانو ميٽرن جي اندر مستحڪم ترتيب واري جوڙجڪ جي ضرورت هوندي آهي - Si-SiC جي حرارتي-مڪينيڪل هم آهنگي کان سواءِ ناممڪن. ايرو اسپيس ۾، سيرامڪ حوالن سان ٺهيل سيٽلائيٽ آپٽيڪل بينچ انتهائي حرارتي سائيڪلنگ جي باوجود مدار تي استحڪام کي يقيني بڻائين ٿا. جيتوڻيڪ ابھرندڙ شعبن جهڙوڪ ڪشش ثقل جي لهر جي ڳولا يا ايٽمي ڪلاڪ جي ترقي ۾، جتي پڪو ميٽر-سطح جي استحڪام جي اهميت آهي، سيرامڪ ۽ Si-SiC ميٽرولوجي آرٽيفيڪٽس ناگزير بڻجي رهيا آهن.

نازڪ طور تي، اهي اوزار استحڪام ۽ ملڪيت جي مجموعي قيمت کي پڻ حل ڪن ٿا. جڏهن ته هڪ اعلي صحت واري سلڪون-ڪاربائيڊ متوازي پائپ ۾ شروعاتي سيڙپڪاري گرينائيٽ جي برابر کان وڌيڪ ٿي سگهي ٿي، ان جي سروس جي زندگي وڌيڪ استعمال واري ماحول ۾ 5-10 ڀيرا وڌيڪ ٿي سگهي ٿي. ان کي تيل لڳائڻ جي ضرورت ناهي، سڀني عام سالوينٽس ۽ پلازما جي مزاحمت ڪري ٿو، ۽ نمي جذب جي ڪري ڪڏهن به ٻيهر ڪيليبريشن جي ضرورت ناهي - ڪاسٽ آئرن يا ڪجهه گرينائيٽ جي برعڪس. AS9100، ISO 13485، يا SEMI معيارن جي تحت ڪم ڪندڙ معيار جي مينيجرز لاءِ، هي اعتبار سڌو سنئون گهٽ ڊائون ٽائيم، گهٽ آڊٽ نتيجن، ۽ وڌيڪ گراهڪ اعتماد ۾ ترجمو ڪري ٿو.

ان کان علاوه، انهن اوزارن جي جمالياتي ۽ ڪارآمد خوبصورتي کي نظرانداز نه ڪيو وڃي. هڪ پالش ٿيل Si-SiC چورس ڌاتو جي چمڪ سان چمڪي ٿو پر اسٽيل کان گهٽ وزن رکي ٿو. هڪ سيرامڪ ايئر سڌو حڪمران مضبوط محسوس ٿئي ٿو پر آساني سان کڻندو آهي - تنگ جڳهن ۾ دستي تصديق لاءِ مثالي. اهي انساني مرڪز خاصيتون حقيقي دنيا جي ليبارٽريز ۾ اهم آهن جتي ergonomics ۽ استعمال ۾ آساني روزاني ڪم جي وهڪري کي متاثر ڪري ٿي.

تنهن ڪري، ڇا سيرامڪ ماپڻ جا اوزار الٽرا هاءِ پريزيشن کي ٻيهر بيان ڪري رهيا آهن؟ جواب ڊيٽا ۾ آهي - ۽ عالمي اڳواڻن جي وڌندڙ فهرست ۾ جيڪي هاڻي انهن کي معياري طور بيان ڪن ٿا. ايندڙ نسل جي ڊيگهه جي معيارن جي تصديق ڪندڙ قومي ميٽرولوجي ادارن کان وٺي ٽائر 1 سپلائرز تائين جيڪي EV ڊرائيو ٽرين حصن جي تصديق ڪن ٿا، تبديلي واضح آهي: جڏهن غير يقيني صورتحال کي گهٽ ۾ گهٽ ڪرڻ گهرجي، انجنيئر انجنيئر ٿيل سيرامڪس تي ڀروسو ڪن ٿا.

۽ جيئن صنعتون ايٽمي پيماني تي ڪنٽرول ڏانهن پنهنجو بي رحم قدم جاري رکن ٿيون، هڪ سچائي انڪاري ٿي ويندي آهي: ماپ جو مستقبل پٿر مان نه تراشيو ويندو يا ڌاتو ۾ اڇلايو ويندو. ان کي سيرامڪ ۽ سلڪون ڪاربائيڊ ۾ سينٽر، گرائونڊ، ۽ پالش ڪيو ويندو.

ژونگ هوئي انٽيليجنٽ مينوفيڪچرنگ (جينان) گروپ ڪمپني، لميٽيڊ (ZHHIMG) الٽرا پريسيشن سيرامڪ ۽ سلڪون ڪاربائيڊ ميٽرولوجي حلن ۾ عالمي سطح تي تسليم ٿيل جدت پسند آهي. سيرامڪ ماپڻ وارن اوزارن، سيرامڪ ايئر سڌي حڪمران، ۽ اعليٰ درستگي واري سلڪون ڪاربائيڊ (Si-SiC) متوازي پائپ ۽ چورس حصن ۾ ماهر، ZHHIMG سيمي ڪنڊڪٽر، ايرو اسپيس، دفاع، ۽ سائنسي تحقيق جي ايپليڪيشنن لاءِ مڪمل طور تي تصديق ٿيل، ليب گريڊ آرٽيفيڪٽس پهچائي ٿو. ISO 9001، ISO 14001، ۽ CE سرٽيفڪيشن جي مدد سان، اسان جون شيون دنيا جي معروف ٽيڪنالاجي ادارن پاران قابل اعتماد آهن. اسان جي جديد ميٽرولوجي پورٽ فوليو کي هتي ڳولهيو.www.zhhimg.com.